技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種激光無損檢測(cè)薄膜特性的優(yōu)化參數(shù)確定方法，包括：利用有限元軟件ANSYS，建立薄膜襯底結(jié)構(gòu)的雙層有限元模型；通過設(shè)置單脈沖分段函數(shù)在所建模型上實(shí)現(xiàn)對(duì)短脈沖激光激發(fā)超聲表面波的模擬；固定激光能量值、脈沖寬度值不變，改變激光聚焦線元寬度的取值，獲得表面波信號(hào)的最大位移幅值及表面波信號(hào)的最大色散頻率隨線元寬度變化而變化的規(guī)律；綜合分析表面波信號(hào)的幅值和頻域隨線元寬度變化而變化的規(guī)律，確定優(yōu)化的線元寬度值；固定聚焦的線元寬度為優(yōu)化的線元寬度值，改變脈沖激光的脈沖寬度得到表面波最大色散頻率隨著脈沖寬度的變化規(guī)律，利用該規(guī)律確定出最優(yōu)的激光脈沖寬度值。

技術(shù)研發(fā)人員：肖夏;戚海洋;劉明達(dá)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天津大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710173647
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.22
技術(shù)公布日：2017.06.13