1.一種T形結(jié)縫隙耦合在線式微波相位檢測器，其特征是在高阻硅襯底(1)上制作SiO2層(21)，在SiO2層(21)上設(shè)有共面波導(dǎo)傳輸線、關(guān)于共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(2)對稱的縫隙結(jié)構(gòu)(4)和縫隙結(jié)構(gòu)(5)、T形結(jié)以及直接加熱式微波功率傳感器1和直接加熱式微波功率傳感器2，所述的共面波導(dǎo)傳輸線由共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(2)和地線(3)構(gòu)成，共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(2)上側(cè)的縫隙結(jié)構(gòu)(4)通過直接加熱式微波功率傳感器1的共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(10)連接直接加熱式微波功率傳感器1，下側(cè)的縫隙結(jié)構(gòu)(5)通過T形結(jié)的第一共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(14)連接T形結(jié)的一個輸入端，另一個輸入端通過T形結(jié)的第二共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(15)連接參考信號輸入端口，T形結(jié)的輸出端口通過T形結(jié)的第三共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(16)連接直接加熱式微波功率傳感器2。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的T形結(jié)縫隙耦合在線式微波相位檢測器，其特征是采用T形結(jié)進(jìn)行功率和成，所述的T形結(jié)包括第一空氣橋(11)、第二空氣橋(12)、第三空氣橋(13)、第一共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(14)、第二共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(15)、第三共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(16)，為三端口器件，可用于功率合成，無需隔離電阻，其中第一空氣橋(11)、第二空氣橋(12)、第三空氣橋(13)用于共面波導(dǎo)傳輸線的地線(3)之間的互連，同時為了方便這三個空氣橋的釋放，在其上制作了一組小孔陣列。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的T形結(jié)縫隙耦合在線式微波相位檢測器，其特征是采用直接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行功率檢測，所述的直接加熱式微波功率傳感器1包括半導(dǎo)體熱偶臂(6)、終端電阻(7)、直流輸出塊(8)、隔絕直流電容(9)、共面波導(dǎo)傳輸線的信號線(10)；所述的直接加熱式微波功率傳感器2包括半導(dǎo)體熱偶臂(17)終端電阻(18)、直流輸出塊(19)、隔絕直流電容(20)。