本實(shí)用新型涉及TFT檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及TFT平面度的檢測(cè)。

背景技術(shù)：

TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶體管的縮寫。TFT式顯示屏是各類筆記本電腦和臺(tái)式機(jī)上的主流顯示設(shè)備，該類顯示屏上的每個(gè)液晶像素點(diǎn)都是由集成在像素點(diǎn)后面的薄膜晶體管來驅(qū)動(dòng)，因此TFT式顯示屏也是一類有源矩陣液晶顯示設(shè)備。

為解決TFT產(chǎn)品平面度自動(dòng)高速測(cè)量的技術(shù)問題，必須解決震動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題：如何解決震動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)高速測(cè)量設(shè)備對(duì)TFT產(chǎn)品平面度的精確測(cè)量。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種平面度檢測(cè)裝置，包括夾取機(jī)構(gòu)、位于夾取機(jī)構(gòu)上方的激光傳感器，所述激光傳感器安裝在X向運(yùn)動(dòng)模組和Y向運(yùn)動(dòng)模組上；所述夾取機(jī)構(gòu)、X向運(yùn)動(dòng)模組和Y向運(yùn)動(dòng)模組安裝在大理石平臺(tái)上，大理石平臺(tái)底部設(shè)有空氣緩沖墊。

按上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型使用150毫米厚度的大理石平臺(tái)增加底板重量，大理石平臺(tái)底部使用空氣緩沖墊，以及控制X向運(yùn)動(dòng)模組和Y向運(yùn)動(dòng)模組的伺服電機(jī)的加減速來降低測(cè)量系統(tǒng)的震動(dòng)；待測(cè)TFT定位在夾取機(jī)構(gòu)上，X向運(yùn)動(dòng)模組、Y向運(yùn)動(dòng)模組帶著高速、高精度激光傳感器到需要測(cè)量點(diǎn)位采集數(shù)據(jù)，X向運(yùn)動(dòng)模組、Y向運(yùn)動(dòng)模組設(shè)有光柵尺組件；使用高速、高精度激光傳感器采集N個(gè)點(diǎn)位高度數(shù)據(jù)，使用最小二乘法計(jì)算產(chǎn)品平面度。

所述夾取機(jī)構(gòu)包括安裝在載具左側(cè)邊緣的第一初限位塊和第二初限位塊、安裝在載具后側(cè)邊緣的第三初限位塊、安裝在載具右側(cè)邊緣的第一定位柱和第二定位柱、安裝在載具前側(cè)邊緣的第三定位柱。產(chǎn)品每次放置都由第一初限位塊、第二初限位塊、第三初限位塊初定位，靠在第一定位柱、第二定位柱、第三定位柱上，保證放置位置具有重復(fù)性。

夾取機(jī)構(gòu)的載具開設(shè)第一豁口和第二豁口，第一豁口和第二豁口對(duì)角設(shè)置；載具的下方設(shè)有第一CCD相機(jī)和第二CCD相機(jī)，第一CCD相機(jī)位于第一豁口處，第二CCD相機(jī)位于第二豁口處。使用第一CCD相機(jī)和第二CCD相機(jī)檢測(cè)產(chǎn)品位置，將TFT產(chǎn)品位置信息傳遞給X向運(yùn)動(dòng)模組、Y向運(yùn)動(dòng)模組的伺服控制系統(tǒng)，X向運(yùn)動(dòng)模組、Y向運(yùn)動(dòng)模組的伺服控制系統(tǒng)再帶著高速、高精度激光傳感器到需要測(cè)量點(diǎn)位采集數(shù)據(jù)。

測(cè)量產(chǎn)品材質(zhì)較軟，易變形影響測(cè)量的真實(shí)值，本實(shí)用新型所述平面度檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)非常有效的解決了振動(dòng)帶來的干擾，保證產(chǎn)品在自然狀態(tài)下高速精密測(cè)量。具體地，實(shí)現(xiàn)四種TFT產(chǎn)品平面度自動(dòng)高速測(cè)量，可共用13-15寸TFT產(chǎn)品(產(chǎn)品材質(zhì)為透明材料)，重復(fù)測(cè)量精度可達(dá)到5um，測(cè)量點(diǎn)位68個(gè)，C/T僅為25S。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明：

圖1為本實(shí)用新型一種平面度檢測(cè)裝置的立體圖；

圖2為本實(shí)用新型一種平面度檢測(cè)裝置的主視圖；

圖3為圖2的俯視圖。

圖中符號(hào)說明：

10、夾取機(jī)構(gòu)；11、載具；12、第一初限位塊；13、第二初限位塊；14、第三初限位塊；15、第一定位柱；16、第二定位柱；17、第三定位柱；

20、激光傳感器；

30、X向運(yùn)動(dòng)模組；

40、Y向運(yùn)動(dòng)模組；

50、大理石平臺(tái)；

71、第一CCD相機(jī)；72、第二CCD相機(jī)；73、條形光源。

具體實(shí)施方式

如圖1，一種平面度檢測(cè)裝置，包括夾取機(jī)構(gòu)10、位于夾取機(jī)構(gòu)上方的激光傳感器20。

如圖1，所述激光傳感器20優(yōu)選為鐳射頭，安裝在X向運(yùn)動(dòng)模組30上，X向運(yùn)動(dòng)模組30安裝在Y向運(yùn)動(dòng)模組40上，X向運(yùn)動(dòng)模組30和Y向運(yùn)動(dòng)模組40均采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的絲桿機(jī)構(gòu)。

所述Y向運(yùn)動(dòng)模組40和夾取機(jī)構(gòu)安裝在大理石平臺(tái)50上，大理石平臺(tái)底部設(shè)有空氣緩沖墊，空氣緩沖墊的數(shù)量?jī)?yōu)選為四個(gè)，分布在大理石平臺(tái)的四角外，空氣緩沖墊安裝在底座上，底座的底部設(shè)有滾輪。

如圖3，所述夾取機(jī)構(gòu)10包括安裝在載具11左側(cè)邊緣的第一初限位塊12和第二初限位塊13、安裝在載具后側(cè)邊緣的第三初限位塊14、安裝在載具右側(cè)邊緣的第一定位柱15和第二定位柱16、安裝在載具前側(cè)邊緣的第三定位柱17。

如圖1，夾取機(jī)構(gòu)10的載具11開設(shè)第一豁口和第二豁口，第一豁口和第二豁口對(duì)角設(shè)置；載具的下方設(shè)有第一CCD相機(jī)71和第二CCD相機(jī)72，第一CCD相機(jī)位于第一豁口處，第二CCD相機(jī)位于第二豁口處。所述第一CCD相機(jī)71和第二CCD相機(jī)72的上方分別設(shè)有條形光源73。

整個(gè)平面度檢測(cè)裝置安裝在殼體內(nèi)，殼體上設(shè)有顯示器，殼體頂部設(shè)有三色燈，所述激光傳感器20、X向運(yùn)動(dòng)模組30和Y向運(yùn)動(dòng)模組40的伺服控制系統(tǒng)、第一CCD相機(jī)71和第二CCD相機(jī)72、顯示器、三色燈均與控制主機(jī)電連接。

實(shí)際操作中，本實(shí)用新型所述一種平面度檢測(cè)裝置的工作流程：

第一，產(chǎn)品每次放置都由第一初限位塊12、第二初限位塊13、第三初限位塊14初定位，靠在第一定位柱15、第二定位柱16、第三定位柱17上，保證放置位置具有重復(fù)性；

第二，使用第一CCD相機(jī)71和第二CCD相機(jī)72檢測(cè)產(chǎn)品位置，將TFT產(chǎn)品位置信息傳遞給X向運(yùn)動(dòng)模組30、Y向運(yùn)動(dòng)模組40的伺服控制系統(tǒng)，X向運(yùn)動(dòng)模組、Y向運(yùn)動(dòng)模組的伺服控制系統(tǒng)再帶著高速、高精度激光傳感器20到需要測(cè)量點(diǎn)位采集數(shù)據(jù)；

第三，使用高速、高精度激光傳感器20采集N個(gè)點(diǎn)位高度數(shù)據(jù)，使用最小二乘法計(jì)算產(chǎn)品平面度；

第四，測(cè)量結(jié)果由顯示器顯示PASS或NG，測(cè)量NG的產(chǎn)品，三色燈報(bào)警以及閃紅燈。

以上內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，依據(jù)本實(shí)用新型的思想，在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。