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一種差分電容角位移傳感器的制作方法

文檔序號(hào):11050516閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種差分電容角位移傳感器,其特征在于,包括外殼(10)、空氣差分可變電容和差動(dòng)電容-電壓轉(zhuǎn)換電路(7);空氣差分可變電容和差動(dòng)電容-電壓轉(zhuǎn)換電路(7)封裝在外殼(10)內(nèi)并進(jìn)行電氣連接,空氣差分可變電容包括動(dòng)子(4)、定子(5)和軸(1);外殼(10)中心軸處設(shè)有軸(1),定子(5)相對(duì)固定在軸(1)上,定子(5)上下端均設(shè)置有相互配合來保證與軸和外殼的相對(duì)位置不變的限位器(3)和軸承(2),軸(1)上固定有動(dòng)子(4),動(dòng)子(4)嵌于定子內(nèi)腔,動(dòng)子(4)和定子(5)通過各自的引出端與差動(dòng)電容-電壓轉(zhuǎn)換電路進(jìn)行電氣連接,差動(dòng)電容-電壓轉(zhuǎn)換電路的外引腿(8)由外殼底部引出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分電容角位移傳感器,其特征在于,所述的動(dòng)子(4)嵌于定子內(nèi)腔,通過軸承和限位器配合,與定子腔壁保持0.375mm間距并可通過軸的轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分電容角位移傳感器,其特征在于,所述的動(dòng)子(4)和定子(5)分別通過各自的動(dòng)子引出端(6)和定子引出端(9)與差動(dòng)電容-電壓轉(zhuǎn)換電路進(jìn)行電氣連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分電容角位移傳感器,其特征在于,所述的外殼(10)為金屬外殼。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分電容角位移傳感器,其特征在于,所述的差動(dòng)電容-電壓轉(zhuǎn)換電路(7)包括三角波發(fā)生器(C)、電容檢測(cè)電路(IC)、兩個(gè)運(yùn)算放大器(A1、A2)和比較器(A3);所述的比較器(A3)的輸入端正極與三角波發(fā)生器(C)連接后,一同接入恒流源(IO),比較器(A3)的輸入端負(fù)極與輸出端連接后,一同與電容檢測(cè)電路(IC)相連,電容檢測(cè)電路(IC)與運(yùn)算放大器(A1)相連,運(yùn)算放大器(A1)與另一個(gè)運(yùn)算放大器(A2)連接。

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