本發(fā)明涉及一種插座，其中接觸測頭受到絕緣支撐體支撐。

背景技術(shù)：

在檢測待檢測對象諸如半導(dǎo)體集成電路的情形中，使用了其中接觸測頭受到絕緣支撐體支撐的插座，從而將待檢測對象與測量器械的檢測板連接。每一個接觸測頭具有適于與待檢測對象連接的第一柱塞、適于與檢測板連接的第二柱塞，和用于推壓第一和第二柱塞從而使其相互分離的彈簧。在例如在jp-a-2015-215223中公開的相關(guān)技術(shù)中，插座已經(jīng)被設(shè)計為使得當(dāng)插座被設(shè)定在檢測板上時，在壓縮彈簧的同時第二柱塞被檢測板上的電極擠壓以由此后退。為此目的，在第一柱塞的頂端被釋放的狀態(tài)中(在無任何外力被施加到第一柱塞的頂端的狀態(tài)中)，利用彈簧的推壓力，具有特定值或者更大的接觸力在第二柱塞和檢測板上的電極之間產(chǎn)生。這個接觸力(負(fù)載)被稱為預(yù)載，并且已經(jīng)考慮到該預(yù)載有助于接觸穩(wěn)定性的改進(jìn)以及接觸電阻的降低和穩(wěn)定。

預(yù)載將引起用于支撐接觸測頭的絕緣支撐體的翹曲。根據(jù)設(shè)計的觀點，要求將絕緣支撐體的翹曲抑制成等于或低于預(yù)定值。在另一方面，在近來的半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域中，除了傳統(tǒng)的、降低成本的要求，還強(qiáng)烈地要求增加插針的數(shù)目以實現(xiàn)多功能，并且實現(xiàn)尺寸的降低以應(yīng)對高頻。插針數(shù)目的增加招致插座預(yù)載的整體上的增加，并且放大絕緣支撐體的翹曲。而且，為了實現(xiàn)尺寸降低，絕緣支撐體應(yīng)該具有更小的壁厚，這也放大了絕緣支撐體的翹曲。此外，根據(jù)降低成本的觀點，實際上不可能使用其中翹曲不太可能發(fā)生的、具有高剛度的材料作為用于絕緣支撐體的材料。由于這些原因，在傳統(tǒng)的設(shè)計概念中，因為絕緣支撐體的翹曲，所以已經(jīng)不可能遵守增加插針數(shù)目、實現(xiàn)尺寸降低和實現(xiàn)成本降低的要求。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

已經(jīng)鑒于上述情況實現(xiàn)了本發(fā)明。本發(fā)明的一個目的在于提供一種插座，該插座在增加插針的數(shù)目并且實現(xiàn)尺寸降低方面是有利的，并且還能夠?qū)崿F(xiàn)成本降低。

根據(jù)本發(fā)明的第一個方面，提供一種插座，包括：接觸測頭；和支撐接觸測頭的絕緣支撐體，其中接觸測頭具有：將與待檢測對象連接的第一柱塞；將與檢測板連接的第二柱塞；和構(gòu)造為將第一柱塞和第二柱塞沿著相互分離的方向推壓的彈簧，并且，在第一柱塞的頂端被釋放的狀態(tài)中，能夠在彈簧的自然長度下使得第二柱塞從絕緣支撐體的突出量為零。

在第一柱塞和第二柱塞沿著相互分離的方向的移動受到限制的狀態(tài)中，彈簧可以在接觸測頭中被加載，而不依賴于絕緣支撐體。

接觸測頭可以具有與第一柱塞一體地設(shè)置的導(dǎo)電管，第二柱塞可以在防止從導(dǎo)電管脫落的狀態(tài)中被設(shè)置在導(dǎo)電管內(nèi)側(cè)，并且彈簧可以被設(shè)置在導(dǎo)電管內(nèi)側(cè)。

第一柱塞和第二柱塞中的一個可以具有穿過彈簧的棒狀部，并且第一柱塞和第二柱塞中的另一個可以設(shè)置有與棒狀部接合的鎖定部。

在第一柱塞的頂端被釋放并且第二柱塞從絕緣支撐體的突出量為零的狀態(tài)中，彈簧的推壓力可以是等于或低于10gf。

在第一柱塞的頂端被釋放并且第二柱塞從絕緣支撐體的突出量為零的狀態(tài)中，彈簧的推壓力可以等于或低于在檢測時彈簧的推壓力的三分之一。

根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種插座，包括：接觸測頭；和支撐接觸測頭的絕緣支撐體，其中接觸測頭具有：將與待檢測對象連接的第一柱塞；和將與檢測板連接并且構(gòu)造為沿著使得第一柱塞的頂端從絕緣支撐體突出的方向推壓第一柱塞的彈簧，并且，在第一柱塞的頂端被釋放的狀態(tài)中，能夠在彈簧的自然長度下使得彈簧從絕緣支撐體的突出量為零。

在第一柱塞的頂端被釋放并且彈簧從絕緣支撐體的突出量為零的狀態(tài)中，彈簧的推壓力可以等于或低于10gf。

在第一柱塞的頂端被釋放并且彈簧從絕緣支撐體的突出量為零的狀態(tài)中，彈簧的推壓力可以等于或低于在檢測時彈簧的推壓力的三分之一。

如上所述的構(gòu)成元素的任意組合和在方法和系統(tǒng)之間轉(zhuǎn)換的本發(fā)明的說明作為本發(fā)明的方面也是有效的。

附圖說明

圖1a是在第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例1中的插座1的截面視圖。圖1b是在插座1被安裝在檢測板8上并且第一柱塞10的頂端被釋放的狀態(tài)中插座1的截面視圖。圖1c是在插座1被安裝在檢測板8上并且待檢測裝置9上的焊料隆起9a被擠壓在第一柱塞10的頂端上的狀態(tài)中插座1的截面視圖。

圖2是與在對照示例中的關(guān)系一起地示出在接觸測頭70的行程和插座1中的彈簧30的推壓力(彈簧壓力)之間的關(guān)系的曲線圖。

圖3是示出在插座1中的彈簧30的初始彈簧壓力和在檢測板8上的電極8a中形成的壓力標(biāo)記的深度之間的關(guān)系的曲線圖。

圖4a是在第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例2中的插座2的截面視圖。圖4b是在第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例3中的插座3的截面視圖。圖4c是在第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例4中的插座4的截面視圖。

圖5a是在第一柱塞10的頂端和彈簧30的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例5中的插座5的截面視圖。圖5b是在第一柱塞10的頂端和彈簧30的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例6中的插座6的截面視圖。

圖6a是在第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中在對照示例中的插座7的截面視圖。圖6b是在插座7被安裝在檢測板8上并且第一柱塞10的頂端被釋放的狀態(tài)中插座7的截面視圖。圖6c是在插座7被安裝在檢測板8上并且待檢測裝置9上的焊料隆起9a被擠壓在第一柱塞10的頂端上的狀態(tài)中插座7的截面視圖。

具體實施方式

下文中，將參考繪圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。在分別的繪圖中示出的相同或者等價的構(gòu)成元件、部件等等由相同的附圖標(biāo)記表示，并且重復(fù)的說明將被適當(dāng)?shù)厥÷?。實施例并不限制本發(fā)明，而是僅僅示例本發(fā)明，并且在實施例中描述的所有的特征和特征的組合并不是必要地對于本發(fā)明而言是必須的。

實施例1

如在圖1a中所示，在這個實施例中的插座1包括接觸測頭70，和用于支撐接觸測頭70的絕緣支撐體50。雖然圖1a示出僅僅一個接觸測頭70，但是插座1可以是其中多個接觸測頭70受到公共的絕緣支撐體50支撐的多插針式的。絕緣支撐體50由例如樹脂形成，并且設(shè)置有用于包含接觸測頭70的通孔53。絕緣支撐體50包括相互組合并且利用螺釘?shù)染o固的第一絕緣支撐體51和第二絕緣支撐體52。

接觸測頭70具有第一柱塞10、第二柱塞20、彈簧30和導(dǎo)電管40。第一柱塞10和第二柱塞20這兩者均由金屬材料諸如銅或者銅合金形成。第一柱塞10適于與待檢測對象9諸如半導(dǎo)體集成電路連接，并且第二柱塞20適于與測量器械的檢測板8連接。彈簧30是由普通材料諸如鋼琴絲、不銹鋼絲形成的卷簧，并且將第一柱塞10和第二柱塞20在相互遠(yuǎn)離的方向上推壓。

按照從頂端側(cè)的次序，第一柱塞10具有頂端側(cè)柱狀部11、凸緣部12，和基端側(cè)柱狀部13。在檢測時(圖1c)，頂端側(cè)柱狀部11的頂端用作接觸部11a，并且與待檢測對象9上的焊料隆起9a形成接觸。凸緣部12具有比頂端側(cè)柱狀部11更大的直徑。凸緣部12與在絕緣支撐體50的第一絕緣支撐體51中的通孔53中形成的臺階部53a接合以由此防止第一柱塞10從絕緣支撐體50脫落，并且同時，限制第一柱塞10從絕緣支撐體50的突出量。而且，凸緣部12與導(dǎo)電管40的一端接觸?；藗?cè)柱狀部13具有比凸緣部12更小的直徑，并且位于導(dǎo)電管40內(nèi)側(cè)?；藗?cè)柱狀部13設(shè)置有頸部13a，頸部13a具有沿著周向方向形成圓的凹槽的形狀。頸部13a與導(dǎo)電管40的鎖定部41接合以由此將第一柱塞10固定到導(dǎo)電管40，并且使得導(dǎo)電管40能夠沿著它自身的縱向方向與第一柱塞10一體地移動(滑動)?；藗?cè)柱狀部13與彈簧30的一端接觸。

按照從頂端側(cè)的次序，第二柱塞20具有頂端側(cè)柱狀部21、錐形部22、中間柱狀部23，和基端側(cè)柱狀部24。在檢測時(圖1c)，頂端側(cè)柱狀部21的頂端與檢測板8上的電極8a形成接觸。錐形部22與在絕緣支撐體50的第二絕緣支撐體52中的通孔53中形成的臺階部53b接合以由此限制第二柱塞20從絕緣支撐體50的突出量。中間柱狀部23具有與錐形部22的基端相同的直徑，和比導(dǎo)電管40的鎖定部42的內(nèi)徑更小的直徑。基端側(cè)柱狀部24具有比中間柱狀部23更大的直徑，和比鎖定部42的內(nèi)徑更大的直徑，并且位于導(dǎo)電管40內(nèi)側(cè)。基端側(cè)柱狀部24與導(dǎo)電管40的鎖定部42接合以由此防止第二柱塞20從導(dǎo)電管40脫落。基端側(cè)柱狀部24與彈簧30的另一端接觸。

彈簧30的一端與第一柱塞10的基端側(cè)柱狀部13的端面接觸，并且彈簧30的另一端與第二柱塞20的基端側(cè)柱狀部24的端面接觸。當(dāng)在檢測時彈簧30被壓縮時，如在圖1c中所示，朝著待檢測對象9上的焊料隆起9a的接觸力被施加到第一柱塞10，并且朝著檢測板8上的電極8a的接觸力被施加到第二柱塞20。

導(dǎo)電管40在其中保持第一柱塞10的基端側(cè)柱狀部13和第二柱塞20的基端側(cè)柱狀部24。導(dǎo)電管40在第一柱塞10一側(cè)處的鎖定部41是導(dǎo)電管40的、通過卷邊工藝(crimpingwork)等從外側(cè)向內(nèi)折疊的部分。鎖定部41與第一柱塞10的基端側(cè)柱狀部13的頸部13a接合以由此固定第一柱塞10，并且使得導(dǎo)電管40能夠與第一柱塞10一體地沿著它自身的縱向方向移動(滑動)。導(dǎo)電管40的一端與第一柱塞10的凸緣部12接觸。在導(dǎo)電管40的另一端處的鎖定部42是通過拉延工藝等減小直徑的、導(dǎo)電管40在第二柱塞一側(cè)處的開口端，并且與第二柱塞20的基端側(cè)柱狀部24接合以由此防止第二柱塞20脫落。在這個實施例中，導(dǎo)電管40能夠沿著它自身的縱向方向在絕緣支撐體50中的通孔53內(nèi)側(cè)移動。

圖1a示出第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放并且導(dǎo)電管40在通孔53內(nèi)側(cè)在繪圖中的最上位置處的狀態(tài)。在這個實施例中，在如在圖1a中所示狀態(tài)中，第二柱塞20的頂端在位置方面與絕緣支撐體50在檢測板8一側(cè)處的端面一致。具體地，在第一柱塞10的頂端被釋放的狀態(tài)中(在無任何外力被施加在第一柱塞10的頂端上的狀態(tài)中)，能夠消除第二柱塞20從絕緣支撐體50的突出量，而不壓縮彈簧30。因此，當(dāng)插座1如在圖1b中所示被安裝在檢測板8上時，彈簧30的推壓力將不用作第二柱塞20的、用于擠壓檢測板8上的電極8a的力(負(fù)載)(預(yù)載為零)。

例如，如在以下描述地，接觸測頭70的產(chǎn)品具有分別的外部尺寸。

接觸測頭70的全長：4.85mm

頂端側(cè)柱狀部11的外徑：0.23mm

基端側(cè)柱狀部21的外徑：0.1mm

導(dǎo)電管40的外徑：0.31mm

導(dǎo)電管40的長度：3.05mm

在使用插座1執(zhí)行檢測的情形中，通過將接觸測頭70定位成與檢測板8上的電極8a對準(zhǔn)(圖1a到圖1b)，插座1被安裝在檢測板8上。然后，使得待檢測對象9與插座1相對從而接觸測頭70和待檢測對象9上的焊料隆起9a相互對準(zhǔn)，并且此后，待檢測對象9朝向插座1移動(圖1b到圖1c)。結(jié)果，第一柱塞10被焊料隆起9a擠壓，并且在壓縮彈簧30時移動到基端側(cè)，由此使得第一柱塞10的頂端處的接觸部11a與焊料隆起9a形成彈性接觸。在這種狀態(tài)中，執(zhí)行對待檢測對象9的檢測。如在圖1b中所示狀態(tài)被稱作“在板狀態(tài)”，并且如在圖1c中所示狀態(tài)被稱作“檢測狀態(tài)”。

圖2是與在對照示例中的關(guān)系一起地示出在接觸測頭70的行程(測頭行程)和插座1中的彈簧30的推壓力(彈簧壓力)之間的關(guān)系的曲線圖。對照示例的結(jié)構(gòu)在圖6a到6c中示出。在圖6a到6c中的分別的狀態(tài)對應(yīng)于在圖1a到1c中的那些。具體地，圖6a示出第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)，圖6b示出插座7位于并且被安裝在檢測板8上的狀態(tài)(“在板狀態(tài)”)，并且圖6c示出第一柱塞10與待檢測對象9形成彈性接觸以執(zhí)行檢測的狀態(tài)(“檢測狀態(tài)”)。對照示例中的插座7不同于這個實施例中的插座1之處在于，如與在這個實施例中的插座1相比較，第二柱塞20的中間柱狀部23更長，即使在導(dǎo)電管40在通孔53內(nèi)側(cè)的最上位置處的狀態(tài)中第二柱塞20的頂端仍然從絕緣支撐體50突出，并且此外，彈簧30的負(fù)載特性是不同的。在其它方面，插座7基本與插座1相同。當(dāng)對照示例中的插座7如在圖6b中所示被安裝在檢測板8上時，第二柱塞20被檢測板8上的電極8a擠壓以由此在壓縮彈簧30時移動到基端側(cè)。因此，在第一柱塞10的頂端被釋放的狀態(tài)中，彈簧30的推壓力用作使得第二柱塞20的頂端推動檢測板8上的電極8a的力(負(fù)載)(存在預(yù)載)。具體地，在對照示例中的插座7中，如在圖6a中所示，在第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中，如在圖2中所示，彈簧30的推壓力(初始彈簧壓力)是10gf。在插座7被安裝在檢測板8上的狀態(tài)中，如在圖6b中所示，即，在“在板狀態(tài)”中(從圖6a中的狀態(tài)，彈簧30被壓縮0.2mm)，彈簧30的彈簧力(推壓力)是20gf，并且在如在圖6c中所示的檢測時，即，在“檢測狀態(tài)”中(從如在圖6b中所示狀態(tài)，彈簧30進(jìn)一步被壓縮0.2mm)，彈簧30的彈簧壓力是30gf。在“在板狀態(tài)”中彈簧30的彈簧壓力20gf實際上用作用于推動電極的力(負(fù)載)，即所謂的預(yù)載。而且，當(dāng)待檢測對象9上的焊料隆起9a為了檢測而首先與第一柱塞10接觸時，在焊料隆起9a上施加的推壓力也是20gf。

在另一方面，在這個實施例中的插座1中，在第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中，如在圖1a中所示，彈簧30的推壓力(初始彈簧壓力)是0gf。在插座1被安裝在檢測板8上的狀態(tài)中，如在圖1b中所示，即，在“在板狀態(tài)”中，彈簧30的推壓力(彈簧壓力)與在如在圖1a中所示狀態(tài)中彈簧30的推壓力相同，并且在如在圖1c中所示檢測時，即，在“檢測狀態(tài)”中(從如在圖1b中所示狀態(tài)，彈簧30被進(jìn)一步以0.2mm壓縮)，彈簧30的彈簧壓力是30gf。在“在板狀態(tài)”中，彈簧30不被壓縮(在對照示例中的預(yù)載行程不存在)，并且因此，用于推動電極的力(負(fù)載)，即所謂的預(yù)載為零。彈簧30的初始彈簧壓力為0gf的情形是其中彈簧30具有自然長度的、如在圖1a和1b中所示狀態(tài)。如在以下描述地，在彈簧30的初始彈簧壓力從0gf增加到10gf的情形中，彈簧30被從在如在圖1a和1b中所示狀態(tài)中的自然長度壓縮。而且，當(dāng)待檢測對象9上的焊料隆起9a為了檢測而首先與第一柱塞10接觸時，在焊料隆起9a上施加的推壓力為0gf，這是彈簧30的初始彈簧壓力。以此方式，在對照示例中的彈簧30具有如此負(fù)載特性，即，在預(yù)載行程壓縮之前初始彈簧壓力為10gf，在“在板狀態(tài)”中，當(dāng)彈簧被以0.2mm壓縮時，即，預(yù)載行程，彈簧壓力變成20gf，并且此外，在“檢測狀態(tài)”中，當(dāng)彈簧被以0.2mm壓縮時，即，操作行程，彈簧壓力變成30gf。作為對照，在本實施例中的彈簧30具有如此負(fù)載特性，即，因為預(yù)載為零，所以在“在板狀態(tài)”中彈簧壓力為0gf，即，初始彈簧壓力，并且在“檢測狀態(tài)”中，當(dāng)彈簧被以0.2mm壓縮時，即，操作行程，彈簧壓力變成30gf。具體地，在本實施例中的彈簧30具有如此負(fù)載特性，即，如從圖2清楚地，如與在對照示例中的彈簧30相比較，負(fù)載相對于行程的增加數(shù)量更大。

圖3是示出在彈簧30的初始彈簧壓力和在插座1中的檢測板8上的電極8a中形成的壓力標(biāo)記的深度之間的關(guān)系的曲線圖。在這個實施例中，如上所述，在如在圖1b中所示狀態(tài)中，彈簧30的推壓力不用作在第二柱塞20的頂端和檢測板8上的電極8a之間的接觸力(預(yù)載)。因此，擔(dān)心當(dāng)在檢測過程期間第一柱塞10被待檢測對象9上的焊料隆起9a擠壓以由此壓縮彈簧30時，由彈簧30的推壓力引起的沖擊負(fù)載在第二柱塞20的頂端和檢測板8上的電極8a之間產(chǎn)生，并且在電極8a中發(fā)生損壞(壓力標(biāo)記)，這使得接觸性能不穩(wěn)定。鑒于上述顧慮，本發(fā)明人已經(jīng)分析了在改變彈簧30的初始彈簧壓力時在彈簧30的彈簧壓力和在電極8a中形成的壓力標(biāo)記的深度之間的關(guān)系，并且獲得如在圖3中所示結(jié)果。在圖3中的結(jié)果示出在插座1從圖1b中的狀態(tài)轉(zhuǎn)變到圖1c中的狀態(tài)并且此后恢復(fù)圖1b中的狀態(tài)的這種操作被重復(fù)百萬次的情形中在0gf到20gf的分別的初始彈簧壓力下壓力標(biāo)記的深度。根據(jù)圖3中的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)在初始彈簧壓力等于或小于10gf(等于或小于在檢測時的彈簧壓力的1/3)的情形中，壓力標(biāo)記的深度能夠被抑制為低于3μm，并且即使在百萬次的接觸之后仍然能夠?qū)毫?biāo)記的深度抑制在容許范圍內(nèi)。在圖2中，當(dāng)初始彈簧壓力被設(shè)定為10gf時的彈簧30的負(fù)載特性由單點鏈線示出，并且以與初始彈簧壓力被設(shè)定為0gf的情形相同的方式，如與對照示例中的特性相比較，負(fù)載相對于行程的增加數(shù)量更大。如從圖2清楚地，在初始彈簧壓力等于或小于10gf的情形中，負(fù)載特性處于陰影范圍內(nèi)，并且在彈簧負(fù)載特性中的任一個中，如與對照示例相比較，負(fù)載相對于行程的增加數(shù)量更大。在這個實施例中的插座1中，擔(dān)心因為預(yù)載為零所以電阻值變得不穩(wěn)定的這種可能性。然而，分析了在百萬次接觸的過程中電阻值的改變，并且發(fā)現(xiàn)，如在圖6a到6c中所示，如與其中施加預(yù)載的插座7相比較，電阻值無任何升高，并且在普通ic檢測中成為問題的穩(wěn)定性的劣化也不存在。

根據(jù)本實施例，能夠獲得以下效果。

(1)在第一柱塞10的頂端被釋放的狀態(tài)中，第二柱塞20從絕緣支撐體50的突出量被消除而不壓縮彈簧30。因此，當(dāng)插座1被安裝在檢測板8上時，如在圖1b中所示，彈簧30的推壓力不用作在第二柱塞20的頂端和檢測板8上的電極8a之間的接觸力(預(yù)載)，并且能夠防止由于接收到預(yù)載而導(dǎo)致的絕緣支撐體50的翹曲(第二絕緣支撐體52相對于第一絕緣支撐體51的翹曲)。結(jié)果，在增加插針的數(shù)目方面并且在實現(xiàn)尺寸降低方面，該插座是有利的，并且成本能夠降低。具體地，因為預(yù)載為零，所以即使插針的數(shù)目增加，在整個插座中的預(yù)載仍然不增加。而且，因為為了降低尺寸而使得絕緣支撐體50更薄，所以即使絕緣支撐體50很可能翹曲，仍然不存在任何問題。此外，不存在為了避免翹曲而使用具有高剛度的昂貴材料作為用于絕緣支撐體50的材料的必要性。

(2)擔(dān)心的由于消除預(yù)載導(dǎo)致的電阻值的升高和穩(wěn)定性的劣化是在普通ic檢測中充分容許的范圍內(nèi)的，并且由于消除預(yù)載而引起的負(fù)效應(yīng)受到限制。

(3)因為初始彈簧壓力等于或小于10gf，所以能夠抑制歸因于消除預(yù)載而在檢測板8上的電極8a中形成壓力標(biāo)記的這種問題的發(fā)生，并且同時，能夠最小化待檢測對象9上的焊料隆起9a的損壞。而且，在如在圖6所示對照示例中施加預(yù)載的情形中，壓力標(biāo)記的深度是2μm。然而，在這個實施例中，通過使得初始彈簧壓力等于或小于3gf，能夠使得在電極8a中形成的壓力標(biāo)記的深度小于2μm。

實施例2

圖4a是在第一柱塞10的頂端和第二柱塞20的頂端這兩者均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例2中的插座2的截面視圖。將主要地參考與實施例1的不同點具體地在以下描述實施例2。

在插座2中，第一柱塞10能夠相對于導(dǎo)電管40沿著它自身的縱向方向移動(滑動)。通過使得基端側(cè)柱狀部13與導(dǎo)電管40的鎖定部43接合，防止了第一柱塞10從導(dǎo)電管40脫落，并且同時，第一柱塞10從絕緣支撐體50的突出量受到限制。通過使得基端側(cè)柱狀部24與導(dǎo)電管40的鎖定部42接合，避免了第二柱塞20從導(dǎo)電管40脫落，并且同時，第二柱塞20從絕緣支撐體50的突出量受到限制。以與鎖定部42相同的方式，導(dǎo)電管40的鎖定部43是通過利用拉延工藝等減小直徑而形成的部分。鎖定部43被鎖定到通孔53的臺階部53a，并且鎖定部42被鎖定到臺階部53b，從而導(dǎo)電管40不可以在絕緣支撐體50中的通孔53內(nèi)側(cè)沿著它自身的縱向方向移動。

圖4a示出處于在使得彈簧30不被壓縮(彈簧30具有自然長度)的范圍內(nèi)，在導(dǎo)電管40內(nèi)側(cè)移動到在繪圖中的最上位置的狀態(tài)中的第二柱塞20。在這種狀態(tài)中，絕緣支撐體50的下端面(與檢測板相對的端面)和第二柱塞20的頂端在位置上相互一致。相應(yīng)地，以與在實施例1中相同的方式，在這個實施例中預(yù)載為零。在這個實施例中，彈簧30的初始彈簧壓力為零是為了使得預(yù)載為零的必要條件。在其它方面這個實施例基本與實施例1相同。本實施例也能夠獲得與實施例1相同的效果。

實施例3

圖4b是在第一柱塞10和第二柱塞20這兩者的頂端均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例3中的插座3的截面視圖。將主要地參考與實施例2的不同點具體地在以下描述實施例3。

在插座3中，接觸測頭70是無管式的，并且無對應(yīng)于實施例2中的導(dǎo)電管40的部件。通過使得基端側(cè)柱狀部13與絕緣支撐體50中的通孔53的臺階部53a接合，避免了第一柱塞10從絕緣支撐體50脫落，并且同時，第一柱塞10從絕緣支撐體50的突出量受到限制。通過使得基端側(cè)柱狀部24與通孔53中的臺階部53b接合，避免了第二柱塞20從絕緣支撐體50脫落，并且同時，第二柱塞20從絕緣支撐體50的突出量受到限制。

圖4b示出處于在使得彈簧30不被壓縮(彈簧30具有自然長度)的范圍內(nèi)在絕緣支撐體50中的通孔53內(nèi)側(cè)移動到在繪圖中的最上位置的狀態(tài)中的第二柱塞20。在這種狀態(tài)中，絕緣支撐體50的下端面(與檢測板相對的端面)和第二柱塞20的頂端在位置上相互一致。相應(yīng)地，以與在實施例2中相同的方式，在這個實施例中預(yù)載為零。本實施例在其它方面基本與實施例2相同。本實施例也能夠獲得與實施例2相同的效果。

實施例4

圖4c是在第一柱塞10和第二柱塞20這兩者的頂端均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例4中的插座4的截面視圖。將主要地參考與實施例3的不同點具體地在以下描述實施例4。

在插座4中，第一柱塞10具有進(jìn)一步從基端側(cè)柱狀部13延伸到基端側(cè)的棒狀部14。棒狀部14的基端部被形成為防脫落大直徑部15。第二柱塞20的基端側(cè)柱狀部24具有帶底柱體的形狀，該帶底柱體具有向基端側(cè)打開的孔25?？?5具有利用擠壓工藝等直徑部分地減小的鎖定部26。第一柱塞10的棒狀部14穿過彈簧30并且延伸到第二柱塞20的基端側(cè)柱狀部24的孔25內(nèi)側(cè)。因為在棒狀部14的防脫落大直徑部15和孔25的鎖定部26之間的接合和彈簧30的功能，第一柱塞10、第二柱塞20和彈簧30被允許沿著圖4c中的豎直方向一起(一體地)移動。

圖4c示出處于移動到在通孔內(nèi)側(cè)在繪圖中的最上位置的狀態(tài)中的第二柱塞20。在這種狀態(tài)中，絕緣支撐體50的下端面(與檢測板相對的端面)和第二柱塞20的頂端在位置上相互一致。相應(yīng)地，以與在實施例3中相同的方式，在這個實施例中預(yù)載為零。在這個實施例中，彈簧30的初始彈簧壓力為零不是用于使得預(yù)載為零的必要條件。以與在實施例1中相同的方式，彈簧30的初始彈簧壓力被設(shè)定為等于或小于10gf。在其它方面，這個實施例基本與實施例3相同。本實施例也能夠?qū)崿F(xiàn)與實施例3相同的效果。

實施例5

圖5a是在第一柱塞10和彈簧30這兩者的頂端均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例5中的插座5的截面視圖。將主要地參考與實施例3的不同點具體地在以下描述實施例5。

在插座5中，接觸測頭70無例如對應(yīng)于實施例3中的第二柱塞20的部件，并且具有使得彈簧30的端部適于與檢測板上的電極形成接觸的這種結(jié)構(gòu)。按照從檢測板一側(cè)(下端側(cè))的次序，彈簧30具有密盤繞小直徑部31、密盤繞大直徑部32，和粗盤繞部33。密盤繞小直徑部31和密盤繞大直徑部32被設(shè)置以減小整個彈簧30的電阻值。粗盤繞部33被設(shè)置以確保彈簧30的可壓縮長度(第一柱塞10的行程)。通過使得密盤繞部32與通孔53中的臺階部53b接合，避免了彈簧30從絕緣支撐體50脫落。

圖5a示出處于移動到在絕緣支撐體50的通孔53內(nèi)側(cè)在繪圖中的最上位置而不被壓縮(彈簧30具有自然長度)的狀態(tài)中的彈簧30。在這種狀態(tài)中，絕緣支撐體50的下端面(與檢測板相對的端面)和彈簧30在檢測板側(cè)處的端部在位置上相互一致。相應(yīng)地，以與在實施例3中相同的方式，在這個實施例中預(yù)載為零。在其它方面，這個實施例基本與實施例3相同。本實施例也能夠獲得與實施例3相同的效果。

實施例6

圖5b是在第一柱塞10和第二柱塞20這兩者的頂端均被釋放的狀態(tài)中在根據(jù)本發(fā)明的實施例6中的插座6的截面視圖。將主要地參考與實施例5的不同點具體地在以下描述實施例6。

在插座6中，彈簧30無例如對應(yīng)于實施例5中的密盤繞小直徑部31的部分。而且，在絕緣支撐體50中的通孔53中不設(shè)置實施例5中的臺階部53b。因此，彈簧30不相對于絕緣支撐體50受到保持。然而，當(dāng)使用插座6時，因為檢測板鄰靠絕緣支撐體50的下端面(與檢測板相對的端面)，所以不存在彈簧30可以脫落的問題。這個實施例在其它方面基本與實施例5相同。本實施例也能夠獲得與實施例5相同的效果。

雖然已經(jīng)作為示例參考實施例描述了本發(fā)明，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員明顯的是，在權(quán)利要求中描述的范圍內(nèi)，在實施例中的構(gòu)成元件和處理過程能夠被各種地改進(jìn)。例如，能夠替代實施例1中的彈簧30和第二柱塞20，采用實施例5中的彈簧30。在此情形中，實施例5中的粗盤繞部33用作實施例1中的彈簧30，并且實施例5中的密盤繞小直徑部31和密盤繞大直徑部32用作實施例1中的第二柱塞20的基端側(cè)柱狀部24和從基端側(cè)柱狀部24位于頂端側(cè)處的中間柱狀部23等。

根據(jù)在上述實施例中描述的本發(fā)明，能夠提供一種在增加插針的數(shù)目方面和在實現(xiàn)尺寸降低方面有利的并且能夠?qū)崿F(xiàn)成本降低的插座。