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一種同面電容陣列成像傳感空/滿場設定方法與流程

文檔序號:12592783閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種同面電容陣列成像傳感空/滿場設定方法,其特征在于,包括以下步驟:

(1)、將被測物放置于傳感器極板上,測量此時被測物的電容值作為物場電容值;

(2)、以傳感器極板的幾何中心為軸心,將被測物逆時針旋轉90度,測量此時被測物的電容值作為空場電容值;

(3)、繼續(xù)將被測物逆時針旋轉90度,測量此時被測物的電容值作為滿場電容值;

(4)、將步驟(2)所測得的空場電容值與步驟(3)所測得的滿場電容值分別與步驟(1)所測得的物場電容值做差,并分別對兩組差值電容進行圖像重建,觀察所得差值重建圖像,

其中以不同顏色表示介電系數(shù)的高低:

紅色代表高介電常數(shù),

藍色代表低介電常數(shù),

缺陷位置隨被測樣件的旋轉而改變;

(5)、比較兩幅差值重建圖像中紅藍兩區(qū)域是否符合相應的旋轉角度關系,若符合,則確認在空場電容值差值圖像中藍色區(qū)域,即對應滿場電容值差值圖像中的紅色區(qū)域為缺陷位置;若不符合,則確認在空場電容值差值圖像中藍色區(qū)域為缺陷位置的基礎上,將空場電容值差值圖像中紅色區(qū)域順時針旋轉90度,旋轉之后的紅色區(qū)域是被測物體旋轉而造成的缺陷重合部分,該缺陷重合部分與之前已確定的缺陷部分共同組成被測物場中的缺陷。

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