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半導(dǎo)體探測(cè)器的制作方法

文檔序號(hào):11591335閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體探測(cè)器,包括:

探測(cè)器晶體,包括晶體主體、陽(yáng)極和陰極;

場(chǎng)增強(qiáng)電極,用于向探測(cè)器晶體施加電壓;

絕緣材料,設(shè)置于所述場(chǎng)增強(qiáng)電極和所述探測(cè)器晶體表面之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中所述絕緣材料覆蓋所述場(chǎng)增強(qiáng)電極一側(cè)的整個(gè)探測(cè)器晶體管表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中所述探測(cè)器晶體是碲鋅鎘晶體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,還包括場(chǎng)增強(qiáng)電極電路板,所述增強(qiáng)電極電路板具有與探測(cè)器晶體表面接觸的底部連接層和與所述底部連接層相對(duì)的頂層,其中所述頂層連接半導(dǎo)體探測(cè)器的高壓輸入,所述底部連接層與所述探測(cè)器晶體的探測(cè)器表面之間存在絕緣材料。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中所述場(chǎng)增強(qiáng)電極電路板還包括多個(gè)過(guò)孔,所述頂層和所述底部連接層通過(guò)所述過(guò)孔相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中所述頂層通過(guò)焊接貼片或者直接焊接與外部高壓源相連。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中在所述頂層中設(shè)置濾波電路。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中所述濾波電路采用無(wú)源濾波。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中所述濾波電路設(shè)置于所述場(chǎng)增強(qiáng)電極電路板的頂層的邊緣。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中所述場(chǎng)增強(qiáng)電極電路板是柔性電路板。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中在所述柔性電路板中設(shè)置濾波電路。

12.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體探測(cè)器,其中所述頂層中還設(shè)置有分壓電路,所述分壓電路與獨(dú)立電源一起向所述增強(qiáng)場(chǎng)電極電路板供電。

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