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一種高靈敏度集成壓力傳感器的制作方法

文檔序號:12312862閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高靈敏度集成壓力傳感器,包括外部封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述外部封裝結(jié)構(gòu)包括外殼(4)和基板(6),所述外部封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)部設(shè)有壓力傳感器芯片和集成電路芯片(5),所述壓力傳感器芯片包括彈性膜片(2)、二氧化硅保護(hù)層(3)和支撐環(huán)(8),所述彈性膜片(2)位于所述支撐環(huán)(8)上,所述彈性膜片(2)的兩端設(shè)有限位塊(7),所述限位塊(7)為倒置的L形結(jié)構(gòu),所述限位塊(7)在與所述彈性膜片(2)接觸的位置設(shè)有壓敏電阻(1),所述彈性膜片(2)的中心位置設(shè)有緩沖層(9),所述緩沖層(9)的上表面設(shè)置有二氧化硅保護(hù)層(3),所述壓力傳感器芯片和集成電路芯片(5)之間通過金屬引線采用打線的方式電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度集成壓力傳感器,其特征在于:所述基板(6)上設(shè)置有焊盤,焊盤將壓力傳感器芯片與外部電子電路電連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度集成壓力傳感器,其特征在于:所述集成電路芯片(5)包括三段可調(diào)正穩(wěn)壓器集成電路LM17、儀表放大器AD620和外圍電路,所述AD620連接傳感器電橋,并通過電容與LM17連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度集成壓力傳感器,其特征在于:所述外殼(4)采用不銹鋼外殼。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高靈敏度集成壓力傳感器,其特征在于:所述外殼(4)與所述基板(6)固定設(shè)置,所述外殼(4)與所述基板(6)配合將所述壓力傳感器芯片及所述集成電路芯片(5)與外部隔離。

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