專利名稱：：感光性組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種感光性組合物，其通過使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法形成圖案潛像，通過堿性水溶液使該圖案潛像顯影，以及涉及一種干膜，其通過將該組合物涂布到載體膜上之后干燥而得到。
背景技術(shù)：
：印刷電路板的最外層設(shè)有稱為阻焊膜的永久保護(hù)膜。為了形成該阻焊膜，普遍采用可正確地形成細(xì)微圖案的光致抗蝕劑法。其中，從環(huán)境方面考慮等，堿顯影型的光致抗蝕劑法成為主流o作為光致抗蝕劑法中的一種方法，眾所周知一種使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的一次性曝光法(日本特開平01-141904之后，插入光掩模而對該干燥涂膜整面曝光紫外光，因此，可以用非常短的時間形成圖案潛像。但是，該一次性曝光法需要光掩模對基材的位置對齊，該位置對齊需要時間。進(jìn)而，基材由于在其電路形成時受熱而尺寸改變，易產(chǎn)生從設(shè)計(jì)值偏離。相對于此，光掩模不產(chǎn)生上述的尺寸變化，因此不能應(yīng)對該基材的偏離進(jìn)行位置的修正。越是細(xì)微的圖案，越深受偏離的影響，難以形成正確的圖案潛像。為了形成正確的圖案潛像，需要分別測定各基材的電路形成后的尺寸，并對每個基材制作與該尺寸對應(yīng)的光掩模，是非常煩雜的。針對于此，也使用一種直接描繪法，其基于電腦的數(shù)據(jù)，使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光，對于干燥阻焊劑涂膜直接描繪圖案潛像。該直接描繪法中，對于上述那樣的基材尺寸從設(shè)計(jì)值的偏離，測定電路形成后的基材的尺寸，通過計(jì)算機(jī)修正從設(shè)計(jì)值的偏離，可形成所期望的正確的圖案潛像。因此，直接描繪法與一次性曝光法相比，可以更正確并且容易地形成細(xì)微的圖案潛像。但是，直接描繪法由于在基材上掃描紫外光而描繪圖像潛像，因此用于在l張基材上形成圖案潛像的時間與一次性曝光法相比變得更長，有生產(chǎn)率變差的傾向。因此，為了提高生產(chǎn)率，要求一種可用于高速的直接描繪中的高感光度的感光性組合物。感光性組合物的感光度低，則不能進(jìn)行高速的直接描繪，即，不能通過短時間的紫外光照射充分地形成圖案潛像。通常的紫外線固化型的感光性組合物具有200mJ~600mJ的感光度。該感光度范圍對于用直接描繪法將厚膜的干燥阻焊劑涂膜曝光并使其固化來說是低的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種高感光度的感光性組合物，其可以適宜用于使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法中。即，提供一種感光性組合物，其特征在于，所述感光性組合物通過使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法形成圖案潛像，通過堿性水溶液使該圖案潛像顯影，其中，其曝光前的干燥涂膜每25nm厚度在355nm375nm波長范圍顯示0.6~1.2的吸光度，并且在405nm波長顯示0.3~0.6的吸光度。另外，根據(jù)本發(fā)明的其他側(cè)面，提供一種干膜，其通過將本發(fā)明第一側(cè)面的感光性組合物涂布到載體膜上之后干燥而得到。圖1是對感光性組合物的干燥涂膜曝光，將其顯影后得到的阻焊膜的截面形狀的示意圖。具體實(shí)施例方式下面更詳細(xì)地i兌明本發(fā)明。本發(fā)明的感光性組合物是通過使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法形成圖案潛像、通過堿'性水溶液使該圖案潛像顯影的感光性組合物，其中，其曝光前的干燥涂膜每25jim厚度在355nm375nm波長范圍顯示0.6~1.2的吸光度，并且在405nm波長顯示0.3~0.6的吸光度。本發(fā)明的感光性組合物的曝光前的干燥涂膜每25pm厚度顯示上述范圍的吸光度，從而可適宜用于紫外線直接描繪法中。詳細(xì)地說，曝光前的千燥涂膜在355nm~375nm波長范圍顯示0.6~1.2的吸光度，從而入射的光在干燥涂膜的表層部被大量吸收，并使表面固化，并且，在405nm波長顯示0.3~0.6的吸光度，從而4吏光透過到干燥涂膜的底部，得到充分的固化深度，由此實(shí)現(xiàn)高感光度。在此，本發(fā)明中的"曝光前的干燥涂膜每25fim厚度在355nm~375nm波長范圍顯示0.6~1.2的吸光度，并且在405nm波長顯示0.3~0.6的吸光度，，的含義將在后述的實(shí)施例中詳細(xì)敘述，是指對于涂布、干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個不同厚度和各干燥涂膜的厚度時在波長355nm375nm下的吸光度的圖表，由其近似式計(jì)算出膜厚25(im的干燥涂膜的吸光度而得到的吸光度在0.61.2的范圍，并且，對于涂布、干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個不同厚度和各干燥涂膜的厚度時在波長405nm下的吸光度的圖表，由其近似式計(jì)算出膜厚25iim的干燥涂膜的吸光度而得到的吸光度在0.3~0.6的范圍。另外，本發(fā)明中的"曝光前的干燥涂膜每25pm厚度在波長355nm~375nm的波長范圍的最大吸光度與在405nm波長的吸光度之差為0.3以上"的含義將在后述的實(shí)施例中詳細(xì)敘述，是指對于涂布、干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個不同厚度和各干燥涂膜的厚度時在波長355nm375nm下的吸光度的圖表，由其近似式計(jì)算出膜厚25(im的干燥涂膜的吸光度而得到最大吸光度，對于涂布、千燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個不同厚度和各干燥涂膜的厚度時在波長405nm下的吸光度的圖表，由其近似式計(jì)算出膜厚25(im的干燥涂膜的吸光度，上述最大吸光度與該吸光度之差為0.3以上。另外，本發(fā)明中的"曝光前的所述干燥涂膜每25pm厚度在355nm~375nm波長范圍顯示0.6~1.2的吸光度，以及在405nm波長顯示0.3~0.6的吸光度，并且，在355nm~375nm波長范圍的最大吸光度與在405nm波長的吸光度之差為0.3以上且小于0.6"的含義將在后述的實(shí)施例中詳細(xì)敘述，是指對于涂布、干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個不同厚度和各干燥涂膜的厚度時在波長355nm375nm下的吸光度的圖表，由其近似式計(jì)算出膜厚25(im的干燥涂膜的吸光度而得到的吸光度在0.6~1.2的范圍，以及對于涂布、干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個不同厚度和各干燥涂膜的厚度時在波長405nm下的吸光度的圖表，由其近似式計(jì)算出膜厚25pm的干燥涂膜的吸光度而得到的吸光度在0.3~0.6的范圍，并且，對于涂布、千燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個不同厚度和各干燥涂膜的厚度時在波長355nm~375nm下的吸光度的圖表，由其近似式計(jì)算出膜厚25nm的干燥涂膜的吸光度而得到最大吸光度，對于涂布、干燥感光性組合物糊劑而得到的干燥涂膜，制作4個不同厚度和各干燥涂膜的厚度時在波長405nm下的吸光度的圖表，由其近似式計(jì)算出膜厚25pm的干燥涂膜的吸光度，上述最大吸光度和該吸光度之差為0.3以上且小于0.6。本發(fā)明的感光性組合物在曝光前其干燥涂膜在355nm~375nm的波長范圍下顯示小于0.6的吸光度的情況下，存在表層部的光的吸收不充分、表面固化不充分的傾向。在顯示超過1.2的吸光度的情況下，過度地進(jìn)行表面固化，存在阻礙光透過到底部的傾向，故不優(yōu)選。另外，曝光前的干燥涂膜在405nm波長下顯示小于0.3的吸光度的情況下，未被干燥涂膜吸收的光例如被基板上的銅箔反射，有阻焊劑形狀改變的傾向，故不優(yōu)選。另外，顯示超過0.6的吸光度的情況下，存在不能使光充分透過到干燥涂膜的底部的傾向，故不優(yōu)選。另外，本發(fā)明的感光性組合物優(yōu)選曝光前的千燥涂膜的每25(im厚度在355nm~375nm波長范圍的最大吸光度與在405nm波長的吸光度之差為0.3以上。通過該吸光度之差為0.3以上，可有效地得到上述的表面固化和固化深度，可將本發(fā)明的感光性組合物制成更高感光度的組合物。該吸光度之差小于0.3時，為了得到充分的表面固化和固化深度，存在需要更長的曝光時間的傾向。另外，本發(fā)明的感光性組合物優(yōu)選曝光前其干燥涂膜每25(im厚度在355nm375nm波長范圍顯示0.6~1.2的吸光度，以及在405nm波長顯示0.3~0.6的吸光度，并且在355nm~375nm波長范圍的最大吸光度與在405nm波長的吸光度之差為0.3以上且小于0.6。通過吸光度滿足上述條件，本發(fā)明的組合物成為更高感光度。吸光度之差超過0.6時，存在難以同時得到充分的表面固化和固化深度的傾向，故不優(yōu)選。作為本發(fā)明的感光性組合物，可使用包含(A)含羧酸樹脂、(B)光聚合引發(fā)劑以及(C)顏料的感光性組合物。作為含羧酸樹脂(A)，可使用分子中含有羧基的公知常用的樹脂化合物。另外，從光固化性、耐顯影性方面出發(fā)，更優(yōu)選分子中還具有烯屬不飽和雙鍵的含羧酸感光性樹脂。具體而言，可列舉出下述列舉的樹脂。(1)通過將(曱基)丙烯酸等不飽和羧酸和l種以上其以外的具有不飽和雙鍵的化合物進(jìn)行共聚而得到的含羧酸樹脂、(2)通過使(甲基)丙烯酸等不飽和羧酸與l種以上其以外的具有不飽和雙鍵的化合物的共聚物與(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(曱基)丙烯酸3，4-環(huán)氧環(huán)己基曱酯等具有環(huán)氧基和不飽和雙鍵的化合物、(甲基)丙烯酸氯化物反應(yīng)，加成烯屬不飽和基團(tuán)作為側(cè)鏈，從而得到的含羧酸感光'性樹脂、(3)使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環(huán)氧環(huán)己基甲酯等具有環(huán)氧基和不飽和雙鍵的化合物與其以外的具有不飽和雙鍵的化合物共聚，使該共聚物與(甲基)丙烯酸等不飽和羧酸反應(yīng)，所生成的仲羥基與多元酸酐反應(yīng)而得到的含羧酸感光性樹脂、(4)使馬來酸酐等具有不飽和雙鍵的酸酐與其以外的具有不飽和雙鍵的化合物共聚，使該共聚物與(曱基)丙烯酸2-羥乙酯等具有羥基和不飽和雙鍵的化合物反應(yīng)而得到的含羧酸感光性樹脂、(5)使多官能團(tuán)環(huán)氧化合物與(曱基)丙烯酸等不飽和單羧酸反應(yīng)，所生成的羥基與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)而得到的含羧酸感光性樹脂、(6)使聚乙烯醇衍生物等含羥基聚合物與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)，然后使生成的羧酸與一分子中具有環(huán)氧基和不飽和雙鍵的化合物反應(yīng)而得到的含羥基的含羧酸感光'性樹脂，(7)使多官能團(tuán)環(huán)氧化合物、(曱基)丙烯酸等不飽和單羧酸、一分子中具有至少1個醇羥基和與環(huán)氧基反應(yīng)的醇羥基以外的l個反應(yīng)性基團(tuán)的化合物(例如，二羥曱基丙酸等)反應(yīng)，使該反應(yīng)產(chǎn)物與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)而得到的含羧酸感光性樹脂、(8)使一分子中具有至少2個氧雜環(huán)丁烷環(huán)的多官能團(tuán)氧雜環(huán)丁烷化合物與(曱基)丙烯酸等不飽和單羧酸反應(yīng)，使所得的改性氧雜環(huán)丁烷樹脂中的伯鞋基與飽和或不飽和多元酸酐反應(yīng)所得的含羧酸感光性樹脂、以及(9)使多官能團(tuán)環(huán)氧樹脂(例如，甲酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂等)與不飽和單羧酸(例如，(曱基)丙烯酸等)反應(yīng)，然后使其與多元酸酐(例如，四氫鄰苯二甲酸酐等)反應(yīng)而得到的含羧酸感光性樹脂再與分子中具有l(wèi)個環(huán)氧乙烷環(huán)和l個以上烯屬不飽和基團(tuán)的化合物(例如，(曱基)丙烯酸縮水甘油酯等)反應(yīng)從而得到的含羧酸感光性樹脂等，但并不受這些限定。這些樹脂中優(yōu)選的樹脂是上述(2)、(5)、(7)、(9)的含羧酸感光性樹脂，從光固化性、固化涂膜特性出發(fā)，尤其優(yōu)選上述(9)的含羧酸感光性樹脂。另外，在本說明書中，(甲基)丙烯酸酯是統(tǒng)稱丙烯酸酯和曱基丙烯酸酯的用語，對于其它類似的表達(dá)也一樣。這些丙烯酸酯化合物和曱基丙烯酸酯化合物可以單獨(dú)使用，也可以混合2種以上使用。上述那樣的含羧酸樹脂(A)由于在主鏈聚合物的側(cè)鏈具有羧基，因此可通過堿性水溶液顯影。另外，上述含羧酸樹脂(A)的酸值優(yōu)選為40-200mgKOH/g的范圍，更優(yōu)選為45~120mgKOH/g的范圍。含羧酸樹脂的酸值不足40mgKOH/g時，堿顯影變困難，故不優(yōu)選。另一方面，超過200mgKOH/g時，顯影液導(dǎo)致曝光部進(jìn)行溶解，因此線過細(xì)，根據(jù)情況，曝光部和未曝光部沒有區(qū)別地被顯影液溶解剝離，難以描繪正常的阻焊圖案，故不優(yōu)選。另外，上述含羧酸樹脂(A)的重均分子量因樹脂骨架而不同，通常優(yōu)選在2000~150000、進(jìn)而在5000~100000的范圍。重均分子量不足2000時，不粘手性能差，曝光后的涂膜的耐濕性不好，顯影時產(chǎn)生膜減少，解像力非常差。另一方面，重均分子量超過150000時，顯影性顯著變差，而且貯存穩(wěn)定性差。以本發(fā)明的感光性組合物的全部質(zhì)量為基準(zhǔn)，這樣的含羧酸樹脂(A)的配合量可以從2060質(zhì)量％、優(yōu)選為30~50質(zhì)量%的范圍選擇。不足20質(zhì)量％的情況下，有涂膜強(qiáng)度降低的傾向，故不優(yōu)選。另一方面，超過60質(zhì)量％時，粘性變高，涂布性等降低，故不優(yōu)選。作為光聚合引發(fā)劑(B)，優(yōu)選使用選自下組中的l種以上光聚合引發(fā)劑具有下述通式(I)表示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑、具有下述通式(II)表示的基團(tuán)的a-氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑、以及具有下述式(III)表示的基團(tuán)的?；趸⑾倒饩酆弦l(fā)劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>式中，W表示氫原子、苯基(可以被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或鹵原子取代)、碳原子數(shù)l~20的烷基(可以被l個以上羥基取代，可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的烷?；虮郊柞；?可以被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代)；W表示苯基(可以被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子數(shù)l~20的烷基(可以被l個以上羥基取代，可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的烷?；虮綍貂；?可以被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代)；RS和R"各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~12的烷基或芳烷基；115和116各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)16的烷基、或者兩者結(jié)合而成的環(huán)狀烷醚基；R7和r8各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~IO的直鏈狀或支鏈狀的烷基、環(huán)己基、環(huán)戊基、芳基、或者被卣原子、烷基或烷氧基取代的芳基，其中，r和rs之一可以表示r-c(=0)-基團(tuán)(其中，R為碳原子數(shù)l~20的烴基)。作為前述具有通式(I)表示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選可以列舉出下述式(IV)表示的2-(乙酰氧基亞氨基甲基)瘞噸-9-酉同、下述通式(V)所表示的化合物、。1驟(v》(式中，W表示氫原子、鹵原子、碳原子數(shù)112的烷基、環(huán)戊基、環(huán)己基、苯基、千基、苯曱?；?、碳原子數(shù)212的烷?；?、碳原子數(shù)2~12的烷氧羰基(構(gòu)成烷氧基的烷基的碳原子數(shù)為2以上的情況下，烷基可以被l個以上羥基取代，也可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、或者苯氧羰基；R10、R^各自獨(dú)立地表示苯基(可以被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或鹵原子取代)、碳原子數(shù)l~20的烷基(可以被l個以上羥基取代，也可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的烷酰基或苯曱?；?可以被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代)；R"表示氫原子、苯基(可以被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子數(shù)l~20的烷基(可以被l個以上羥基取代，也可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的烷酰基或苯曱?；?可以被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代))、下述通式(VI)表示的化合物(式中，R"和R"各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~12的烷基；R15、R16、R17、R's和R"各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)l~6的烷基；M表示O、S或NH,以及m和n表示O~5的整凄史)其中，更優(yōu)選式(IV)表示的2-(乙酰氧基亞氨基曱基)噻p屯-9-酮以及式(V)表示的化合物。作為市售品，可列舉出西巴特殊化學(xué)品公司生產(chǎn)的CGI-325、IRGACUREOXEOl、以及IRGACUREOXE02等。這些肝酯系光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用或組合2種以上使用。作為前述具有通式(II)表示的基團(tuán)的a-氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑，可列舉出2-甲基-1-[4-(曱硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-l-酮、2-千基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁烷-l-酮、2-(二曱氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]-1-丁酮、.以及N,N-二甲氨基苯乙酮等。作為市售品，可列舉出西巴特殊化學(xué)品公司生產(chǎn)的IRGACURE907、IRGACURE369以及IRGACURE379等。作為前述具有通式(III)表示的基團(tuán)的?；趸⑾倒饩酆弦l(fā)劑，可列舉出2，4，6-三曱基苯曱?；交趸?、雙(2,4,6-三甲基苯甲?；?-苯基氧化膦以及雙(2，6-二曱氧基苯曱?；?-2,4,4-三曱基-戊基氧化膦等。作為市售品，可列舉出BASF公司生產(chǎn)的LucirinTPO、西巴特殊化學(xué)品公司生產(chǎn)的IRGACURE819等。相對于100質(zhì)量份所述含羧酸樹脂(A),這樣的光聚合引發(fā)劑(B)的配合量可選自0.01~30質(zhì)量份、優(yōu)選為0.515質(zhì)量份的范圍。不足0.01質(zhì)量份的話，銅上的光固化性不足，涂膜剝離，耐化學(xué)試劑性等涂膜特性降低，故不優(yōu)選。另一方面，超過30質(zhì)量份時，光聚合引發(fā)劑(B)在阻焊劑涂膜表面的光吸收變劇烈，存在深部固化性降低的傾向，故不優(yōu)選。另外，在前述具有式(I)表示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑的情況下，其配合量相對于100質(zhì)量份前述含羧酸樹脂(A)選自優(yōu)選為O.Ol~20質(zhì)量份、更優(yōu)選為O.Ol~5質(zhì)量份的范圍是理想的。這樣的肟酯系光聚合引發(fā)劑(I)與銅原子在與銅箔的界面反應(yīng)，作為光聚合引發(fā)劑的功能鈍化，因此優(yōu)選與(X-氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑(II)等組合使用。作為本發(fā)明的感光性組合物所含的顏料(C),優(yōu)選含有酞菁藍(lán)系顏料。本發(fā)明人們發(fā)現(xiàn)，對于405nm波長的光，添加酞菁藍(lán)系顏料能以更低的曝光量得到表面固化性。該酞菁藍(lán)系顏料的敏化效果的理由并不清楚，但是，例如對于每25jim膜厚吸光度不足0.3的感光性組合物添加酞菁藍(lán)而使吸光度為0.3以上，這樣就能以低曝光量同時得到充分的表面固化性和固化深度。另外，該敏化效果，對表面的反應(yīng)性(光澤改善)有效，而固化深度相反而變差。即，起到了反射曝光的光的作用。該作用對阻焊膜的形狀的穩(wěn)定化也有效。作為酞菁藍(lán)系顏料，可列舉出(X型銅酞菁藍(lán)、(X型單氯銅酞菁藍(lán)、p型銅酞菁藍(lán)、S型銅酞菁藍(lán)、鈷酞菁藍(lán)以及無金屬酞菁藍(lán)等。只要感光性組合物的干燥涂膜在405nm波長下的吸光度是每25[im為0.3~0.6的范圍，則這樣的顏料(C)的適當(dāng)?shù)奶砑恿烤涂梢匀我馓砑樱?，相對?00質(zhì)量份含羧酸樹脂(A)為0.01~5質(zhì)量份的范圍。發(fā)劑、光引發(fā)助劑以及敏化劑，可列舉出苯偶姻化合物、苯乙酮化合物、蒽醌化合物、瘞噸酮化合物、縮酮化合物、二苯曱酮化合物、站噸酮化合物以及^又胺合物等。若列舉出苯偶姻化合物的具體例子，則例如是苯偶姻、苯偶姻曱醚、苯偶姻乙醚以及苯偶姻異丙醚。若列舉出苯乙酮化合物的具體例子，則例如是苯乙酮、2，2-二曱氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮以及l(fā),l-二氯苯乙酮。若列舉出蒽醌化合物的具體例子，則例如是2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-^又丁基蒽醌以及1-氯蒽醌。若列舉出噻噸酮化合物的具體例子，則例如是2，4-二甲基瘞噸酮、2,4-二乙基p塞噸酮、2-氯p塞噸酮以及2，4-二異丙基p塞p屯酮。若列舉出縮酮化合物的具體例子，則例如是苯乙酮二甲基縮酮以及苯偶酰二曱基縮酮。若列舉出二苯曱酮化合物的具體例子，則例如是二苯曱酮、4-苯曱?；搅蛎?、4-苯曱?；?4，-甲基二苯硫醚、4-苯曱?；?4，-乙基二苯硫醚以及4-苯曱?；?4，-丙基二苯硫醚。若列舉出叔胺化合物的具體例子，則例如是乙醇胺化合物、具有二烷基氨基苯結(jié)構(gòu)的化合物，例如4,4'-二甲基氨基二苯曱酮(日本曹達(dá)公司制造的NISSOCUREMABP)、4,4，-二乙基氨基二苯曱酮(HodogayaChemicalCo"LTD.制EAB)等二烷基氨基二苯甲酮、7-(二乙基氨基)-4-曱基-211-1-苯并吡喃-2-酮(7-(二乙基氨基)-4-曱基香豆素)等含二烷基氨基的香豆素化合物、4-二曱基氨基安息香酸乙酯(日本化藥公司KAYACUREEPA)、2—二甲基氨基安息香酸乙酯(InternationalBio-Synthetics公司制造的QuantacureDMB)、4-二曱基氨基安息香酸(正丁氧基)乙酉旨(InternationalBio-Synthetics公司制造的QuantacureBEA)、對二曱基氨基安息香酸異戊基乙酯(日本化藥公司制KAYACUREDMBI)、4-二曱基氨基安息香酸-2-乙基己酉旨(VanDyk公司制Esolol507)以及4,4'-二乙基氨基二苯曱酮(HodogayaChemicalCo.,LTD.制EAB)等。上述這些當(dāng)中，優(yōu)選漆噸酮化合物和叔胺化合物。從深部固化性方面出發(fā)，優(yōu)選本發(fā)明的組合物中含有噻噸酮化合物，其中，優(yōu)選2，4-二甲基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2-氯噻p屯酮以及2,4-二異丙基p塞噸酮等遂噸酮化合物。相對于100質(zhì)量份上述含羧酸樹脂(A)，作為這樣的噻噸酮化合物的配合量，優(yōu)選為20質(zhì)量份以下、更優(yōu)選為10質(zhì)量份以下的比例。p塞噸酮化合物的配合量過多時，厚膜固化性降低，牽涉到產(chǎn)品的成本提高，故不優(yōu)選。作為叔胺合物，優(yōu)選具有二烷基氨基苯結(jié)構(gòu)的化合物，其中，特別優(yōu)選二烷基氨基二苯甲酮以及最大吸收波長在350nm~410nm的含有二烷基氨基的香豆素化合物。作為二烷基氨基二苯甲酮化合物，4,4，-二乙基氨基二苯甲酮因毒性低而優(yōu)選。最大吸收波長在350nm410nm的含有二烷基氨基的香豆素化合物，由于最大吸收波長在紫外線區(qū)域，因此，提供著色少、無色透明的感光性組合物是毋庸置疑的，也可以提供在使用了著色顏料時反應(yīng)著色顏料自身的顏色的著色阻焊膜。從對波長400nm410nm的光顯示優(yōu)異的敏化效果出發(fā)，尤其優(yōu)選7-(二乙基氨基)-4-甲基-2H-l-苯并吡喃-2-酉同。相對于IOO質(zhì)量份上述含羧酸樹脂(A),作為這樣的叔胺合物的配合量優(yōu)選為O.l~20質(zhì)量份、更優(yōu)選為O.l~10質(zhì)量+分的比例。叔胺合物的配合量為O.l質(zhì)量份以下時，存在不能得到充分的敏化效果的傾向。超過20質(zhì)量份時，叔胺化合物導(dǎo)致在干燥阻焊劑涂膜的表面的光吸收變劇烈，存在深部固化性降低的傾向。這些光聚合引發(fā)劑、光引發(fā)助劑以及敏化劑可以單獨(dú)使用或者以2種以上混合物的形式使用。相對于IOO質(zhì)量份前述含羧酸樹脂(A),這樣的光聚合引發(fā)劑、光引發(fā)助劑以及敏化劑的總量優(yōu)選為35質(zhì)量份以下的范圍。超過35質(zhì)量份時，它們的光吸收導(dǎo)致深部固化性降低的傾向。為了賦予耐熱性，本發(fā)明的光固化性樹脂組合物可以配合分子中具有2個以上環(huán)狀醚基和/或環(huán)狀碌u醚基(以下簡稱為環(huán)狀(硫)醚基)的熱固性成分(D)。這樣的分子中具有2個以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固性成分(D)是分子中具有2個以上三元環(huán)、四元環(huán)或五元環(huán)的環(huán)狀醚基或環(huán)狀硫醚基的任一種或2種基團(tuán)的化合物，可列舉出例如，分子中具有至少2個以上環(huán)氧基的化合物即多官能團(tuán)環(huán)氧化合物(D-l)、分子中具有至少2個以上氧雜環(huán)丁烷基的化合物即多官能團(tuán)氧雜環(huán)丁烷化合物(D-2)、分子中具有2個以上硫醚基的化合物即環(huán)硫化物樹脂(D-3)等。作為前述多官能團(tuán)環(huán)氧化合物(D-1),可以列舉出例如，雙酚A型環(huán)氧樹月旨，如JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制造的Epikote828、Epikote834、Epikote1001、Epikote1004，大日本油墨化學(xué)工業(yè)/>司制造的Epiclon840、Epiclon850、Epiclon1050、Epiclon2055,東啫卩4匕成7>司制造的EpototeYD-011、YD—013、YD-127、YD-128,陶氏化學(xué)公司制造的D.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664,西巴特殊化學(xué)品公司制造的Araldite6071、Araldite6084、AralditeGY250、AralditeGY260,住友化學(xué)工業(yè)公司制造的SumiepoxyESA-011、ESA-014、ELA-115、ELA-128,旭化成工業(yè)^>司制造的A.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(均為商品名)；溴化環(huán)氧才對月旨，^口JapanEpoxyResinsCo.，Ltd.制造的EpikoteYL903,大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的Epiclon152、Epiclon165，東都化成公司制造的EpototeYDB-400、YDB-500,陶氏化學(xué)公司制造的D.E.R.542,西巴特殊化學(xué)品公司制造的Araldite8011,住友化學(xué)工業(yè)/^司制造的SumiepoxyESB-400、ESB-700,旭化成工業(yè)公司制造的A.E.R.711、A.E.R.714等(均為商品名)；酚醛清漆型環(huán)氧樹脂，如JapanEpoxyResinsCo.，Ltd.制造的Epikote152、Epikote154,陶氏化學(xué)公司制造的D.E.N.431、D.E.N.438，大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的EpiclonN-730、EpiclonN-770、EpiclonN-865,東都化成公司制造的EpototeYDCN-701、YDCN-704,西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeECN1235、AralditeECN1273、AralditeECN1299、AralditeXPY307,日本化藥公司制造的EPPN-201、EOCN-1025、EOCN-1020、EOCN-104S、RE-306,住友化學(xué)工業(yè)公司制造的SumiepoxyESCN-195X、ESCN-220,旭化成工業(yè)公司制造的A.E.R.ECN-235、ECN-299等(均為商品名)；雙酚F型環(huán)氧樹脂，如大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的Epiclon830，JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制造的Epikote807，東都化成公司制造的EpototeYDF-170、YDF-175、YDF-2004,西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeXPY306等(均為商品名)；氫化雙酚A型環(huán)氧樹脂，如東都化成公司制造的EpototeST-2004、ST-2007、ST-3000(商品名)等；縮水甘油胺型環(huán)氧樹脂，如JapanEpoxyResinsCo.，Ltd.制造的Epikote604,東都化成^>司制造的EpototeYH-434,西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeMY720,住友化學(xué)工業(yè)公司制造的SumiepoxyELM-120等(均為商品名)；西巴特殊化學(xué)品^^司制造的AralditeCY-350(商品名)等乙內(nèi)酰脲型環(huán)氧樹脂；大賽璐化學(xué)工業(yè)公司制造的Celoxide2021,西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditeCY175、CY179等(均為商品名)脂環(huán)式環(huán)氧樹脂；JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制造的YL-933,陶氏化學(xué)公司制造的T.E.N.、EPPN-501、EPPN-502等(均為商品名)三羥基苯基曱烷型環(huán)氧樹脂；JapanEpoxyResinsCo.，Ltd.制造的YL—6056、YX—4000、YL—6121(均為商品名)等聯(lián)二曱苯酚型或聯(lián)苯酚型環(huán)氧樹脂或者它們的混合物；日本化藥公司制造的EBPS-200,旭電化工業(yè)公司制造的EPX-30、大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的EXA-1514(商品名)等雙酚S型環(huán)氧樹脂；JapanEpoxyResinsCo.，Ltd.制造的Epikotel57S(商品名)等雙酚A酚醛清漆型環(huán)氧樹脂；JapanEpoxyResinsCo.，Ltd.制造的EpikoteYL-931、西巴特殊化學(xué)品公司制造的Aralditel63等(均為商品名)四羥苯基乙烷型環(huán)氧樹脂；西巴特殊化學(xué)品公司制造的AralditePT810、日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)公司制造的TEPIC等(均為商品名)雜環(huán)式環(huán)氧樹脂；曰本油脂公司制造的BlemmerDGT等鄰苯二甲酸二縮水甘油酯樹脂；東都化成公司制造的ZX-1063等四縮水甘油基二甲苯?；铱?tetraglycidylxylenoylethane)扭于月旨；新曰纟失4匕學(xué)7>司制造的ESN-190、ESN-360，大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的HP-4032、EXA-4750、EXA-4700等含萘基的環(huán)氧樹脂；大日本油墨化學(xué)工業(yè)公司制造的HP-7200、HP-7200H等具有二環(huán)戊二烯骨架的環(huán)氧樹脂；日本油脂公司制造的CP-50S、CP-50M等甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚系環(huán)氧樹脂；以及環(huán)己基馬來酰亞胺與曱基丙烯酸縮水甘油酯的共聚環(huán)氧樹脂；環(huán)氧改性的聚丁二烯橡膠衍生物(例如大賽璐化學(xué)工業(yè)制造的PB-3600等)、CTBN改性環(huán)氧樹脂(例如東都化成公司制造的YR-102、YR-450等)等，但并不限于這些物質(zhì)。這些環(huán)氧樹脂可以單獨(dú)使用或組合2種以上使用。這些當(dāng)中特別優(yōu)選酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、雜環(huán)式環(huán)氧樹脂、雙酚A型環(huán)氧樹脂或它們的混合物。作為前述多官能團(tuán)氧雜環(huán)丁烷化合物(D-2),可以列舉出雙[(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基曱氧基)曱基]醚、雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基曱氧基)甲基]醚、1,4-雙[(3-甲基-3-氧雜環(huán)丁烷基甲氧基)甲基]苯、1,4-雙[(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基曱氧基)甲基]苯、丙烯酸(3-曱基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、曱基丙烯酸(3-曱基-3-氧雜環(huán)丁烷基)甲酯、曱基丙烯酸(3-乙基-3-氧雜環(huán)丁烷基)曱酯、它們的低聚物或共聚物等多官能團(tuán)氧雜環(huán)丁烷類，以及氧雜環(huán)丁烷與酚醛清漆樹脂、聚(對羥基笨乙烯)、cardo型雙酚類、杯芳烴類、間苯二酚杯芳烴(calixresorcinarene)類和倍半珪氧烷(silsesquioxane)等具有羥基的樹脂的醚化物等。另外，可以列舉出具有氧雜環(huán)丁烷環(huán)的不飽和單體與(甲基)丙烯酸烷基酯的共聚物等。作為前述分子中具有2個以上環(huán)狀硫醚基的化合物(D-3),可列舉出例如，JapanEpoxyResinsCo.,Ltd.制造的雙酚A型環(huán)硫化物樹脂YL7000等。另外，也可以使用采用同樣的合成方法將酚醛清漆型環(huán)氧樹脂的環(huán)氧基的氧原子替換成硫原子的環(huán)硫化物樹脂等。相對于前述含羧酸樹脂的1當(dāng)量羧基，前述分子中具有2個以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固性成分(D)的配合量優(yōu)選為0.62.0當(dāng)量、更優(yōu)選為0.8~1.5當(dāng)量的范圍。分子中具有2個以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固性成分(D)的配合量不足0.6的情況下，羧基殘留在阻焊膜中，耐熱性、耐堿性、電絕緣性等降低，故不優(yōu)選。另一方面，超過2.0當(dāng)量的情況下，低分子量的環(huán)狀(硫)醚基殘留在干燥涂膜中，從而涂膜的強(qiáng)度等降低，故不優(yōu)選。使用上述分子中具有2個以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固性成分(D)時，優(yōu)選含有熱固化催化劑。作為這樣的熱固化催化劑，例如有咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、1-氰乙基-2-苯基咪唑、1-(2-氰乙基)-2-乙基-4-曱基咪唑等咪唑衍生物；雙氰胺、芐基二甲胺、4-(二曱氨基)-N，N-二甲基芐基胺、4-曱氧基-N，N-二甲基千基胺、4-甲基-N，N-二甲基千基胺等胺化合物；己二酸酰肼、癸二酸酰肼等酰肼化合物；三苯基膦等磷化合物等，以及作為市售品，例如有四國化成工業(yè)公司制造的2MZ—A、2MZ-0K、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(老卩是咪唑系化合物的商品名)，SAN-APR(V>司制造的U-CAT3503N、U-CAT3502T(都是二曱基胺的嵌段異氰酸酯化合物的商品名)，DBU、DBN、U-CATSA102、U-CAT5002(都是二環(huán)式脒化合物及其鹽)等。并不特別限定于這些化合物，只要是環(huán)氧樹脂或氧雜環(huán)丁烷化合物的熱固化催化劑、或促進(jìn)環(huán)氧基和/或氧雜環(huán)丁烷基與羧基的反應(yīng)的物質(zhì)就可以，可以單獨(dú)使用或混合2種以上使用。另外，也可以使用三聚氰二胺、甲基胍胺、苯并胍胺、密胺、2,4-二氨基-6_曱基丙烯酰氧基乙基-均三嗪、2-乙烯基-2,4-二氨基-均三嗪、2-乙烯基-4,6-二氨基-均三嗪.異氰脲酸加成物、2,4-二氨基-6-曱基丙烯酰氧基乙基-均三。秦異氰脲酸加成物等均三嗪衍生物，優(yōu)選將這些還作為賦粘劑起作用的化合物與前述熱固化催化劑組合使用。這些熱固化催化劑的配合量只要是通常量的比例就足夠，例如相對于100質(zhì)量份含羧酸樹脂(A)或分子中具有2個以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固性成分(D),優(yōu)選為O.l~20質(zhì)量份、更優(yōu)選為0.5~15.0質(zhì)量^f分。為了提高涂膜的物理強(qiáng)度等，本發(fā)明中的感光性組合物根據(jù)需要可配合填料。作為這樣的填料，可使用公知常用的無機(jī)填料或有機(jī)填料，特別優(yōu)選使用硫酸鋇、球狀硅石以及滑石。另夕卜，還可以使用在具有l(wèi)個以上烯屬不飽和基團(tuán)的化合物或前述多官能團(tuán)環(huán)氧樹脂(D-1)中分散有納米二氧化硅的Hanse-Chemie公司生產(chǎn)的NANOCRYL(商品名)XP0396、XP0596、XP0733、XP0746、XP0765、XP0768、XP0953、XP0954、XP1045(都是產(chǎn)品等級名)、Hanse-Chemie公司生產(chǎn)的NANOPOX(商品名)XP0516、XP0525、XP0314(都是產(chǎn)品等級名)。這些可以單獨(dú)使用或2種以上配合使用。相對于100質(zhì)量份前述含羧酸樹脂(A)，這些填料的配合量優(yōu)選為300質(zhì)量份以下，更優(yōu)選為O.l~300質(zhì)量份，特別優(yōu)選為0.1150質(zhì)量份。前述填料的配合量超過300質(zhì)量份時，感光性組合物的粘度變高且印刷性降低，固化物變脆，故不優(yōu)選。進(jìn)而，為了前述含羧酸樹脂(A)的合成和組合物的調(diào)整，或者為了調(diào)整粘度以便涂布到基板、載體膜上，本發(fā)明的感光性組合物可以使用有機(jī)溶劑。作為這樣的有機(jī)溶劑，可以列舉出酮類、芳香族烴類、二醇醚類、二醇醚乙酸酯類、酯類、醇類、脂肪族烴、石油系溶劑等。更具體地有甲乙酮、環(huán)己酮等酮類；曱苯、二甲苯、四曱基苯等芳香族烴類；溶纖劑、曱基溶纖劑、丁基溶纖劑、卡必醇、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單曱醚、二丙二醇單曱醚、二丙二醇二乙醚、三乙二醇單乙醚等二醇醚類；乙酸乙酯、乙酸丁酯、二丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇曱醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丁醚乙酸酯等酯類；乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇等醇類；辛烷、癸烷等脂肪族烴；石油醚、石油石腦油、加氳石油石腦油、溶劑石腦油等石油系溶劑等。這樣的有機(jī)溶劑可單獨(dú)使用或以2種以上的混合物來使用。本發(fā)明的感光性組合物進(jìn)而還可以根據(jù)需要混合公知常用的添加劑類，如氫醌、氳醌單曱醚、叔丁基鄰苯二酚、連苯三酚、吩噻喚等公知常用的熱阻聚劑，微粉二氧化硅、有機(jī)膨潤土、蒙脫土等公知常用的增稠劑，硅酮系、氟系、高分子系等消泡劑和/或流平劑，咪唑系、噻唑系、三唑系等硅烷偶聯(lián)劑，抗氧化劑、防銹劑等。本發(fā)明的感光性組合物可通過例如，用前述有機(jī)溶劑調(diào)整為適合涂布方法的粘度，利用浸涂法、淋涂法、輥涂法、刮棒涂布法、絲網(wǎng)印刷法、簾涂法等方法涂布到形成有電路的基板上，在約60~IO(TC的溫度下使組合物中所含的有機(jī)溶劑揮發(fā)干燥(臨時干燥)，從而形成不粘手的涂膜。本發(fā)明的感光性組合物的干燥涂膜優(yōu)選具有15~100(im的厚度。另外，通過將本發(fā)明的感光性組合物涂布到載體膜上、并使其干燥，可得到干膜。以薄膜狀巻曲的干膜粘合在形成有電路的基板上，剝離載體膜，從而可在形成有電路的基板上形成阻焊膜。其后，用直接描繪裝置(紫外線直接成像裝置)描繪圖案潛像，然后通過堿性水溶液(例如，0.3~3%碳酸鈉水溶液)將未曝光部顯影，可形成阻焊圖案。進(jìn)而，在含有熱固性成分的情況下，加熱到例如約140~180。C的溫度使其熱固化，從而前述含羧酸樹脂(A)的羧基與分子中具有2個以上環(huán)狀(硫)醚基的熱固性成分(D)的環(huán)狀(硫)醚基反應(yīng)，可形成耐熱性、耐化學(xué)藥品性、耐吸濕性、密合性以及電特性等諸特性優(yōu)異的固化涂膜。作為用于上述基板的基材，可以列舉出使用紙苯酚、紙環(huán)氧、玻璃布環(huán)氧、玻璃聚酰亞胺、玻璃布/無紡布環(huán)氧、玻璃布/紙環(huán)氧、合成纖維環(huán)氧、氟.聚乙烯.PPO氰酸酯等的高頻電路用覆銅層壓板等材質(zhì)的所有等級(FR-4等)的覆銅層壓板，以及其它的聚酰亞胺膜、PET膜、玻璃基板、陶瓷基板、晶圓板等。用熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐、IR爐、電熱板、對流烘箱等(使用具備利用蒸氣進(jìn)行空氣加熱方式的熱源的裝置并使干燥機(jī)內(nèi)的熱風(fēng)進(jìn)行對流接觸的方法、以及由噴嘴吹到支撐體上的方式)而進(jìn)行。使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法中所使用的光源選自高壓汞燈、超高壓汞燈、以及同時照射i射線(365nm)和h射線(405nm)的光源。另外，其曝光量因本發(fā)明的感光性組合物的干燥膜厚等而異，通常為5~100mJ/cm2、優(yōu)選為5~60mJ/cm2、進(jìn)一步優(yōu)選為5~30mJ/cm2的范圍內(nèi)。作為直接描繪裝置，可使用例如DAINIPPONSCREENMFG.CO.,LTD.生產(chǎn)的裝置。作為前述顯影方法，可列舉出浸漬法、噴淋法、噴射法、涂刷法等，作為顯影液，可使用氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸鈉、碳酸鉀、磷酸鈉、硅酸鈉、氨、氫氧化四曱基銨等堿性水溶液。以下，通過實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行說明，本發(fā)明并不限定于此。<含羧酸樹脂的合成>在具備攪拌器、溫度計(jì)、回流冷凝管、滴液漏斗以及氮?dú)鈱?dǎo)入管的2升可拆式燒瓶中加入660g曱酚酚醛清漆型環(huán)氧樹脂(日本化藥(林)制造，EOCN-104S,軟化點(diǎn)92。C,環(huán)氧當(dāng)量=220g/當(dāng)量)、421.3g卡必醇乙酸酯和180.6g溶劑石腦油作為溶劑，加熱到90。C并攪拌，溶解。然后，暫且冷卻到60。C,加入216g丙烯酸、4.0g作為反應(yīng)催化劑的三苯基膦、1.3g作為阻聚劑的曱基氳醌，于10(TC反應(yīng)12小時，得到酸值0.2mgKOH/g的反應(yīng)產(chǎn)物。向其中加入241.7g四氫鄰苯二曱酸酐，力口熱到90°C,反應(yīng)6小時。由此，得到不揮發(fā)成分=65質(zhì)量％、固體成分酸值=77mgKOH/g、雙鍵當(dāng)量(每l摩爾不飽和基團(tuán)的樹脂的g重量)=400§/當(dāng)量、重均分子量=7000的含羧酸樹脂的溶液。以下稱該含羧酸樹脂的溶液為A-1清漆。實(shí)施例1~5、比4交例1~2將表l所示的成分以表l所示的量(質(zhì)量份)配合、攪拌，通過3輥式輥磨機(jī)分散，分別得到感光'性組合物。<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>對使用實(shí)施例1~5、比較例1~2的組合物所形成的阻焊膜的諸性質(zhì)進(jìn)行考察，如下試驗(yàn)，進(jìn)行評價。<吸光度>將各感光性組合物用均布器涂布到玻璃板上，然后使用熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐在8(TC干燥30分鐘，在玻璃板上制備其干燥涂膜。關(guān)于該玻璃板上的各感光性組合物的干燥涂膜，使用紫外可見分光光度計(jì)(日本分光林式會社生產(chǎn)，Ubest-V-570DS)、以及積分球裝置(日本分光抹式會社生產(chǎn)，ISN-470)測定吸光度。另外，對于與涂布了各感光性組合物的玻璃板相同的玻璃板，測定在300nm500nm波長范圍下的吸光度基線。所制備的帶有干燥涂膜的玻璃板的吸光度減去基線，由此計(jì)算出干燥涂膜的吸光度。將均布器涂布的涂布厚度分4個階段改變而進(jìn)行該操作，制作涂布厚度與吸光度的圖表，從該圖表計(jì)算出干燥阻焊膜厚為25)im時的吸光度。關(guān)于實(shí)施例l~5和比較例1~2，分別在表2中示出結(jié)果。(2)固化深度和截面形狀將線(層疊有銅箔的部分)/間隔(沒層疊銅箔的部分)為300^im/300(im的寬度、銅厚為70(im的電3各圖案基壽反用^旭光專昆研磨后，水洗、干燥。利用絲網(wǎng)印刷法將各組合物涂布到該電路圖案基板上，在80。C的熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐中干燥30分鐘。干燥后，使用各種曝光裝置對該干燥涂膜進(jìn)行曝光。曝光圖案使用對上述間隔部分別依次描繪30/40/50/60/70/80/90/1OO[im寬的線的圖案。曝光后，通過使用1.0質(zhì)量份％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影，從而得到阻焊圖案。此時，將殘留的最小線寬作為固化深度的評價。另外，通過觀察固化涂膜的線寬的設(shè)計(jì)值為1OO[im的線部的截面，進(jìn)行截面形狀的評價。在此，銅厚70pm時的阻焊膜的厚度為65pm。根據(jù)圖l的示意圖，用A~E五個等級評價截面形狀。圖中，la表示線寬的設(shè)計(jì)值，lb表示曝光、顯影后的阻焊膜的形狀，1C表示基板。各評價的狀態(tài)如下，即，A評價如設(shè)計(jì)寬度那樣的理想狀態(tài)B評價耐顯影性不足等導(dǎo)致表面層發(fā)生腐蝕C評價底切狀態(tài)D評價暈影等導(dǎo)致線變粗E評價表面層的線變粗和產(chǎn)生底切。在此，底切和暈影都是表示從設(shè)計(jì)值偏離的術(shù)語。所謂底切，表示尤其下部比設(shè)計(jì)值細(xì)，暈影表示上部、下部某一個或兩者比設(shè)計(jì)值粗。尤其在A評價中，從設(shè)計(jì)值的偏離，在線的上部、下部都在5fim以內(nèi)。不僅是A評價，C評價、D評價都是可以用作阻焊劑的水平。與此相對，B評價、E評價的阻焊膜，其線、底切部易剝離，是難以用作阻焊膜的水平，尤其E評價是不能使用的水平。關(guān)于實(shí)施例1~5和比較例1~2，在表3中示出評^N吉果。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>使用激光直接描繪機(jī)DAINIPPONSCREENMFG.CO.,LTD.生產(chǎn)的Mercurex實(shí)施例6用曱乙酮稀釋表1所示的實(shí)施例1,涂布到載體膜上，在8(TC的熱風(fēng)干燥機(jī)中加熱干燥30分鐘，形成厚度25pm的光固化性熱固化性樹脂組合物層，在其上貼合上膜(coverfilm)而得到干膜。其后，剝離上膜，對形成有圖案的銅箔基板熱層壓薄膜而貼合后，用表3所示的實(shí)施例1的條件實(shí)施曝光，去掉載體膜之后，用1質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液顯影60秒而得到圖像。進(jìn)一步在150。C的熱風(fēng)千燥機(jī)中加熱固化60分鐘，制備試驗(yàn)基板。對于所得的具有固化覆膜的試驗(yàn)基板，通過前述的試驗(yàn)方法和評價方法進(jìn)行各特性的評價試驗(yàn)。結(jié)果與表3的實(shí)施例1的結(jié)果相同。如以上詳細(xì)記載那樣，根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種高感光度的感光性組合物，其可以適用于使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法中。本發(fā)明的感光性組合物即使在照射低曝光量的紫外光的情況下，也能正確地形成所期望的圖案潛像。權(quán)利要求1.一種感光性組合物，其特征在于，所述感光性組合物通過使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法形成圖案潛像，通過堿性水溶液使該圖案潛像顯影，其中，其曝光前的干燥涂膜每25μm厚度在355nm～375nm波長范圍顯示0.6～1.2的吸光度，并且在405nm波長顯示0.3～0.6的吸光度。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性組合物，其特征在于，曝光前的所述干燥涂膜的每25)im厚度在355nm~375nm波長范圍的最大吸光度與在405nm波長的吸光度之差為0.3以上。3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性組合物，其特征在于，曝光前的所述干燥涂膜每25iim厚度在355nm~375nm波長范圍顯示0.6~1.2的吸光度，以及在405nm波長,顯示0.3~0.6的吸光度，并且，在355nm375nm波長范圍的最大吸光度與在405nm波長的吸光度之差為0.3以上且小于0.6。4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性組合物，其特征在于，所述感光性組合物包含(A)含羧酸樹脂、(B)光聚合引發(fā)劑以及(C)顏料。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光性組合物，其特征在于，所述光聚合引發(fā)劑(B)是選自具有式(I)表示的基團(tuán)的肝酯系光聚合引發(fā)劑、具有式(II)表示的基團(tuán)的ot-氨基苯乙酮系光聚合引發(fā)劑、以及具有式J[III)表示的基團(tuán)的?；趸⑾倒饩酆弦l(fā)劑所組成的組中的1種以上光聚合引發(fā)劑，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式中，R'表示氫原子、苯基(可以被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或鹵原子取代)、碳原子數(shù)l~20的烷基(可以被l個以上羥基取代，可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的烷酰基或苯曱?；?可以被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代)；R"表示苯基(可以被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或卣原子取代)、碳原子數(shù)l~20的烷基(可以被l個以上羥基取代，可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的烷?；虮綍貂；?可以被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代)；113和114各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~12的烷基或芳烷基；R-s和RS各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)16的烷基、或者兩者結(jié)合而成的環(huán)狀烷醚基；R7和RS各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)l~IO的直鏈狀或支鏈狀的烷基、環(huán)己基、環(huán)戊基、芳基、或者被卣原子、烷基或烷氧基取代的芳基，其中，R和RS之一可以表示R-C(K))-基團(tuán)(其根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光性組合物，其特征在于，所述具有式(I)表示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑包含式(V)的化合物，式中，R"表示氫原子、囟原子、碳原子數(shù)l~12的烷基、環(huán)戊基、環(huán)己基、苯基、芐基、苯曱?；?、碳原子數(shù)212的烷?；⑻荚訑?shù)2~12的烷氧羰基(構(gòu)成烷氧基的烷基的碳原子數(shù)為2以上的情況下，烷基可以被l個以上輕基取代，也可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、或者苯氧羰基；R1Q、R"各自獨(dú)立地表示苯基(可以被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或鹵原子取代)、碳原子數(shù)l~20的烷基(可以被l個以中，R為碳原子數(shù)l~20的烴基)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的感光性組合物，其特征在于，所述具有式(I)表示的基團(tuán)的肟酯系光聚合引發(fā)劑包含式(IV)的化合物。7.上羥基取代，也可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的烷?；虮郊柞；?可以被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代)；R"表示氫原子、苯基(可以被碳原子數(shù)l~6的烷基、苯基或囟原子取代)、碳原子數(shù)l~20的烷基(可以被l個以上羥基取代，也可以在烷基鏈的中間具有l(wèi)個以上氧原子)、碳原子數(shù)5~8的環(huán)烷基、碳原子數(shù)2~20的烷?；虮綍貂；?可以被碳原子數(shù)l~6的烷基或苯基取代)。8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光性組合物，其特征在于，所述顏料(C)包含酞菁藍(lán)系顏料。9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的感光性組合物，其特征在于，還包含分子中具有2個以上環(huán)狀醚基和/或環(huán)狀硫醚基的熱固性成分(D)。10.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性組合物，其特征在于，所述使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法中所使用的光源選自高壓汞燈、超高壓汞燈、以及同時照射i射線(365nm)和h射線(405nm)的光源。11.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性組合物，其特征在于，可作為厚度15(im100fim的干燥涂膜適用。12.—種干膜，其通過將權(quán)利要求l所述的感光性組合物涂布到載體膜上之后干燥而得到。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性組合物，其特征在于，其通過使用產(chǎn)生紫外線的燈所發(fā)出的光的直接描繪法形成圖案潛像，通過堿性水溶液使該圖案潛像顯影，其中，其曝光前的干燥涂膜每25μm厚度在355nm～375nm波長范圍顯示0.6～1.2的吸光度，并且在405nm波長顯示0.3～0.6的吸光度。而且，提供一種干膜，其通過將該組合物涂布到載體膜上之后干燥而得到。文檔編號G03F7/004GK101183216SQ20071018725公開日2008年5月21日申請日期2007年11月15日優(yōu)先權(quán)日2006年11月15日發(fā)明者加藤賢治,有馬圣夫,柴崎陽子申請人:太陽油墨制造株式會社