技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開的一種基于液晶CGH的同步移相干涉測量系統(tǒng)和方法,屬于光學(xué)測量領(lǐng)域?;谝壕GH的同步移相干涉測量系統(tǒng)包括正交偏振激光器、擴束系統(tǒng)、分光鏡、參考鏡、液晶CGH、待測非球面、偏振分光棱鏡、面陣探測器。液晶CGH是由取向正交的液晶分子不同區(qū)域間隔排列產(chǎn)生的位相光柵,有兩方面作用,其一是補償被測面像差,完成零補償干涉測量;其二是配合正交偏振激光完成π相位移相,結(jié)合偏振分光棱鏡完成分光,實現(xiàn)空間同步移相干涉測量。本發(fā)明還公開用于所述的測量系統(tǒng)的一種基于液晶CGH的同步移相干涉測量方法。本發(fā)明利用液晶CGH同時完成補償被測面像差和偏振移相的功能,進(jìn)而實現(xiàn)精簡空間同步移相干涉光路結(jié)構(gòu),具有系統(tǒng)簡潔、抗干擾能力強、測量精度高的優(yōu)點。
技術(shù)研發(fā)人員:胡搖;朱秋東;郝群;王劭溥
受保護(hù)的技術(shù)使用者:北京理工大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.12
技術(shù)公布日:2017.07.14