技術總結
本發(fā)明公開了一種智能化在線稀釋校準儀，包括標氣系統(tǒng)，稀釋氣系統(tǒng)，稀釋管路控制系統(tǒng)；其中所述標氣系統(tǒng)的標氣(1，2，3，4，5，6，7)和吹掃氣(8)并列排列，并依次經(jīng)過連接的多通(22)，顆粒過濾器(25)，穩(wěn)壓閥(9)，電磁三通閥(10)，旁路吹掃系統(tǒng)(12)，流量控制系統(tǒng)(11)，三通(26)，單向閥(13)，電磁三通閥(14)，吹掃氣放空口(23)；所述稀釋氣系統(tǒng)的稀釋氣(20，21)，經(jīng)過質量流量計(15，16)，經(jīng)過電磁三通閥(17)至稀釋管路系統(tǒng)；所述管路控制系統(tǒng)的稀釋管路(18)，經(jīng)管路解法(19)，經(jīng)過最終稀釋氣出口(24)；所述電磁三通閥(14)連接所述稀釋管路控制系統(tǒng)。

技術研發(fā)人員：楊任;王浩
受保護的技術使用者：常州磐諾儀器有限公司
文檔號碼：201710044654
技術研發(fā)日：2017.01.19
技術公布日：2017.06.30