本發(fā)明涉及用于執(zhí)行物體的檢查的檢查裝置、檢查系統(tǒng)以及物品制造方法。

背景技術(shù)：

對(duì)于針對(duì)例如外觀(appearance)而對(duì)物體(例如工件(work))的檢查，已經(jīng)越來越多地使用基于通過對(duì)用光照明的物體進(jìn)行成像而獲得的圖像對(duì)物體進(jìn)行檢查的檢查裝置來代替視覺檢查裝置。這些檢查裝置包括用于針對(duì)顏色缺陷以及物體表面的高度不均勻性(凹和凸)而對(duì)物體進(jìn)行檢查的檢查裝置(日本專利no.5470708)。在日本專利no.5470708中公開的檢查裝置基于從物體規(guī)則反射的光(鏡面反射光)檢測(cè)物體的高度不均勻性并且基于從物體漫反射的光檢測(cè)與顏色不規(guī)則性相關(guān)聯(lián)的缺陷。

雖然在日本專利no.5470708中公開的檢查裝置基于從物體漫反射的光檢測(cè)顏色不規(guī)則性，但是沒有充分考慮照明光的波長(zhǎng)以用于關(guān)于物體的顏色而檢查該物體。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供例如在關(guān)于物體的顏色而檢查物體的方面有利的檢查裝置。

本發(fā)明的一方面提供用于執(zhí)行物體的檢查的檢查裝置。該裝置包括：被配置為對(duì)物體進(jìn)行照明的照明設(shè)備、被配置為對(duì)由照明設(shè)備照明的物體進(jìn)行成像的成像設(shè)備、以及被配置為基于由成像設(shè)備所獲得的圖像執(zhí)行用于檢查的處理的處理器。該處理器被配置為基于在照明設(shè)備用具有第一波長(zhǎng)的光的暗場(chǎng)照明下由成像設(shè)備獲得的第一圖像和在照明設(shè)備用具有不同于第一波長(zhǎng)的第二波長(zhǎng)的光的暗場(chǎng)照明下由成像設(shè)備獲得的第二圖像執(zhí)行處理。

從以下參考附圖對(duì)示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明的另外的特征將變得清楚。

附圖說明

圖1是示出根據(jù)第一實(shí)施例的檢查裝置的示例性配置的圖。

圖2是示出照明設(shè)備的示例性配置的圖。

圖3是示出照明設(shè)備的示例性配置的圖。

圖4是示出顏色缺陷的閾值的圖。

圖5是示出根據(jù)第二實(shí)施例的檢查裝置的照明設(shè)備的示例性配置的圖。

圖6是示出根據(jù)第三實(shí)施例的檢查裝置的示例性配置的圖。

具體實(shí)施方式

將參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例。在示出實(shí)施例的圖中，原則上(除非另有注釋)，相同的部件由相同的附圖標(biāo)記來指定，并且避免冗余描述。

第一實(shí)施例

圖1是示出根據(jù)第一實(shí)施例的檢查裝置的示例性配置的圖。在圖1中，檢查裝置1檢查目標(biāo)(物體)(諸如工件10)的外觀。工件10的示例包括用于工業(yè)產(chǎn)品中的金屬構(gòu)件和樹脂構(gòu)件。工件10的表面可能具有缺陷(諸如損傷(flaw)、不規(guī)則性(例如顏色不規(guī)則性)或高度不均勻性)。檢查裝置1基于通過對(duì)工件10進(jìn)行成像而獲得的圖像來檢測(cè)缺陷并且將該工件分類(歸類)為例如無缺陷的或者有缺陷的。

檢查裝置1包括照明設(shè)備11、包括照相機(jī)12和光學(xué)系統(tǒng)14的成像設(shè)備、控制器18、處理器15、顯示單元16和輸入單元17。檢查裝置1可以進(jìn)一步包括用于保持工件10的保持器13。工件10被運(yùn)送單元(未示出)(諸如圖6中的傳送器1012)攜載到相對(duì)于檢查裝置1的預(yù)定的位置。在檢查之后，工件10由運(yùn)送單元攜載遠(yuǎn)離預(yù)定的位置。

照明設(shè)備11對(duì)工件10進(jìn)行照明。成像設(shè)備(包括照相機(jī)12和光學(xué)系統(tǒng)14)對(duì)由照明設(shè)備11照明的工件10進(jìn)行成像以獲得圖像。由成像設(shè)備獲得的工件10的圖像被傳遞到處理器15。處理器15可以包括信息處理裝置，該信息處理裝置包括中央處理單元(cpu)15a、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(ram)15b和硬盤驅(qū)動(dòng)器(hdd)15c。處理器15可以獲得關(guān)于所獲得(傳遞)的目標(biāo)圖像的評(píng)估值并且執(zhí)行基于該評(píng)估值和閾值(允許的范圍)將工件分類為無缺陷或有缺陷的處理(分類處理)。例如，cpu15a執(zhí)行用于分類處理的程序并且ram15b和hdd15c存儲(chǔ)程序和數(shù)據(jù)。顯示單元16包括tv監(jiān)視器并且顯示由處理器15執(zhí)行的處理的結(jié)果。輸入單元17包括鍵盤17a和鼠標(biāo)17b并且響應(yīng)于例如用戶操作允許數(shù)據(jù)或指令輸入到控制器18或處理器15?？刂破?8和處理器15可以被配置為公共信息處理單元。

現(xiàn)在將詳細(xì)描述照明設(shè)備11。照明設(shè)備11包括多個(gè)光發(fā)射器(光源)。使用這種配置，照明設(shè)備11可以從各個(gè)方向(每個(gè)方向被定義為仰角和方位角的組合)選擇性地對(duì)工件10進(jìn)行照明。將參考圖2和圖3描述照明設(shè)備11中的光發(fā)射器的定位。圖2和圖3各自示出照明設(shè)備11的示例性配置。圖2示出在圖1中的y方向上觀看照明設(shè)備11時(shí)光發(fā)射器的定位。圖3示出在圖1中的z方向上觀看照明設(shè)備11時(shí)光發(fā)射器的定位。圖2示出了關(guān)于照明光的方向的仰角的光發(fā)射器的定位。在本實(shí)施例中，光發(fā)射器就仰角而言被分成三組。具體地，光發(fā)射器被分成在相對(duì)低的仰角(低角度)處的組l、在相對(duì)高的仰角(高角度)處的組h以及在相對(duì)高和低仰角之間的中間仰角(中間角度)處的組m。圖3示出了就照明光的方向的方位角而言的光發(fā)射器的定位。在本實(shí)施例中，組l的光發(fā)射器l1至l8被布置在八個(gè)方位角處。此外，組m的光發(fā)射器m1至m8被類似地布置在八個(gè)方位角處。另外，組h的光發(fā)射器h1至h4被布置在四個(gè)方位角處。如圖2和圖3中所示，照明設(shè)備11的光發(fā)射器是以穹頂(dome)的形式布置的。光發(fā)射器對(duì)工件10進(jìn)行照明，該工件10如圖2中所示定位在穹頂?shù)南旅妫沟迷摴ぜ?0如圖3中所示被定位在穹頂?shù)闹行奶?。光發(fā)射器的照明的仰角和方位角的種類、由光發(fā)射器發(fā)射的光的顏色(波長(zhǎng))的種類以及照明和成像模式的種類不限于以上和后面描述的那些，并且可以適當(dāng)?shù)馗淖儭?/p>

如圖3中所示，多個(gè)光發(fā)射器包括發(fā)射具有與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光的光發(fā)射器和發(fā)射具有與紅色對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光的光發(fā)射器。在圖3中，由b指示的光發(fā)射器發(fā)射藍(lán)色光，并且由r指示的光發(fā)射器發(fā)射紅色光。在這種情況下，每個(gè)光發(fā)射器可以是例如光發(fā)射設(shè)備(諸如發(fā)光二極管(led))。具有與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光例如是具有近似450nm的中心波長(zhǎng)的光。具有與紅色對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光例如是具有近似650nm的中心波長(zhǎng)的光。

光發(fā)射器l1至l8被布置使得在相對(duì)的方位角處的光發(fā)射器發(fā)射相同顏色的光。這種布置意圖在使光發(fā)射器l1、l3、l5和l7的全部發(fā)射光的照明條件和使光發(fā)射器l2、l4、l6和l8的全部發(fā)射光的照明條件兩者下盡可能均一地提供在使用相同顏色的光照明的工件上的照明分布。這種均一性在將在后面描述的檢測(cè)整個(gè)工件的顏色缺陷方面是有效的。此外，光發(fā)射器m1至m8與光發(fā)射器l1至l8在方位角處的藍(lán)顏色和紅顏色的布置方面不同。這種布置意圖在使全部仰角處的全部藍(lán)色發(fā)光器發(fā)射光時(shí)從不同的方位角對(duì)工件進(jìn)行照明，因而減小了由例如特定的損傷引起的噪聲。結(jié)果，可以如將在后面描述的那樣以高信號(hào)噪聲比(s/n)來檢測(cè)工件的諸如顏色不規(guī)則性之類的缺陷，這。

對(duì)于工件10的檢查，控制器18可以實(shí)現(xiàn)用于照明和成像的以下三種模式(模式1至模式3)。

模式1：光發(fā)射器順序地對(duì)物體進(jìn)行照明，并且物體與照明的定時(shí)同步地被成像。

模式2：使用發(fā)射藍(lán)色光的光發(fā)射器l1、l3、l5和l7的全部在暗場(chǎng)照明下執(zhí)行成像，并使用發(fā)射紅色光的光發(fā)射器l2、l4、l6和l8的全部在暗場(chǎng)照明下執(zhí)行成像。照明設(shè)備包括在特定仰角(在這種情況下，用于暗場(chǎng)照明的低角度)處從多個(gè)方位角對(duì)物體進(jìn)行照明的多個(gè)光發(fā)射器(光源)。發(fā)射藍(lán)色光(具有第一波長(zhǎng))的光源和發(fā)射紅色光(具有第二波長(zhǎng))的光源被交替地布置。

模式3：使用發(fā)射藍(lán)色光的光發(fā)射器l1、l3、l5、l7、m2、m4、m6、m8、h1和h3的全部在照明下執(zhí)行成像。

現(xiàn)在將描述基于通過在這些模式下的照明下成像而獲得的圖像的檢查(缺陷檢測(cè))的處理。該處理由處理器15執(zhí)行。在模式1下獲得的圖像用于檢測(cè)主要由表面的異常狀況(例如工件10的表面的損傷、異物或高度不均勻性)引起的缺陷。在這種情況下，可以使用圖像合成來獲得相對(duì)高的s/n比?？梢酝ㄟ^獲得例如對(duì)于每個(gè)像素的代表值(例如最大值和最小值之間的差)來執(zhí)行圖像合成。在模式2下獲得的圖像用于檢測(cè)工件的(整體)顏色外觀的缺陷(有缺陷的或異常)。在這種情況下，使用藍(lán)色(第一波長(zhǎng))光獲得的第一圖像的像素值的代表值(例如平均值)被獲得。類似地，使用紅色(第二波長(zhǎng))光獲得的第二圖像的像素值的代表值(例如平均值)被獲得。獲得代表值的比。如果該比超過預(yù)定的閾值(允許的范圍)，則工件可以被確定為具有顏色缺陷。

圖4是示出顏色缺陷的閾值的圖。圖4示出與139個(gè)工件相關(guān)聯(lián)的上述比(在這種情況下，平均值或平均像素值的比)。在圖4中，水平軸表示被分配給工件的樣品號(hào)(samplenumber)，豎直軸表示與該工件相關(guān)聯(lián)的比([使用藍(lán)色(第一波長(zhǎng))光獲得的第一圖像的像素值的平均值]除以[使用紅色(第二波長(zhǎng))光獲得的第二圖像的像素值的平均值])。參考圖4，與被分配了樣品號(hào)27的工件相關(guān)聯(lián)的比大大地大于與其他工件相關(guān)聯(lián)的比并且超過預(yù)定的閾值。因而，被分配了樣品號(hào)27的工件被確定為具有顏色缺陷。閾值(允許的范圍)可以預(yù)先學(xué)習(xí)并且存儲(chǔ)在處理器15(例如hdd15c)中。如果使用單個(gè)顏色照明來檢測(cè)工件的顏色缺陷，則由于工件的顏色的差異將出現(xiàn)上述代表值(例如平均值)的改變。由于工件的表面的表面粗糙度的差異也將出現(xiàn)這樣的代表值的改變。僅使用單個(gè)顏色照明，顏色的差異(缺陷)可能不能與表面粗糙度的差異(缺陷)區(qū)分。由于該原因，通過使用多種顏色的照明條件來獲得上述比，使得可以檢測(cè)顏色缺陷。通過使用暗場(chǎng)照明可以以高靈敏度來檢測(cè)顏色的差異(缺陷)，因?yàn)楣ぜ膬?nèi)部一般或通常包含比工件的表面更多的色素(coloringmatter)。在亮場(chǎng)照明(鏡面反射光)下，色素影響相對(duì)少量的反射光成分。相反，在暗場(chǎng)照明(漫反射光)下，色素影響相對(duì)大量的反射光成分。使用在模式3下獲得的圖像來檢測(cè)工件的顏色不規(guī)則性作為缺陷。在本實(shí)施例中，基于使用藍(lán)色光發(fā)射器l1、l3、l5、l7、m2、m4、m6、m8、h1和h3的全部在照明下獲得的圖像來檢測(cè)顏色不規(guī)則性作為缺陷。

在本實(shí)施例中，在模式2下使用藍(lán)色光和紅色光來對(duì)工件10進(jìn)行照明，并且在模式3下使用藍(lán)色光對(duì)工件10進(jìn)行照明?？梢砸蕾囉诠ぜ?0的顏色來確定照明光的顏色，使得可以以高靈敏度檢測(cè)顏色缺陷?，F(xiàn)在將描述選擇照明光的顏色(波長(zhǎng))的方式?？梢允褂闷湟愿哽`敏度檢測(cè)工件的顏色的差異(缺陷)的照明光的顏色是工件的顏色和工件的顏色的互補(bǔ)色(complementarycolor)。例如，假設(shè)用具有與工件的顏色相同的顏色的光來執(zhí)行照明。當(dāng)工件在顏色上淺時(shí)，獲得的圖像暗，即像素值低。當(dāng)工件在顏色上深時(shí)，獲得的圖像亮，即像素值高。工件的顏色的強(qiáng)度和像素值之間的關(guān)系與在用具有工件的顏色的互補(bǔ)色的光執(zhí)行照明時(shí)獲得的關(guān)系是相反的。對(duì)于除工件的顏色及其互補(bǔ)色之外的顏色，像素值的改變相對(duì)于工件的顏色的強(qiáng)度的改變的比值是低的。使用上述兩種照明光顏色獲得兩個(gè)圖像提供了圖像之間的像素值的大的差異。這在檢測(cè)工件的顏色的差異(缺陷)方面是有效的。具體地，第一和第二波長(zhǎng)中的一個(gè)可以與物體的顏色及其互補(bǔ)色中的一個(gè)對(duì)應(yīng)。第一和第二波長(zhǎng)中的另一個(gè)可以與物體的顏色及其互補(bǔ)色中的另一個(gè)對(duì)應(yīng)。用具有或者工件的顏色或者其互補(bǔ)色的照明光獲得圖像在檢測(cè)工件的顏色不規(guī)則性(缺陷)方面是有效的。

例如，如果工件是黃色的，則可以選擇工件的顏色(黃色)和作為黃色的互補(bǔ)色的藍(lán)色?？紤]到三種顏色(紅色、藍(lán)色和綠色)的led一般容易獲得，藍(lán)色可以用作第一顏色并且具有接近黃色的波長(zhǎng)且與藍(lán)色的波長(zhǎng)顯著地不同的波長(zhǎng)的紅色可以用作第二顏色。適合于使用藍(lán)色光和紅色光照明的工件顏色是基于黃色、藍(lán)色或綠色的顏色。此外，適合于使用綠色光和紅色光照明的工件顏色是基于紅色或綠色的顏色，并且適合于使用綠色光和藍(lán)色光照明的工件顏色是基于紅色或黃色的顏色。具有與綠色對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光具有近似550nm的中心波長(zhǎng)。

在本實(shí)施例中，照相機(jī)12可以是通常具有相對(duì)高的分辨率的單色(monochrome)照相機(jī)。如果分辨率是可接受的話，通常具有相對(duì)低的分辨率的彩色照相機(jī)可以被使用。在這種情況下，在模式2下，照明設(shè)備可以用具有第一波長(zhǎng)的光和具有第二波長(zhǎng)的光(其可以是白色光)對(duì)工件進(jìn)行照明。成像設(shè)備可以獲得與第一波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的第一圖像和與第二波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的第二圖像。在模式3下，照明設(shè)備可以用具有第一波長(zhǎng)的光和具有不同于第一波長(zhǎng)的第二波長(zhǎng)的光(其可以是白色光)對(duì)工件進(jìn)行照明。成像設(shè)備可以獲取與第一波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的圖像。成像設(shè)備可以包括顏色分離光學(xué)系統(tǒng)和多個(gè)圖像拾取元件或者可以包括包含濾色器(colorfilter)的單個(gè)圖像拾取元件。

在模式2下，對(duì)于每種顏色使用兩對(duì)相對(duì)的光發(fā)射器(例如光發(fā)射器l1和l5以及光發(fā)射器l3和l7)。如果工件上的照明分布被視為是充分均一的，則可以使用一對(duì)相對(duì)的光發(fā)射器(例如光發(fā)射器l1和l5)。另外，如果工件上的照明分布被視為是足夠均一的，則可以使用一個(gè)光發(fā)射器(例如光發(fā)射器l1)。

在模式3下，全部仰角組的發(fā)射藍(lán)色光的光發(fā)射器用于獲得相對(duì)高的s/n比。在一些實(shí)施例中，只有在低角度處的組l的發(fā)射藍(lán)色光的光發(fā)射器可以被使用。

在模式3下，使用發(fā)射藍(lán)色光的光發(fā)射器執(zhí)行照明。在一些實(shí)施例中，如上所述，可以基于工件的顏色執(zhí)行使用發(fā)射紅色光的光發(fā)射器的照明。

在對(duì)模式2下獲得的圖像的處理中，獲得像素值的代表值的比。在一些實(shí)施例中，任何其他評(píng)估值(諸如代表值之間的差)可以被獲得并且用于檢測(cè)顏色缺陷。

如上所述，本實(shí)施例提供在關(guān)于物體的顏色而檢查物體方面有利的檢查裝置。

第二實(shí)施例

根據(jù)第二實(shí)施例的檢查裝置1與根據(jù)第一實(shí)施例的檢查裝置的不同之處在于第二實(shí)施例中的照明設(shè)備包括選擇性地發(fā)射多種顏色(波長(zhǎng))的光的光發(fā)射器。圖5示出了被包括在根據(jù)第二實(shí)施例的檢查裝置1中的照明設(shè)備的示例性配置。雖然第一實(shí)施例中的每個(gè)光發(fā)射器都是發(fā)射單個(gè)顏色的光的led，但是第二實(shí)施例中的每個(gè)光發(fā)射器是包括發(fā)射多種顏色(例如紅色、藍(lán)色和綠色三種顏色)的光的多個(gè)光發(fā)射元件的led單元。led單元可以控制每個(gè)光發(fā)射元件發(fā)射光。具體地，led單元可以發(fā)射紅顏色、藍(lán)顏色和綠顏色中的任何一個(gè)的單個(gè)顏色光并且還可以使用光發(fā)射元件的全部來發(fā)射白色光。在下文中，led單元將被稱為多色led單元?？刂朴啥嗌玪ed單元發(fā)射的光的顏色可以檢測(cè)任何顏色的工件的顏色缺陷。作為示例，將描述與第一實(shí)施例中相同的顏色的光的使用。對(duì)于工件10的檢查，控制器18可以實(shí)現(xiàn)用于照明和成像的以下三種模式(模式1至3)。

模式1：光發(fā)射器順序地對(duì)物體進(jìn)行照明，并且與照明的定時(shí)同步地執(zhí)行成像。在本實(shí)施例中，使每個(gè)光發(fā)射器(多色led單元)發(fā)射提供相對(duì)高的照明的白色光，因?yàn)檫@種發(fā)射在減小曝光時(shí)間方面是有效的。

模式2：使用發(fā)射藍(lán)色光的光發(fā)射器l1、l3、l5和l7在暗場(chǎng)照明下執(zhí)行成像，并且使用發(fā)射紅色光的光發(fā)射器l2、l4、l6和l8在暗場(chǎng)照明下執(zhí)行成像。在本實(shí)施例中，使光發(fā)射器(多色led單元)l1、l3、l5和l7發(fā)射藍(lán)色光，并且使光發(fā)射器(多色led單元)l2、l4、l6和l8發(fā)射紅色光。

模式3：使用發(fā)射藍(lán)色光的光發(fā)射器l1、l3、l5、l7、m2、m4、m6、m8、h1和h3在照明下執(zhí)行成像。在本實(shí)施例中，使光發(fā)射器(多色led單元)l1、l3、l5、l7、m2、m4、m6、m8、h1和h3發(fā)射藍(lán)色光?？梢允构獍l(fā)射器(多色led單元)的全部發(fā)射藍(lán)色光。

因?yàn)楸緦?shí)施例中的光發(fā)射器是能夠改變要被發(fā)射的光的波長(zhǎng)的多色led單元，所以可以基于工件的顏色或者識(shí)別工件的識(shí)別信息來改變?cè)谀Ｊ?和模式3下使用的光的波長(zhǎng)。處理器15可以包括存儲(chǔ)指示識(shí)別信息和波長(zhǎng)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的信息的存儲(chǔ)單元(例如hdd15c)。基于通過在這些模式下的照明下成像而獲得的圖像進(jìn)行檢查(缺陷檢測(cè))的處理可以與第一實(shí)施例中的處理相同。雖然在模式3下使用全部仰角組的發(fā)射藍(lán)色光的光發(fā)射器來獲得相對(duì)高的s/n比，但是可以僅使光發(fā)射器l1、l3、l5和l7發(fā)射藍(lán)色光。在這種情況下，可以使用在模式2下通過使用藍(lán)色光在照明下成像而獲得的圖像。雖然每個(gè)光發(fā)射器是多色led單元，但是可以使用任何其他布置。多色led單元與發(fā)射單個(gè)顏色的光的led相比是昂貴的。在一些實(shí)施例中，多色led單元的布置可以基于要被檢查的工件的顏色的范圍來確定，使得只有圖5中的光發(fā)射器l1、l3、l5和l7或只有光發(fā)射器l1至l8被配置為多色led單元。在一些實(shí)施例中，在模式3下可以進(jìn)一步使光發(fā)射器(多色led單元)l1、l3、l5、l7、m2、m4、m6、m8、h1和h3或全部光發(fā)射器發(fā)射紅色光。在這種情況下，可以基于由兩個(gè)所獲得的圖像的兩個(gè)對(duì)應(yīng)像素值的比作為其像素所構(gòu)成的圖像來檢測(cè)缺陷(諸如顏色不規(guī)則性)。該比可以被作為例如[使用藍(lán)色(第一波長(zhǎng))光獲得的第一圖像的像素值]除以[使用紅色(第二波長(zhǎng))光獲得的第二圖像的像素值]獲得。本實(shí)施例提供了在關(guān)于顏色(例如更多顏色或全部顏色)而檢查物體方面有利的檢查裝置。

第三實(shí)施例

圖6示出了檢查裝置1000的示例性配置。檢查裝置1000要檢查充當(dāng)物體的工件1011的外觀。檢查目標(biāo)不限于物體的外觀?？梢葬槍?duì)人類不可見的或人類感知困難的特性(諸如表面粗糙度)而對(duì)物體進(jìn)行檢查。檢查裝置1000可以檢查由充當(dāng)運(yùn)送單元或運(yùn)送設(shè)備的傳送器1012攜載的工件1011。工件1011的示例包括用于工業(yè)產(chǎn)品中的金屬構(gòu)件和樹脂構(gòu)件。工件1011的表面可能具有缺陷，諸如線狀損傷、不規(guī)則性(例如依賴于表面的表面粗糙度、成分或膜厚度的光反射特性的二維非均一性、非線狀或各向同性損傷、或凹痕)或光吸收異物。檢查裝置1000識(shí)別(檢測(cè))這樣的缺陷并且對(duì)工件1011進(jìn)行處理(例如將工件分類為無缺陷的或者有缺陷的)。充當(dāng)運(yùn)送單元的傳送器1012可以由例如機(jī)器人或手動(dòng)操作代替。除運(yùn)送單元之外或者代替運(yùn)送單元，可以使用用于使檢查裝置1000相對(duì)于工件1011移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元(例如機(jī)器人)。在這種情況下，運(yùn)送單元和驅(qū)動(dòng)單元中的至少一個(gè)充當(dāng)用于執(zhí)行檢查裝置1000和工件1011之間的相對(duì)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器(驅(qū)動(dòng)裝置)。檢查裝置1000和驅(qū)動(dòng)裝置構(gòu)成檢查系統(tǒng)。

檢查裝置1000可以包括照明設(shè)備1001、成像設(shè)備1002、(可以包括pc的)處理器1003、控制器1004、顯示單元1005和輸入單元(未示出)。照明設(shè)備1001、成像設(shè)備1002和處理器1003可以與在上述第一或第二實(shí)施例中的那些相同?？刂破?004基于由處理器1003先前設(shè)定的照明和成像模式來控制照明設(shè)備1001和成像設(shè)備1002，使得這些設(shè)備彼此同步。照明設(shè)備1001在該照明設(shè)備1001頂部具有開口1010，成像設(shè)備1002可以通過該開口1010對(duì)工件1011進(jìn)行成像。成像設(shè)備1002包括照相機(jī)本體和用于在照相機(jī)本體中的圖像拾取元件上形成工件1011的圖像的光學(xué)系統(tǒng)。通過成像獲得的圖像被傳遞或傳輸?shù)教幚砥?003。處理器1003不限于通用pc。處理器可以是專用設(shè)備。此外，處理器1003可以與控制器1004集成。處理器1003基于從成像設(shè)備1002傳遞的圖像(數(shù)據(jù))對(duì)工件1011執(zhí)行用于檢查的處理(例如檢測(cè)工件1011的表面(外觀)上的缺陷的處理)。處理器(處理單元)1003可以基于針對(duì)通過例如對(duì)來自成像設(shè)備1002的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理而獲得的(圖像)數(shù)據(jù)的(像素)值的可接受的條件執(zhí)行處理。顯示單元1005顯示從處理器1003傳輸?shù)闹甘咎幚斫Y(jié)果的信息和/或圖像。輸入單元包括鍵盤和鼠標(biāo)并且將例如由用戶輸入的信息傳輸?shù)教幚砥?003。

照明設(shè)備1001包括多個(gè)led(光發(fā)射器或光源)。光發(fā)射器不限于led。控制器1004可以控制每個(gè)單獨(dú)的led的光量和光發(fā)射的定時(shí)。led被布置在例如三個(gè)不同的仰角處，使得可以從低仰角(低角度)、中間仰角(中間角度)和高仰角(高角度)對(duì)工件1011進(jìn)行照明。led被布置在照明設(shè)備1001的周向上。使用這種配置，照明設(shè)備1001具有在包括亮場(chǎng)照明和暗場(chǎng)照明的不同照明條件中的任何一個(gè)下對(duì)物體進(jìn)行照明的功能。因?yàn)樵诹翀?chǎng)照明下貢獻(xiàn)于成像的光量可以與在暗場(chǎng)照明下貢獻(xiàn)于成像的光量不同，所以在亮場(chǎng)照明下的光量也可以與在暗場(chǎng)照明下的光量不同。先前設(shè)定的led被順序打開并且成像設(shè)備1002與打開的定時(shí)同步地執(zhí)行成像，因而獲得在各種照明條件(包括仰角和方位角的組合)下被照明的工件1011的圖像。有利地，可以識(shí)別各種類型的缺陷。

第四實(shí)施例

根據(jù)第三實(shí)施例的上述檢查裝置1000可以在制造物品的方法中使用。該方法可以包括使用上述檢查裝置1000或檢查系統(tǒng)對(duì)物體進(jìn)行檢查并且基于檢查結(jié)果對(duì)被檢查的物體進(jìn)行處理。處理可以包括加工、切割、運(yùn)送、組裝(構(gòu)建)、檢查和歸類中的至少一個(gè)。根據(jù)本實(shí)施例的制造物品的方法相比于現(xiàn)有技術(shù)方法在物品的性能、質(zhì)量、生產(chǎn)率和生產(chǎn)成本中的至少一個(gè)方面是有利的。

雖然參考示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明不限于所公開的示例性實(shí)施例。以下權(quán)利要求的范圍應(yīng)被賦予最廣泛的解釋，以便涵蓋所有這樣的修改以及等同的結(jié)構(gòu)和功能。