本發(fā)明涉及檢查技術(shù)，涉及一種粒子檢測系統(tǒng)以及粒子的檢測方法。

背景技術(shù)：

作為測定液體中的物體的裝置，有流式細胞儀(例如，參考專利文獻1)、粒子計數(shù)器(例如，參考專利文獻2)及熒光物質(zhì)檢測系統(tǒng)(例如，參考專利文獻3)。

【現(xiàn)有技術(shù)文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本專利4971451號公報

【專利文獻2】日本專利特開2001-13058號公報

【專利文獻3】國際公開第2010/080642號

技術(shù)實現(xiàn)要素：

【發(fā)明要解決的問題】

另外，純化水、制藥用水及注射用水等的針對微生物的處理基準值在藥典中有規(guī)定。處理基準值根據(jù)純化水的用途而不同。例如，作為針對以無菌為前提的注射用水的活菌數(shù)的處理基準，0.1cfu/ml以下視為恰當，在生產(chǎn)注射用水時，要求一方面抑制水的消耗、另一方面以高靈敏度來檢測微量的微生物。此外，作為針對純化水的活菌數(shù)的處理基準，100cfu/ml以下視為恰當，基準比注射用水寬松。雖然生產(chǎn)純化水時所要求的微生物的檢測靈敏度比生產(chǎn)注射用水時所要求的靈敏度低，但要求每單位時間檢查大量的純化水。

本發(fā)明者等人注意到如下情況：像這樣在檢查液體中所含的微生物等粒子時，存在需要低處理量而靈敏度相對較高的粒子檢測的情況和需要高處理量而靈敏度相對較低的粒子檢測的情況。但專利文獻1至3中所揭示的裝置無法應對這種處理量和靈敏度的變化。因此，本發(fā)明的目的之一在于提供一種可應對測定環(huán)境的變化的粒子檢測裝置以及粒子的檢測方法。

【解決問題的技術(shù)手段】

根據(jù)本發(fā)明的形態(tài)，提供一種粒子檢測系統(tǒng)，其包括：(a)流路，其供含有粒子的樣品液流動；(b)光源，其對樣品液照射檢查光；(c)光檢測部，其對由被照射到檢查光的粒子產(chǎn)生的反應光進行檢測并發(fā)出測定信號；(d)去噪濾波器，其從測定信號中去除噪聲；(e)流量計，其測定樣品液的流量；(f)輸出裝置，其輸出測定出的流量；(g)輸入裝置，其接受去噪濾波器要去除的噪聲的頻率的設(shè)定；以及(h)控制部，其按照來自輸入裝置的輸入來控制去噪濾波器要去除的噪聲的頻率。

上述粒子檢測系統(tǒng)可還包括流量調(diào)整裝置，所述流量調(diào)整裝置調(diào)整樣品液的流量。在上述粒子檢測系統(tǒng)中，輸入裝置可接受流量調(diào)整裝置要調(diào)整的流量的設(shè)定，控制部可按照來自輸入裝置的輸入來控制流量調(diào)整裝置要設(shè)定的樣品液的流量。

在上述粒子檢測系統(tǒng)中，輸入裝置可接受去除了噪聲之后的測定信號的檢測脈沖的檢測強度的閾值的設(shè)定。上述粒子檢測系統(tǒng)可還包括脈沖檢測部，所述脈沖檢測部對去除了噪聲之后的測定信號的閾值以上的強度的檢測脈沖進行檢測。在上述粒子檢測系統(tǒng)中，控制部可按照來自輸入裝置的輸入來控制脈沖檢測部要設(shè)定的閾值。

此外，根據(jù)本發(fā)明的形態(tài)，提供一種粒子檢測系統(tǒng)，其包括：(a)流路，其供含有粒子的樣品液流動；(b)光源，其對樣品液照射檢查光；(c)光檢測部，其對由被照射到檢查光的粒子產(chǎn)生的反應光進行檢測并發(fā)出測定信號；(d)去噪濾波器，其從測定信號中去除噪聲；(e)流量計，其測定樣品液的流量；以及(f)反饋控制部，其根據(jù)樣品液的流量來控制去噪濾波器要去除的噪聲的頻率。

在上述粒子檢測系統(tǒng)中，當樣品液的流量增加時，反饋控制部可提高去噪濾波器要去除的噪聲的頻率，當樣品液的流量減少時，反饋控制部可降低去噪濾波器要去除的噪聲的頻率。

上述粒子檢測系統(tǒng)可還包括流量調(diào)整裝置，所述流量調(diào)整裝置調(diào)整樣品液的流量。

上述粒子檢測系統(tǒng)可還包括脈沖檢測部，所述脈沖檢測部對去除了噪聲之后的測定信號的閾值以上的強度的檢測脈沖進行檢測。當樣品液的流量增加時，反饋控制部可提高脈沖檢測部要設(shè)定的閾值，當樣品液的流量減少時，反饋控制部可降低閾值。

在上述粒子檢測系統(tǒng)中，去噪濾波器可為低通濾波器或帶通濾波器。此外，光檢測部可包括光電倍增管。

進而，根據(jù)本發(fā)明的形態(tài)，提供一種粒子的檢測方法，其包括如下操作：(a)將含有粒子的樣品液流至流路；(b)對樣品液照射檢查光；(c)對由被照射到檢查光的粒子產(chǎn)生的反應光進行檢測并發(fā)出測定信號；(d)利用去噪濾波器從測定信號中去除噪聲；(e)測定樣品液的流量；(f)輸出測定出的流量；(g)接受去噪濾波器要去除的噪聲的頻率的設(shè)定；以及(h)按照所接受的設(shè)定來控制去噪濾波器要去除的噪聲的頻率。

上述粒子的檢測方法可還包括如下操作：接受流量調(diào)整裝置要調(diào)整的樣品液的流量的設(shè)定，按照所接受的設(shè)定來控制流量調(diào)整裝置要設(shè)定的樣品液的流量。

上述粒子的檢測方法可還包括如下操作：接受去除了噪聲之后的測定信號的檢測脈沖的檢測強度的閾值的設(shè)定，按照所接受的設(shè)定來檢測閾值以上的檢測脈沖。

進而，根據(jù)本發(fā)明的形態(tài)，提供一種粒子的檢測方法，其包括如下操作：(a)將含有粒子的樣品液流至流路；(b)對樣品液照射檢查光；(c)對由被照射到檢查光的粒子產(chǎn)生的反應光進行檢測并發(fā)出測定信號；(d)利用去噪濾波器從測定信號中去除噪聲；(e)測定樣品液的流量；以及(f)根據(jù)樣品液的流量來控制去噪濾波器要去除的噪聲的頻率。

在上述粒子的檢測方法的控制去噪濾波器要去除的噪聲的頻率的操作中，當樣品液的流量增加時，可提高去噪濾波器要去除的噪聲的頻率，當樣品液的流量減少時，可降低去噪濾波器要去除的噪聲的頻率。

上述粒子的檢測方法可還包括如下操作：調(diào)整樣品液的流量。

上述粒子的檢測方法可還包括如下操作：對去除了噪聲之后的測定信號的閾值以上的強度的檢測脈沖進行檢測。在對去除了噪聲之后的測定信號的閾值以上的強度的檢測脈沖進行檢測的操作中，當樣品液的流量增加時，可提高閾值，當樣品液的流量減少時，可降低閾值。

在上述粒子的檢測方法中，去噪濾波器可為低通濾波器或帶通濾波器?？捎晒怆姳对龉軝z測反應光。

【發(fā)明的效果】

根據(jù)本發(fā)明，可提供一種可應對測定環(huán)境的變化的粒子檢測裝置以及粒子的檢測方法。

附圖說明

圖1為表示本發(fā)明的第1實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的示意圖。

圖2為表示本發(fā)明的第1實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的檢測裝置的示意圖。

圖3為表示本發(fā)明的第2實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的示意圖。

圖4為表示本發(fā)明的第3實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的檢測裝置的示意圖。

圖5為表示本發(fā)明的第4實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的示意圖。

圖6為表示本發(fā)明的第5實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的示意圖。

圖7為表示本發(fā)明的第7實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的檢測裝置的示意圖。

圖8為表示本發(fā)明的第7實施方式的測定信號的例子的圖表。

圖9為表示本發(fā)明的第7實施方式的測定信號的例子的圖表。

圖10為表示本發(fā)明的第7實施方式的測定信號的例子的圖表。

圖11為表示本發(fā)明的第7實施方式的測定信號的例子的圖表。

具體實施方式

下面，對本發(fā)明的實施方式進行說明。在以下的附圖的記載中，以相同或類似的符號表示相同或類似的部分。但附圖是示意性的。因而，具體的尺寸等應對照以下的說明來進行判斷。此外，在附圖相互之間，當然也包含相互的尺寸的關(guān)系、比率不同的部分。

(第1實施方式)

圖1及圖2所示的第1實施方式的粒子檢測系統(tǒng)包括：流路2，其供含有粒子的樣品液流動；檢查裝置100，其包括光源10、光檢測部20、50以及去噪濾波器23、53，所述光源10對樣品液照射檢查光，所述光檢測部20、50對由被照射到檢查光的粒子產(chǎn)生的反應光進行檢測而發(fā)出測定信號，所述去噪濾波器23、53從測定信號中去除噪聲；流量計200，其測定樣品液的流量；輸出裝置401，其輸出測定出的流量；輸入裝置402，其接受去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率的設(shè)定；以及控制部301，其按照來自輸入裝置402的輸入來控制去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。例如，控制部301包含在中央運算處理裝置(cpu)300中。

在流路2中流動的樣品液例如為在工廠中生產(chǎn)的純水、制藥用水及注射用水等純化水，但不限定于這些液體。流路2例如經(jīng)由取樣口3而從主管道1中分支出來。

檢查裝置100設(shè)置在流路2上。如圖2所示，光源10配備在檢查裝置100中。檢查裝置100包括：熒光測定器102，其對被照射到檢查光的區(qū)域內(nèi)所產(chǎn)生的包含微生物粒子及非微生物粒子的自體熒光的熒光波段的光的強度進行測定；以及散射光測定器105，其對被照射到檢查光的區(qū)域內(nèi)所產(chǎn)生的散射光進行測定。光檢測部20及去噪濾波器23配備在熒光測定器102中。此外，光檢測部50及去噪濾波器53配備在散射光測定器105中。光源10、熒光測定器102及散射光測定器105與圖1所示的cpu300電連接。

圖2所示的光源10及光檢測部20、50設(shè)置在殼體30內(nèi)。在光源10上連接有對光源10供給電力的光源驅(qū)動電源11。在光源驅(qū)動電源11上連接有對供給至光源10的電力進行控制的電源控制裝置12。流過圖1所示的流路2之后的樣品液在檢查裝置100內(nèi)在圖2所示的透明的檢測池40中流動。流過檢測池40之后的樣品液例如排出至圖1所示的流路4。

圖2所示的光源10朝檢測池40中的樣品液的水流照射例如寬波段波長的檢查光。作為光源10，例如可使用發(fā)光二極管(led)及激光。檢查光的波長例如為250至550nm。檢查光可為可見光，也可為紫外光。在檢查光為可見光的情況下，檢查光的波長例如處于400至550nm的范圍內(nèi)，例如為405nm。在檢查光為紫外光的情況下，檢查光的波長例如處于300至380nm的范圍內(nèi)，例如為340nm。但檢查光的波長不限定于此。

從光源10發(fā)出的檢查光例如經(jīng)由透鏡而會聚于檢測池40中。在檢測池40內(nèi)，有時將包含檢查光得以會聚的點的區(qū)域稱為檢查區(qū)域。在檢測池40中的樣品液中含有微生物粒子的情況下，被照射到檢查光的微生物粒子中所含的煙酰胺腺嘌呤二核苷酸及核黃素等會發(fā)出作為反應光的自體熒光。此外，在被照射到檢查光的微生物粒子上會產(chǎn)生作為反應光的散射光。

微生物粒子所發(fā)出的自體熒光的波長及強度根據(jù)微生物粒子的種類而不同。此外，由微生物粒子產(chǎn)生的散射光的強度取決于微生物粒子的粒徑。微生物粒子的粒徑根據(jù)微生物粒子的每一種類而不同。因此，根據(jù)檢測到的熒光的波長及強度以及散射光的強度，可確定樣品液中所含的微生物粒子的種類。

此外，在樣品液中含有非微生物粒子的情況下，某些非微生物粒子的材料也會使得非微生物粒子發(fā)出自體熒光。此外，不論粒子的材料如何，在被照射到檢查光的粒子上都會產(chǎn)生散射光。

非微生物粒子所發(fā)出的自體熒光的波長及強度根據(jù)非微生物粒子的種類而不同。此外，由非微生物粒子產(chǎn)生的散射光的強度取決于非微生物粒子的粒徑。還存在非微生物粒子的粒徑根據(jù)非微生物粒子的每一種類而不同的情況。因此，根據(jù)檢測到的熒光的波長及強度以及散射光的強度，可確定樣品液中所含的非微生物粒子的種類。

熒光測定器102對微生物粒子及非微生物粒子所發(fā)出的自體熒光等熒光波段的光進行檢測。熒光測定器102的光檢測部20檢測熒光波段的光。作為光檢測部20，可使用光電倍增管及光電二極管等，當接收到光時，將光能轉(zhuǎn)換為電能而發(fā)出電信號即測定信號。

在光檢測部20上連接有對光檢測部20中所產(chǎn)生的測定信號進行放大的放大器21。在放大器21上連接有對放大器21供給電力的放大器電源22。此外，在放大器21上連接有去噪濾波器23。當光檢測部20檢測到熒光時，測定信號中會出現(xiàn)具有寬度的檢測脈沖。測定信號的噪聲的頻率通常比檢測脈沖的頻率高，因此，去噪濾波器23從測定信號中去除高頻成分來而除噪聲。作為去噪濾波器23，可使用低通濾波器或帶通濾波器。在去噪濾波器23上連接有接收去除了噪聲之后的測定信號并算出光檢測部20所接收到的光的強度的光強度算出裝置24。在光強度算出裝置24上連接有保存光強度算出裝置24所算出的光的強度的光強度存儲裝置25。

熒光測定器102例如連續(xù)進行熒光的測定并持續(xù)記錄檢測到的熒光的強度。

散射光測定器105對由被照射到檢查光的微生物粒子及非微生物粒子產(chǎn)生的散射光進行檢測。散射光測定器105的光檢測部50檢測散射光。作為光檢測部50，可使用光電倍增管及光電二極管等，當接收到光時，將光能轉(zhuǎn)換為電能而發(fā)出電信號即測定信號。

在光檢測部50上連接有對光檢測部50中所產(chǎn)生的測定信號進行放大的放大器51。在放大器51上連接有對放大器51供給電力的放大器電源52。此外，在放大器51上連接有去噪濾波器53。當光檢測部50檢測到散射光時，測定信號中會出現(xiàn)具有寬度的檢測脈沖。測定信號的噪聲的頻率通常比檢測脈沖的頻率高，因此，去噪濾波器53從測定信號中去除高頻成分而去除噪聲。作為去噪濾波器53，可使用低通濾波器或帶通濾波器。在去噪濾波器53上連接有接收去除了噪聲之后的測定信號并算出光檢測部50所接收到的光的強度的光強度算出裝置54。在光強度算出裝置54上連接有保存光強度算出裝置54所算出的光的強度的光強度存儲裝置55。

散射光測定器105例如連續(xù)進行散射光的測定并持續(xù)記錄檢測到的散射光的強度。

圖1所示的流量計200設(shè)置在流路4上，所述流路4供從檢查裝置100排出的樣品液流動。流量計200測定在流路4中流動的樣品液的流量。在流路4中流動的樣品液的流量與在圖2所示的檢查裝置100的檢測池40中流動的樣品液的流量大致相同。再者，圖1所示的流量計200也可設(shè)置在檢查裝置100的上游。

作為輸出裝置401，可使用顯示裝置及打印機等。輸出裝置401輸出流量計200所測定出的樣品液的流量。

此處，圖2所示的光檢測部20、50所發(fā)出的測定信號的檢測脈沖的寬度根據(jù)樣品液的流量而變動。具體而言，當樣品液的流量增多時，測定信號的檢測脈沖的寬度存在變窄的傾向，當樣品液的流量減少時，測定信號的檢測脈沖的寬度存在變寬的傾向。換句話說，當樣品液的流速加快時，測定信號的檢測脈沖的寬度存在變窄的傾向，當樣品液的流速變慢時，測定信號的檢測脈沖的寬度存在變寬的傾向。

在圖1所示的cpu300上還連接有輸入裝置402。作為輸入裝置402，可使用鍵盤及鼠標等。輸入裝置402可接受去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率的輸入。cpu300的控制部301按照輸入裝置402所接受的去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率來控制去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。

根據(jù)第1實施方式的粒子檢測系統(tǒng)，操作人員可根據(jù)輸出至輸出裝置401的樣品液的流量來控制去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。具體而言，在輸出至輸出裝置401的樣品液的流量增多的情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而提高去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。此外，在輸出至輸出裝置401的樣品液的流量減少的情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而降低去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。

此外，在第1實施方式的粒子檢測系統(tǒng)中，通過降低去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率，可將測定信號的基線的波動平滑化。在光檢測部20、50為光電倍增管的情況下，測定信號的基線的波動存在增大的傾向，而根據(jù)第1實施方式的粒子檢測系統(tǒng)，這種波動也可加以平滑化。

再者，輸出裝置401也可以以選項形式輸出操作人員能夠輸入的頻率。在該情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而選擇以選項形式輸出的頻率中的任一項。此外，也可在光強度存儲裝置25、55中記錄所設(shè)定的頻率。

(第2實施方式)

如圖3所示，第2實施方式的粒子檢測系統(tǒng)還包括流量調(diào)整裝置210，所述流量調(diào)整裝置210調(diào)整樣品液的流量。流量調(diào)整裝置210例如設(shè)置在流路4上。再者，流量調(diào)整裝置210也可設(shè)置在檢查裝置100的上游。作為流量調(diào)整裝置210，可使用能以電控制調(diào)整流量的閥門(閥)等。在第2實施方式中，輸入裝置402能夠接受流量調(diào)整裝置210要調(diào)整的流量的設(shè)定?？刂撇?01按照來自輸入裝置402的輸入來控制流量調(diào)整裝置210要設(shè)定的樣品液的流量。

第2實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的其他構(gòu)成要素與第1實施方式相同，因此省略說明。

根據(jù)第2實施方式的粒子檢測系統(tǒng)，操作人員可根據(jù)輸出至輸出裝置401的樣品液的流量來控制流量調(diào)整裝置210要設(shè)定的樣品液的流量。例如，在樣品液為相較于處理量而言以品質(zhì)為優(yōu)先的液體的情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而減少樣品液的流量，并且，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而降低去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。

此外，在樣品液為相較于品質(zhì)而言以處理量為優(yōu)先的液體的情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而加大樣品液的流量，并且，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而提高去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。

再者，輸出裝置401也可以以選項形式顯示操作人員能夠輸入的頻率和流量。在該情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而選擇以選項形式輸出的頻率中的任一項和流量中的任一項。此外，也可在光強度存儲裝置25、55中記錄所設(shè)定的頻率和流量。

(第3實施方式)

如圖4所示，第3實施方式的粒子檢測系統(tǒng)還包括脈沖檢測部26、56，所述脈沖檢測部26、56對去除了噪聲之后的測定信號中的強度為閾值以上的檢測脈沖進行檢測。具體而言，脈沖檢測部26與去噪濾波器23連接，對來源于熒光波段的光的測定信號的檢測脈沖進行檢測。此外，脈沖檢測部56與去噪濾波器53連接，對來源于散射光的測定信號的檢測脈沖進行檢測。

第3實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的其他構(gòu)成要素與第2實施方式相同，因此省略說明。在第3實施方式中，圖3所示的輸入裝置402可接受去除了噪聲之后的測定信號的檢測脈沖的檢測強度的閾值的設(shè)定?？刂撇?01按照來自輸入裝置402的輸入來控制脈沖檢測部26、56要設(shè)定的閾值。

根據(jù)第3實施方式的粒子檢測系統(tǒng)，操作人員可根據(jù)輸出至輸出裝置401的樣品液的流量來控制圖4所示的脈沖檢測部26、56要設(shè)定的閾值。例如，在樣品液為相較于處理量而言以品質(zhì)為優(yōu)先的液體的情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而減少樣品液的流量，并且，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而降低去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。此外，通過降低去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率，來源于噪聲的測定信號的波動得以平滑化，因此可降低脈沖檢測部26、56要設(shè)定的閾值而檢測微弱的檢測脈沖。因此，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而降低脈沖檢測部26、56要設(shè)定的閾值來提高檢測脈沖的檢測靈敏度。

如上所述，在粒子檢測系統(tǒng)中，粒子通過被照射到檢查光的區(qū)域時所獲得的測定信號的檢測脈沖的寬度根據(jù)樣品液的流速而變化，在樣品液的流速較快的情況下，來源于粒子的測定信號的檢測脈沖的寬度變窄，在樣品液的流速較慢的情況下，來源于粒子的測定信號的檢測脈沖的寬度變寬。

另一方面，包含測定信號的基線的波動、來源于電路的噪聲等的測定信號的背景噪聲的頻率大致固定，并不取決于樣品液的流速，與檢測脈沖相比，分布于高頻側(cè)。

因此，當減慢樣品液的流速，并將去噪濾波器23、53允許通過的信號的頻率設(shè)定于低頻側(cè)時，由于來源于粒子的檢測脈沖為低頻側(cè)，因此不易被去噪濾波器23、53衰減，而背景噪聲因與檢測脈沖相比為高頻側(cè)，因此會被去噪濾波器23、53衰減，從而使得信噪比(sn比)提高。因此，可降低檢測脈沖的檢測強度的閾值來進行高靈敏度的檢測。

此外，在樣品液為相較于品質(zhì)而言以處理量為優(yōu)先的液體的情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而加大樣品液的流量，并且，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而提高去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率，并且，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而提高脈沖檢測部26、56要設(shè)定的閾值，從而降低檢測脈沖的檢測靈敏度。

再者，輸出裝置401也能以選項形式顯示操作人員能夠輸入的頻率、流量及閾值。在該情況下，操作人員可經(jīng)由輸入裝置402而選擇以選項形式輸出的頻率中的任一項、流量中的任一項以及閾值中的任一項。此外，也可在光強度存儲裝置25、55中記錄所設(shè)定的頻率、流量及閾值。

(第4實施方式)

第4實施方式的粒子檢測系統(tǒng)中，如圖5所示，cpu300包括反饋控制部302，所述反饋控制部302根據(jù)樣品液的流量來控制去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。反饋控制部302與流量計200連接，從流量計200接收樣品液的流量的信息。當樣品液的流量增加時，反饋控制部302提高去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率，當樣品液的流量減少時，反饋控制部302降低去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。此時，反饋控制部302也可根據(jù)測定信號中出現(xiàn)的多個脈沖的寬度的平均值來控制去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。

第4實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的其他構(gòu)成要素與第1實施方式相同，因此省略說明。根據(jù)第4實施方式的粒子檢測系統(tǒng)，可根據(jù)樣品液的流量來自動控制去噪濾波器23、53要去除的噪聲的頻率。

(第5實施方式)

如圖6所示，第5實施方式的粒子檢測系統(tǒng)還包括流量調(diào)整裝置210，所述流量調(diào)整裝置210調(diào)整樣品液的流量。在第5實施方式中，在規(guī)定期間內(nèi)檢測到粒子的次數(shù)為規(guī)定次數(shù)以上的情況下，反饋控制部302以樣品液的流量減少的方式控制流量調(diào)整裝置210。此外，在規(guī)定期間內(nèi)檢測到粒子的次數(shù)不到規(guī)定次數(shù)的情況下，反饋控制部302以樣品液的流量增多的方式控制流量調(diào)整裝置210。

第5實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的其他構(gòu)成要素與第4實施方式相同，因此省略說明。例如，在生產(chǎn)純化水等的工廠中，當發(fā)生由微生物粒子引起的污染時，會在樣品液中連續(xù)檢測到微生物粒子。此時，通過利用流量調(diào)整裝置210減少樣品液的流量，能以高靈敏度來分析由粒子產(chǎn)生的反應光。

(第6實施方式)

與第5實施方式一樣，第6實施方式的粒子檢測系統(tǒng)包括圖6所示的反饋控制部302，并且，與第3實施方式一樣，包括對去除了噪聲之后的測定信號的閾值以上的強度的檢測脈沖進行檢測的圖4所示的脈沖檢測部26、56。當樣品液的流量增加時，反饋控制部302提高脈沖檢測部26、56要設(shè)定的閾值而降低檢測脈沖的檢測靈敏度，當樣品液的流量減少時，反饋控制部302降低閾值而提高檢測脈沖的檢測靈敏度。第6實施方式的粒子檢測系統(tǒng)的其他構(gòu)成要素與第3及第5實施方式相同，因此省略說明。

(第7實施方式)

第7實施方式的粒子檢測系統(tǒng)中，如圖7所示，熒光測定器102包括2個去噪濾波器23、27，散射光測定器105也包括2個去噪濾波器53、57。如圖8所示，去噪前的測定信號中有時會出現(xiàn)高頻噪聲和基線的波動。如圖9所示，去噪濾波器23、53從測定信號中去除高頻噪聲。此外，去噪濾波器27、57將如圖10所示的測定信號的基線平滑化，從而生成如圖11所示的高頻噪聲得以去除、基線得以平滑化的測定信號。去噪濾波器23、27、53、57要去除的噪聲的頻率根據(jù)樣品液的流量而由反饋控制部302控制。

(其他實施方式)

如上所述，通過實施方式對本發(fā)明進行了記載，但構(gòu)成本揭示的一部分的記述及附圖不應理解為對本發(fā)明的限定。根據(jù)本揭示，本領(lǐng)域技術(shù)人員當明確各種替代實施方式、實施方式及運用技術(shù)。例如，去噪濾波器也可通過移動平均法來去除噪聲?；蛘?，去噪濾波器也可使用數(shù)字濾波器、無限脈沖響應(iir)濾波器或有限脈沖響應(fir)濾波器等。不管使用哪一種濾波器，根據(jù)與樣品液的流量的變動相應的脈沖寬度的變動來酌情調(diào)整窗函數(shù)、透過頻率的值即可。如此，當可理解本發(fā)明包含此處未記載的各種實施方式等。

【工業(yè)上的可利用性】

本發(fā)明可在醫(yī)藥用純化水、食品用純化水、飲料用純化水及半導體裝置制造用純化水的制造現(xiàn)場等加以利用，但不限定于此。

符號說明

1主管道

2、4流路

3取樣口

10光源

11光源驅(qū)動電源

12電源控制裝置

20、50光檢測部

21、51放大器

22、52放大器電源

23、53、27、57去噪濾波器

24、54光強度算出裝置

25、55光強度存儲裝置

26、56脈沖檢測部

30殼體

40檢測池

100檢查裝置

102熒光測定器

105散射光測定器

200流量計

210流量調(diào)整裝置

300中央運算處理裝置

301控制部

302反饋控制部

401輸出裝置

402輸入裝置。