技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種壓力傳感器，所述壓力傳感器包括兩個外接電極和兩個相對設(shè)置的具有彈性的襯底，至少一個襯底的接觸面上有凸起結(jié)構(gòu)，接觸面為兩個襯底相對的一面，襯底為導(dǎo)電體，每個襯底連接一個外接電極，凸起結(jié)構(gòu)的表面覆蓋有導(dǎo)電層。從而，既利用了彈性導(dǎo)電襯底本身在壓力作用下產(chǎn)生形變而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化的壓阻效應(yīng)，又利用了襯底在壓力作用下其凸起結(jié)構(gòu)表面的導(dǎo)電層接觸面積改變而導(dǎo)致接觸電阻發(fā)生變化的效應(yīng)，通過二者的協(xié)同作用極大的擴大了壓力檢測范圍，并且相對現(xiàn)有技術(shù)中在兩個襯底之間夾設(shè)電路層的方式，本實用新型實施例中的導(dǎo)電層在凸起結(jié)構(gòu)形變時其接觸面積變化更大，因此進(jìn)一步提高了壓力傳感器的靈敏度和可靠性。

技術(shù)研發(fā)人員：胡友根;趙濤;朱朋莉;張愿;朱玉;梁先文;孫蓉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
文檔號碼：201621457364
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.28
技術(shù)公布日：2017.06.20