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一種基于表面等離激元共振腔的納米光學(xué)壓力傳感器的制作方法

文檔序號(hào):12194166閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種基于表面等離激元共振腔的納米光學(xué)壓力傳感器,其特征是:由“Π”字型表面等離激元共振腔和表面等離激元波導(dǎo)耦合構(gòu)成,“Π”字型表面等離激元共振腔是由金屬內(nèi)中空的一條橫槽和兩條豎槽構(gòu)成,橫槽的方向與金屬的表面平行而且橫槽的槽壁到金屬表面的距離很短,在外加壓強(qiáng)下,橫槽靠近金屬表面的槽壁會(huì)發(fā)生彈性形變,兩條豎槽分別與橫槽直接相連且均在遠(yuǎn)離金屬表面的一側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于表面等離激元共振腔的納米光學(xué)壓力傳感器,其特征是:所述表面等離激元波導(dǎo)是由金屬和電介質(zhì)構(gòu)成的直波導(dǎo),波導(dǎo)與“Π”字型表面等離激元共振腔的豎槽相互耦合,波導(dǎo)是一條或是多條分別與共振腔耦合。

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