技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明描述一種用于監(jiān)測流體的多程池組合件，以及利用所述多程池組合件的流體處理系統(tǒng)及使用此多程池組合件來進行流體監(jiān)測的相關(guān)聯(lián)方法。所述多程池組合件通常用于例如監(jiān)測氣相沉積工藝反應物等流體處理操作中，所述氣相沉積工藝反應物例如用于從羰基鎢前驅(qū)物進行鎢的氣相沉積金屬化的反應物。

技術(shù)研發(fā)人員：T·H·鮑姆;J·P·科茨;R·L·賴特二世
受保護的技術(shù)使用者：恩特格里斯公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.16
技術(shù)公布日：2017.10.13