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一種日盲紫外像增強(qiáng)器空間分辨率測(cè)試裝置的制作方法

文檔序號(hào):11046796閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種日盲紫外像增強(qiáng)器空間分辨率測(cè)試裝置,其特征在于:包括依次設(shè)置的紫外光源、毛玻璃片、分辨率測(cè)試靶、第一平行光管、紫外窄帶濾光片、通光孔徑從0.5mm-10mm可調(diào)的光闌和第二平行光管,還包括管狀殼體、顯微鏡、支座、導(dǎo)軌和多維調(diào)節(jié)架;所述顯微鏡和日盲紫外像增強(qiáng)器設(shè)置于多維調(diào)節(jié)架上;所述多維調(diào)節(jié)架、紫外光源和管狀殼體設(shè)置在支座上,所述支座設(shè)置在導(dǎo)軌上,用于支撐多維調(diào)節(jié)架和紫外光源的支座在導(dǎo)軌上軸向移動(dòng);

所述第一平行光管、第二平行光管和管狀殼體構(gòu)成光學(xué)成像系統(tǒng),所述第一平行光管、第二平行光管設(shè)置在管狀殼體中,所述紫外窄帶濾光片和光闌插入管狀殼體中,光學(xué)成像系統(tǒng)成像放大率為1:1,所述第一平行光管包括依次設(shè)置的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡,所述第二平行光管包括依次設(shè)置的第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡,所述第一透鏡、第二透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第七透鏡、第八透鏡是由CaF2制成的正透鏡,所述第三透鏡和第六透鏡是由石英制成的凹透鏡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的日盲紫外像增強(qiáng)器空間分辨率測(cè)試裝置,其特征在于:紫外光源為氘燈構(gòu)成,輻射波段范圍為110nm-400nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的日盲紫外像增強(qiáng)器空間分辨率測(cè)試裝置,其特征在于:毛玻璃片為采用透紫外光的JGS1石英玻璃材料制成的毛玻璃片。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的日盲紫外像增強(qiáng)器空間分辨率測(cè)試裝置,其特征在于:分辨率測(cè)試靶為采用JGS1石英玻璃材料光刻制成的USAF1951分辨率板,透過(guò)波段185nm-2500nm。

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