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一種基于MEMS的大流量流量計的制作方法

文檔序號:12003724閱讀:639來源:國知局
一種基于MEMS的大流量流量計的制作方法與工藝

本實用新型涉及燃氣計量領域,特別是一種基于MEMS的大流量流量計。



背景技術:

目前,電子燃氣流量計量裝置已逐漸在家用領域得到了普及,但在一些燃氣流量較大的應用場合,傳統(tǒng)的家用燃氣表如一些基于MEMS的燃氣表由于其測量流道體積結構的限制,不能完全適用,而如果僅僅是將家用燃氣表的測量流道比例放大以讓其適應大流量領域(大流量領域指平均流量超過6000L/h時,本實用新型針對該領域),流量計中的流道尺寸雖然會大幅增加,但卻會使得測量精度大幅度降低。



技術實現(xiàn)要素:

本實用新型的發(fā)明目的在于針對傳統(tǒng)家用MEMS流量計不能適用于大流量的大流量應用領域,同時,僅僅將家用MEMS流量計比例放大,又會造成測量誤差增大的問題,提供一種可以適用于流量較大的大流量應用場所的基于MEMS的流量計。

為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術方案為:

一種基于MEMS的大流量流量計,包括,

腔體,所述腔體包括腔體入口及腔體出口,所述腔體用于讓自腔體入口流入的待測量燃氣穩(wěn)流;

進氣管,與所述腔體入口密封連接,用于將待測量燃氣導入腔體;

出氣管,至少一部分位于腔體內,并與所述腔體出口密封連接,用于將經過測量的燃氣導出腔體;

所述腔體內包括至少兩個懸空設置的測量流道,每個所述測量流道均單獨設置有對應的MEMS測量裝置,所述至少兩個測量流道的出口均與所述出氣管連接,所述測量流道用于讓腔體內的待測量燃氣通過,并通過自身對應設置的MEMS測量裝置對通過燃氣進行測量;

所述流量計還包括控制裝置,所述控制裝置與各個MEMS測量裝置連接,用于接收各個MEMS測量裝置中的測量結果,并將其累加。

進一步的,所述腔體內的測量流道為兩個,分別為第一測量流道、第二測量流道;兩個測量流道為互相貼合設置或分離設置。

進一步的,所述兩個測量流道貼合設置時,其通過螺釘固定。

進一步的,所述第一測量流道、第二測量流道貼合設置時,兩個測量流道的出口均同時直接與所述出氣管的入口連接。

進一步的,所述第一測量流道、第二測量流道分離設置時,兩個測量流道的出口各自通過一通氣管與所述出氣管入口封閉連接。

進一步的,所述測量流道中均包含用于分流的分流裝置。

進一步的,所述分流裝置為軸向設有多個氣流通道的圓柱體,該圓柱體通過螺釘固定或粘結固定在流量檢測管的主氣道圓管內;或,

所述分流裝置為軸向設置的多個氣流通道呈同心圓形狀貫通圓柱體。

進一步的,所述測量流道為三個以上,所述三個以上的測量流道為貼合設置或者分離設置。

進一步的,所述三個以上的測量流道貼合設置時,各個測量流道的出口均同時直接與所述出氣管的入口連接。

進一步的,所述三個以上的測量流道分離設置時,各個測量流道的出口各自通過一通氣管與出氣管入口封閉連接。

綜上所述,由于采用了上述技術方案,本實用新型的有益效果是:本實用新型提供一種適用于燃氣較大流量時的燃氣測量流量計,通過在腔體內設置兩個以上的測量流道,兩個以上的測量流道出口均與出氣管連接,對經過每個測量流道的燃氣單獨進行測量,從而解決了普通家用mems燃氣表測量不了大流量場合較大流量的燃氣,以及僅僅將普通家用mems燃氣表中的測量流道比例放大進行測量導致的測量誤差大的問題。

同時,在一些實施例中,測量流道中設置有互相平行設置的擋板,該擋板與測量流道長度一致,即,在使用兩個以上測量流道對大流量燃氣進行測量時,可不再測量流道入口處預留整流部(整流部不設置擋板),可減小測量流道長度,這對體積已經非常大的大流量流量計來說,長度的適度減小具有重要意義。

另外,本實用新型不對家用測量流道以及MEMS測量裝置進行任何改造或者不進行大的改造,僅通過改進腔體體積即可生產出適用于工商業(yè)的(流量在6000L/h以上領域)的流量計,與比例放大家用燃氣表的測量流道(比如將家用測量流道的直徑擴大一倍或者更高,同時還需適度改造MEMS測量裝置以使其適應更大的測量流道直徑)相比,生產工藝更加簡單,更加適合對現(xiàn)有家用燃氣表流水線進行簡單改造后實現(xiàn)實際生產。

附圖說明

圖1是本實用新型一個剖面結構具體實施方式的示意圖。

圖2是本實用新型另一個剖面結構具體實施方式示意圖。

圖3為本實用新型中測量流道結構示意圖。

圖4是本實用新型測量流道中分流裝置截面圖示例。

附圖標記:1-腔體,11-腔體入口,12-腔體出口,21-第一測量流道,211-第一MEMS測量裝置,212-擋板,213-分流裝置,22-第二測量流道,221-第二MEMS測量裝置,23-擋板,3-入氣管,4-出氣管。

具體實施方式

下面結合附圖,對本實用新型作詳細的說明。

為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

實施例1:如圖1、圖2所示,本實施例提供一種大流量超聲波流量計,包括,

腔體1,所述腔體1包括腔體入口11及腔體出口12,所述腔體1用于讓自腔體入口11流入的待測量燃氣穩(wěn)流;

進氣管3,與所述腔體入口11密封連接,用于將待測量燃氣導入腔體1;

出氣管4,至少一部分位于腔體1內,并與所述腔體出口12密封連接,用于將經過測量的燃氣導出腔體1;

所述腔體1內包括至少兩個懸空設置的測量流道,本實施例中,為第一測量流道21和第二測量流道22,每個測量流道均單獨設置有對應的MEMS測量裝置,如圖1、圖2所示,第一測量流道21對應設置有第一MEMS測量裝置211,第二測量流道22對應設置有第二MEMS測量裝置221;兩個測量流道的出口均與出氣管4連接,測量流道用于讓腔體內的待測量燃氣通過,并通過自身對應設置的MEMS測量裝置對通過燃氣進行測量;

所述流量計還包括控制裝置(圖中未顯示),所述控制裝置與各個MEMS測量裝置連接,用于接收各個MEMS測量裝置中的測量結果,并將其累加,應注意的是,控制裝置與各個MEMS測量裝置可以是有線連接,也可以是無線連接,如采用藍牙芯片互相通信。

一些實施例中,第一測量流道21和第二測量流道22可以是互相貼合設置,而在另外一些實施例中,第一測量流道21和第二測量流道22也可以是分離設置。而當?shù)谝粶y量流道21和第二測量流道22貼合設置時,其可通過螺釘、螺栓固定,也可在測量流道測壁上設置卡扣,將兩個測量流道扣合在一起,扣合后,兩個測量流道對應的MEMS測量裝置分別位于外側。應注意的是,如圖1、圖2所示,兩個測量流道可以是如圖2所示相對于腔體入口上下設置,此時兩個測量流道一個距離腔體入口更近(如圖中的第二測量流道22),一個距離腔體入口更遠(如圖中的第一測量流道21);同時,其也可以是如圖1所示,相對于腔體入口平行設置,此時圖1中僅可見第一測量流道21及第MEMS測量裝置211,此時,兩個測量流道距離腔體頂部距離是相同的。

所述第一測量流道21、第二測量流道22貼合設置時,兩個測量流道的出口均同時直接與所述出氣管的入口密封連接,此時,出氣管的入口大小需要等于兩個測量流道出口總和或大于兩個測量流道出口總和。

另外一些實施例中,第一測量流道21、第二測量流道22是分離設置的,即兩個測量流道雖然均在腔體內懸空設置,但是并沒有貼合在一起,而是相距一定距離,優(yōu)選的,此時,兩個測量流道應在腔體內位置對稱,以均分腔體的空間,此時,兩個測量流道的出口各自通過一通氣管與所述出氣管入口封閉連接,此時出氣管的入口直徑沒有特殊要求,但優(yōu)選采用與兩個測量流道出口大小總和相同,或大于該總和。

優(yōu)選實施例中,所述測量流道中均用于分流的分流裝置213;如圖3、圖4所示,所述分流裝置213為軸向設有多個氣流通道的圓柱體,該圓柱體通過螺釘固定或粘結固定在流量檢測管的主氣道圓管內;另外一些實施例中,所述分流裝置213為軸向設置的多個氣流通道呈同心圓形狀貫通圓柱體。

一些實施例中,所述分流的長度小于測量流道的長度,以使得測量流道入口處有一段不設置分流裝置213,從而構成整流部,在一些大流量燃氣計量解決方案中,如,將普通測量流道比例放大至可以通過待測量燃氣流量的尺寸,此時,通常需要特別增加一段空管作為整流流道,該段整流流道的長度一般會是測量流道的五分之一至三分之一,燃氣會在通過該整流流道后在進入測量流道的整流部,而在采用多個測量流道的實施方式中,不必刻意增加長度達到測量流道長度五分之一至三分之一的整流流道,使用原測量流道本身保留的整流部即可實現(xiàn)高的測量精度,減小了設備尺寸。

而在另一些實施例中,所述分流裝置213的長度與測量流道的長度相同,即,此時,對每個測量流道來說,不預留整流部對燃氣進行整流,可直接使得待測量燃氣進入由擋板212分割的子流道進行測量,相對于只包含一個大尺寸的測量流道的技術方案(如將一個標準測量流道放大一倍)必須在測量流道入口部預留一段整流部相比,不預留整流部可適度減小測量流道長度,提高測量效率。

還有一些實施例中,當各個測量流道分離設置時,各個測量流道入口側面圓周均勻設置有如圖3所示的向測量流道軸心傾斜的擋板212構成的整流部,燃氣自各個傾斜擋板212旁進入測量流道,由于此時的整流部為相對于測量流道軸心側向開口,其可使紊亂的氣流在通過擋板212時得到調整,燃氣形成有序的流動的方向和穩(wěn)定的流動狀態(tài),有利于MEMS傳感器的信息采集;再有一些實施例中,所述測量流道入口處圓周分布有一個以上的規(guī)則排列的小孔組成,燃氣自該小孔進入測量流道。

實施例2:本實施例同樣提供一種大流量用超聲波流量計,與實施例1不同點在于,本實施例中,所述測量流道為三個,三個測量流道可以為貼合設置或者分離設置。所述三個測量流道貼合設置時,各個測量流道的出口均同時直接與所述出氣管的入口連接。而三個測量流道分離設置時,各個測量流道的出口各自通過一通氣管與出氣管入口封閉連接。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。

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