技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種雙柵極單電子晶體管生物傳感器，結(jié)構(gòu)如下，包括SOI絕緣襯底（1）﹑襯底上為硅量子點(diǎn)層（2）﹑介質(zhì)層（3）﹑源極（4）﹑漏極（5）﹑側(cè)柵極（6）﹑頂柵（7），頂柵包括功能薄膜的樣品容器（8）；絕緣襯底（1）上的頂層硅是經(jīng)過處理減薄到80±20nm左右制備源極﹑漏極﹑側(cè)柵極﹑頂柵；所述的硅量子點(diǎn)溝道層是刻蝕方式在襯底上；硅量子點(diǎn)層上的所述的源極﹑漏極﹑側(cè)柵極通過微加工方法在頂層硅上刻蝕出丁字型且三個(gè)極均留有間隙；單電子晶體管上生長出一層Al2O3的高K介質(zhì)層，所述的頂柵(7)是通過模板在高介質(zhì)層上面制作一個(gè)頂柵。

技術(shù)研發(fā)人員：沈昊宇;施毅;李欣幸;秦華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.13
技術(shù)公布日：2017.11.07