技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種可調(diào)諧MEMOS濾光片，包括：懸臂梁、可動(dòng)鏡面Si支撐結(jié)構(gòu)、兩層反射膜、F?P腔和襯底；其中所述兩層反射膜分別位于襯底上部和可動(dòng)鏡面Si支撐結(jié)構(gòu)下部，用于形成F?P腔，使得光在兩層反射膜之間產(chǎn)生多次反射后選擇出波長滿足干涉極大條件的光譜，從而實(shí)現(xiàn)通帶濾光的作用；所述懸臂梁位于襯底上方和所述可動(dòng)鏡面Si支撐結(jié)構(gòu)側(cè)邊，在可動(dòng)鏡面Si支撐結(jié)構(gòu)與襯底之間的靜電力作用下產(chǎn)生彎曲變形，并與彈性恢復(fù)力達(dá)到平衡，導(dǎo)致可動(dòng)鏡面Si支撐結(jié)構(gòu)可隨著懸臂梁的彎曲變形而平行向下移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)所述F?P腔的間距，以便調(diào)節(jié)光通帶中心波長。此外還公開可調(diào)諧MEMOS濾光片的調(diào)諧控制器和封裝結(jié)構(gòu)。

技術(shù)研發(fā)人員：張東亮;胡小燕;劉大川;林霄;王偉平;丁子瑜;劉杰;王志強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國電子科技集團(tuán)公司信息科學(xué)研究院
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.01
技術(shù)公布日：2017.07.07