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用于激光寫入系統(tǒng)的磁電阻傳感器晶元版圖的制作方法

文檔序號:12591027閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種用于激光寫入系統(tǒng)的磁電阻傳感器晶元版圖,版圖包括位于矩形切片陣列表面的包含反鐵磁釘扎層的磁電阻多層薄膜,磁電阻傳感單元的反鐵磁釘扎層磁化取向通過激光寫入系統(tǒng)進行定向排列,磁電阻傳感單元電連接成橋臂,橋臂電連接成磁電阻傳感器,切片內(nèi)的磁電阻傳感單元排列成至少兩個空間隔離的磁電阻取向集團,且在磁電阻取向集團內(nèi),磁電阻傳感單元的反鐵磁釘扎層磁化取向角相同,且磁化取向角為0?360度,相鄰兩個磁電阻取向集團的磁化取向角不同,且每個磁電阻取向集團與至少一個相鄰切片內(nèi)的具有相同磁化取向角的磁電阻取向集團近鄰。本實用新型能夠縮短激光掃描過程,實現(xiàn)原位推挽式磁電阻傳感器單芯片制造的特點。

技術(shù)研發(fā)人員:詹姆斯·G·迪克;周志敏
受保護的技術(shù)使用者:江蘇多維科技有限公司
文檔號碼:201621053800
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.13
技術(shù)公布日:2017.06.09

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