技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基板異物和光學(xué)濃度的檢測裝置，包括：設(shè)置在基板上方的光發(fā)射單元，用于向基板表面發(fā)射光束；所述基板為對黑色矩陣進行涂膠之后且曝光之前的玻璃基板；反射光接收單元，用于接收基板表面的反射光；設(shè)置在基板下方的透射光接收單元，用于接收透過基板的透射光；與反射光接收單元和透射光接收單元分別連接的處理單元，用于捕捉光束信息，分別計算獲得基板表面異物的分布信息和相應(yīng)坐標(biāo)位置的光學(xué)濃度值。本發(fā)明還提供了一種基板異物和光學(xué)濃度的檢測方法。實施本發(fā)明提供的技術(shù)方案，可實現(xiàn)對涂覆有黑色矩陣的基板異物與光學(xué)濃度的同時、快速、準(zhǔn)確測量，簡化設(shè)備結(jié)構(gòu)，提高基板的生產(chǎn)質(zhì)量和效率。

技術(shù)研發(fā)人員：藍(lán)雷雷;蔡泵龍;方金波;呂永維;司斌;朱景河;黃偉東;李建華
受保護的技術(shù)使用者：信利（惠州）智能顯示有限公司
文檔號碼：201710063951
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.04
技術(shù)公布日：2017.05.24