技術總結
本發(fā)明公開一種光譜平衡的共聚焦測量裝置及方法，該裝置包括光源，用于發(fā)出預設的光譜分布特性的出射光，出射光在不同的波長時的光強分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應曲線在工作波段呈反向的走勢；采樣部，用于接收出射光后產(chǎn)生軸向色差照射至被測物，且使由被測物返回的反射光通過；分光部，用于將不同波長的光按規(guī)律分配到傳感部；傳感部；耦合部，用于耦合光源發(fā)出的出射光經(jīng)過采樣部照射在被測物上；且使被測物返回的反射光經(jīng)過采樣部傳輸?shù)椒止獠?。本發(fā)明使光源發(fā)出的出射光在不同的波長時的光強分布曲線與傳感部、采樣部和/或分光部的光譜響應曲線在工作波段呈反向的走勢，實現(xiàn)了光譜平衡優(yōu)化，提高了測量精度。

技術研發(fā)人員：劉杰波
受保護的技術使用者：深圳立儀科技有限公司
文檔號碼：201710085306
技術研發(fā)日：2017.02.15
技術公布日：2017.06.20