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基于壓電石英晶片彎曲效應(yīng)的彎矩測(cè)量傳感器的制作方法

文檔序號(hào):12799474閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種基于壓電石英晶片彎曲效應(yīng)的彎矩測(cè)量傳感器,包括基體,所述基體上設(shè)置有連接孔,其特征是:所述基體內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)彈性變形環(huán),兩個(gè)所述彈性變形環(huán)之間設(shè)置有彎矩測(cè)量晶組,所述基體上設(shè)置有輸出接頭,所述輸出接頭內(nèi)端通過(guò)導(dǎo)線與所述彎矩測(cè)量晶組連接,所述輸出接頭的外端通過(guò)電荷放大器放大成電壓信號(hào),再由數(shù)字表或計(jì)算機(jī)記錄結(jié)果。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于壓電石英晶片彎曲效應(yīng)的彎矩測(cè)量傳感器,其特征是:所述彎矩測(cè)量晶組包括三片X0切型石英晶片和四片檢測(cè)電極,四片檢測(cè)電極兩兩一組分別夾持在三片石英晶片之間,四片檢測(cè)電極依次標(biāo)注為電極A、電極B、電極C、電極D,當(dāng)僅有軸向力作用時(shí),在晶片表面產(chǎn)生剪切束縛電荷,電極A與電極C,電極B與電極D產(chǎn)生的電荷符號(hào)相同,大小相等,電極A與電極C并聯(lián)后輸出為零;當(dāng)僅有彎矩作用時(shí),電極A與電極C,電極B與電極D產(chǎn)生的電荷符號(hào)相同,大小相等,電極A與電極C并聯(lián)后輸出,輸出電荷為單電極的兩倍,提高了彎曲測(cè)量晶組的靈敏度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于壓電石英晶片彎曲效應(yīng)的彎矩測(cè)量傳感器,其特征是:所述基體為長(zhǎng)方形,其四角處分別設(shè)置有所述連接孔,所述彎矩測(cè)量晶組貼接在所述彈性變形環(huán)的內(nèi)腔凸臺(tái)中心上,壓電石英晶片與凸臺(tái)平面相平行的表面對(duì)稱貼上所述檢測(cè)電極。

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