本發(fā)明涉及干涉測量領(lǐng)域，特別是一種偏振同步相移干涉儀。

背景技術(shù)：

相移干涉測量技術(shù)是目前實(shí)現(xiàn)高精度干涉測量的一種主要技術(shù)途徑。又可分為時域相移和空域同步相移兩種。時域相移易受振動、環(huán)境變換等因素的影響，不易實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場檢測，因此，在光學(xué)車間現(xiàn)場及特殊環(huán)境，空域同步相移技術(shù)得到了廣泛應(yīng)用。

在線技術(shù)1(chrisl.koliopoulos，"simultaneousphase-shiftinterferometer",proc.spie1531,119-127(1991))提出了一種偏振同步相移干涉儀，參考光與測量光為正交線偏振光，采用4個光電探測器陣列配合1/4波片、偏振分束棱鏡實(shí)現(xiàn)了同時采集4副干涉圖，能夠克服時域相移技術(shù)的缺點(diǎn)。在線技術(shù)2(andreahettwer,jochenkranz,johannesschwider,“threechannelphase-shiftinginterferometerusingpolarization-opticsandadiffractiongrating”,opt.eng.39(4),960-966(apr01,2000).)采用光柵將光束分為3束，采用3個探測器陣列配合1/4波片、不同方向的檢偏器實(shí)現(xiàn)同步相移。在先技術(shù)3(piotrszwaykowski,raymondj.castonguay,frederickn.bushroe,simultaneousphaseshiftingmoduleforuseininterferometry,uspatent,us7483145b2(2003年公開))采用分光棱鏡將光束分為3束，配合1/4波片、不同方向的檢偏器實(shí)現(xiàn)同步相移。在先技術(shù)4(piotrszwaykowski,whitelightscanninginterferometerwithsimultaneousphase-shiftingmodule,uspatent,us8269980b1)將該同步移相模塊用于白光掃描微形貌干涉儀。上述在先技術(shù)均需采用至少3個光電探測器陣列，多個光電探測器陣列的像素坐標(biāo)需要對齊，光路及對準(zhǔn)過程復(fù)雜，需要較為復(fù)雜的分光器件，其優(yōu)點(diǎn)是測量空間分辨率高。

與上述采用多光電探測器陣列的技術(shù)方案不同，在先技術(shù)5(bradleyt.kimbrough,pixelatedmaskspatialcarrierphaseshiftinginterferometryalgorithmsandassociatederrors,appliedoptics,45(19),4554-4562(2006))在光電探測器陣列前放置了檢偏器陣列，檢偏器陣列包含了與光電探測器陣列像素數(shù)量相同的微檢偏器，每個像素與一個微檢偏器對齊，檢偏器陣列共有四個檢偏方向，與1/4波片配合，實(shí)現(xiàn)同步移相。在先技術(shù)5中采用檢偏器陣列的同步相移技術(shù)可以用于泰曼干涉儀、fizeau干涉儀、及干涉顯微鏡，見在先技術(shù)6(nealj.brock,jamesemillerd,jamescwyant,johnbhayes,pixelatedphase-maskinterferometer,uspatent,us2005/0046865a1)。在先技術(shù)7(jamesemillerd,linear-carrierphase-maskinterferometer,uspatent,us2010/0309476a1)對在先技術(shù)5～6技術(shù)進(jìn)行了變形，檢偏器陣列的方向并不在每個像素及其相鄰像素發(fā)生改變，而是沿一條直線為同一方向，在先技術(shù)7的光電探測器陣列也需要集成4種不同方向的檢偏器。在先技術(shù)5～7與上述在先技術(shù)1～4相比，僅需要1個光電探測器陣列，不存在多個光電探測器陣列的像素對準(zhǔn)問題，但是在進(jìn)行相位計算時需要采用4～9個像素，測量空間分辨率受到一定制約；并且，在光電探測器陣列上集成4種不同方向的檢偏器，集成工藝較為復(fù)雜。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種偏振同步相移干涉儀，該干涉儀采用2個光電探測器陣列，每個光電探測器陣列可以僅集成2種方向的檢偏器陣列器件，具有測量空間分辨率高，集成與對準(zhǔn)工藝簡單的優(yōu)點(diǎn)。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下：

一種偏振同步相移干涉儀，包括偏振干涉儀和同步相移模塊，所述的偏振干涉儀中包含被測件(1-1)；其特點(diǎn)在于，所述的偏振干涉儀出射偏振方向相互正交的參考光和測量光，所述的參考光和測量光的偏振態(tài)是線偏振光或圓偏振光；所述的偏振干涉儀出射的參考光和測量光進(jìn)入同步相移模塊；所述的同步相移模塊包括非偏振分束器，第一檢偏器陣列，第二檢偏器陣列或檢偏器，以及第一光電探測器陣列和第二光電探測器陣列；當(dāng)所述的偏振干涉儀出射線偏振光時，所述的同步相移模塊還包括至少一個1/4波片，所述的1/4波片的快軸方向與入射至1/4波片的線偏振光偏振方向的夾角為45度；

所述的第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列分別由2種或2種以上不同檢偏方向的多個微檢偏器組成，每個微檢偏器與所述的第一光電探測器陣列或第二光電探測器陣列的一個像素或一列像素對齊，每個微檢偏器透過光由第一光電探測器陣列或第二光電探測器陣列的一個像素或一列像素完全接收；

所述的同步相移模塊中第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列中微檢偏器的檢偏方向的排布，或第一檢偏器陣列中微檢偏器和檢偏器的檢偏方向的排布，滿足條件：第一光電探測器陣列和第二光電探測器陣列探測偏振干涉儀出射光束同一位置的像素位置，及其相鄰像素位置，共有3種或3種以上不同的檢偏方向；

所述的第一檢偏器陣列，或第二檢偏器陣列,或檢偏器的入射光為線偏振光時，其檢偏方向與其入射線偏振光的偏振方向不同；

所述的同步相移模塊各組成部分的位置與連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀出射的參考光和測量光進(jìn)入非偏振分束器，該非偏振分束器將入射光分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光通過第一檢偏器陣列后，由第一光電探測器陣列接收；在第二探測光路，光通過第二檢偏器陣列或檢偏器后，由第二光電探測器陣列接收；

當(dāng)所述的偏振干涉儀出射線偏振光時，沿光束傳播方向，所述的1/4波片位于非偏振分束器之前，或位于非偏振分束器之后且第一檢偏器陣列、第二檢偏器陣列或檢偏器之前。

所述的第一檢偏器陣列或第二檢偏器陣列內(nèi)部在橫向和縱向相鄰的微檢偏器的檢偏方向不同。

所述的偏振干涉儀是泰曼干涉儀、fizeau干涉儀、干涉顯微鏡、微分干涉相襯顯微鏡。

所述的第一光電探測器陣列和第二光電探測器陣列是面陣或線陣器件，或雙列或多列線陣器件。

所述的第一光電探測器陣列和第二光電探測器陣列是ccd、cmos、光電二極管陣列。

利用上述的偏振同步相移干涉儀測量干涉相位的方法，其特征在于該方法包括下列步驟：

1)標(biāo)定第一光電探測器陣列和第二光電探測器陣列相對偏振干涉儀輸出光束的坐標(biāo)關(guān)系，使得第一光電探測器陣列和第二光電探測器陣列每個像素的坐標(biāo)與偏振干涉儀輸出光束坐標(biāo)相對應(yīng)；

2)第一光電探測器陣列和第二光電探測器陣列同時采集一副干涉圖，對于偏振干涉儀輸出光束的每個坐標(biāo)位置，由第一光電探測器陣列對應(yīng)像素及相鄰像素，第二光電探測器陣列對應(yīng)像素及相鄰像素，按照偏振相移相位計算方法，求解干涉相位。

本發(fā)明的原理是，在偏振相移干涉儀中，對同一測量位置必須有3個或3個以上的不同相移量的干涉信號，才能實(shí)現(xiàn)干涉相位的準(zhǔn)確計算；在先技術(shù)1～4采用3個及以上光電探測器陣列，每個光電探測器陣列前有不同檢偏方向的檢偏器，實(shí)現(xiàn)3副及以上偏振相移干涉圖的同步探測，從而實(shí)現(xiàn)干涉相位計算，具有空間分辨率高的優(yōu)點(diǎn)，但多個探測器像素坐標(biāo)關(guān)系標(biāo)定難度較高；在先技術(shù)5～7采用1個光電探測器陣列，在光電探測器陣列每個像素前放置不同方向的微檢偏器，微檢偏器共有4種檢偏方向，從而實(shí)現(xiàn)具有4個偏振相移量的干涉圖的同步探測，但在一定程度上影響了檢測空間分辨率，并且檢偏器陣列的加工集成難度大；本發(fā)明綜合上述在先技術(shù)的特點(diǎn)，采用2個光電探測器陣列，其中第一光電探測器陣列前放置具有2種或2種以上檢偏方向的檢偏器陣列，第二光電探測器陣列前放置另一種檢偏方向的檢偏器或具有不同檢偏方向排布的檢偏器陣列，從而采用2個光電探測器陣列實(shí)現(xiàn)3個及以上相移量干涉圖的同步探測，實(shí)現(xiàn)干涉相位計算。

本發(fā)明與在先技術(shù)1～4相比，僅采用2個光電探測器陣列，降低了光電探測器陣列坐標(biāo)關(guān)系標(biāo)定的難度，并且在光路中不用使用特殊的分光元件，降低了系統(tǒng)復(fù)雜性；與在先技術(shù)5～7相比，檢偏器陣列僅需要2種檢偏方向的微檢偏器即可完成檢測功能，降低了工藝復(fù)雜性和成本，并且提高了檢測空間分辨率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明偏振同步相移干涉儀的總體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明偏振干涉儀出射線偏振光時同步相移模塊幾個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明偏振干涉儀出射圓偏振光時同步相移模塊幾個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是本發(fā)明第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本發(fā)明第一檢偏器陣列和檢偏器一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8是本發(fā)明第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步說明，但不以此實(shí)施例限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。

圖1為本發(fā)明偏振同步相移干涉儀的總體結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明的偏振同步相移干涉儀包括偏振干涉儀1和同步相移模塊2；所述的偏振干涉儀中包含被測件1-1；其特征在于，所述的偏振干涉儀1出射偏振方向相互正交的參考光和測量光，所述的參考光和測量光的偏振態(tài)是線偏振光或圓偏振光；所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光進(jìn)入同步相移模塊2；所述的同步相移模塊2包括非偏振分束器2-1，第一檢偏器陣列2-3a，第二檢偏器陣列2-3b或檢偏器2-4，以及第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b；當(dāng)所述的偏振干涉儀1出射線偏振光時，所述的同步相移模塊2還包括至少一個1/4波片2-2，所述的1/4波片2-2的快軸方向與入射至1/4波片2-2的線偏振光偏振方向的夾角為45度；

所述的第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b分別由2種或2種以上不同檢偏方向的多個微檢偏器組成，每個微檢偏器與所述的第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一個像素或一列像素對齊，每個微檢偏器透過光由第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一個像素或一列像素完全接收；

所述的同步相移模塊2中第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b中微檢偏器的檢偏方向的排布，或第一檢偏器陣列2-3a中微檢偏器和檢偏器2-4的檢偏方向的排布，滿足條件：第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b探測偏振干涉儀1出射光束同一位置的像素，及其相鄰像素，共有3種或3種以上不同的檢偏方向；

所述的第一檢偏器陣列2-3a，或第二檢偏器陣列2-3b或檢偏器2-4的入射光為線偏振光時，其檢偏方向與其入射線偏振光的偏振方向不同；

所述的同步相移模塊2各組成部分的位置與連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光進(jìn)入非偏振分束器2-1，分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光通過第一檢偏器陣列2-3a后，由第一光電探測器陣列2-5a接收；在第二探測光路，光通過第二檢偏器陣列2-3b或檢偏器2-4后，由第二光電探測器陣列2-5b接收；當(dāng)所述的偏振干涉儀1出射線偏振光時，沿光束傳播方向，所述的1/4波片2-2位于非偏振分束器2-1之前，或位于非偏振分束器2-1之后，第一檢偏器陣列2-3a、第二檢偏器陣列2-3b或檢偏器2-4之前；所述的1/4波片2-2位于非偏振分束器2-1之后時，1/4波片2-2位于第一探測光路，或位于第二探測光路，或第一探測光路和第二探測光路各有一個1/4波片；

圖2是本發(fā)明偏振干涉儀1出射線偏振光時同步相移模塊2幾個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2(a)同步相移模塊2實(shí)施例包括非偏振分束器2-1，1/4波片2-2，第一檢偏器陣列2-3a，檢偏器2-4，第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b；連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光是線偏振光，光線進(jìn)入非偏振分束器2-1，分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光依次通過1/4波片2-2，第一檢偏器陣列2-3a后，由第一光電探測器陣列2-5a接收；在第二探測光路，光通過檢偏器2-4后，由第二光電探測器陣列2-5b接收；所述的檢偏器2-4的檢偏方向與入射至檢偏器2-4的線偏振光的偏振方向不同；

圖2(b)同步相移模塊2實(shí)施例包括非偏振分束器2-1，第一檢偏器陣列2-3a，1/4波片2-2，檢偏器2-4，第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b；連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光是線偏振光，光線進(jìn)入非偏振分束器2-1，分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光通過第一檢偏器陣列2-3a后，由第一光電探測器陣列2-5a接收；在第二探測光路，光依次通過1/4波片2-2，檢偏器2-4后，由第二光電探測器陣列2-5b接收；所述的第一檢偏器陣列2-3a的所有微檢偏器的檢偏方向與入射至第一檢偏器陣列2-3a的線偏振光的偏振方向不同；

圖2(c)同步相移模塊2實(shí)施例包括1/4波片2-2，非偏振分束器2-1，第一檢偏器陣列2-3a，檢偏器2-4，第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b；連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光是線偏振光，光依次通過1/4波片2-2，非偏振分束器2-1，分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光通過第一檢偏器陣列2-3a后，由第一光電探測器陣列2-5a接收；在第二探測光路，光通過檢偏器2-4后，由第二光電探測器陣列2-5b接收；

圖2(d)同步相移模塊2實(shí)施例包括1/4波片2-2，非偏振分束器2-1，第一檢偏器陣列2-3a，第二檢偏器陣列2-3b，第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b；連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光是線偏振光，光依次通過1/4波片2-2，非偏振分束器2-1，分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光通過第一檢偏器陣列2-3a后，由第一光電探測器陣列2-5a接收；在第二探測光路，光通過第二檢偏器陣列2-3b后，由第二光電探測器陣列2-5b接收；

圖2(e)同步相移模塊2實(shí)施例包括非偏振分束器2-1，第一檢偏器陣列2-3a，檢偏器2-4，第一1/4波片2-2-1和第二1/4波片2-2-2，第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b；連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光是線偏振光，光線進(jìn)入非偏振分束器2-1，分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光依次通過第一1/4波片2-2-1，第一檢偏器陣列2-3a后，由第一光電探測器陣列2-5a接收；在第二探測光路，光依次通過第二1/4波片2-2-2，檢偏器2-4后，由第二光電探測器陣列2-5b接收；所述的第一1/4波片2-2-1和第二1/4波片2-2-2的快軸方向與其入射的線偏振光偏振方向的夾角為45度；

圖3是本發(fā)明偏振干涉儀1出射圓偏振光時同步相移模塊2幾個實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3(a)同步相移模塊2實(shí)施例包括非偏振分束器2-1，第一檢偏器陣列2-3a，檢偏器2-4，第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b；連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光是圓偏振光，光通過非偏振分束器2-1后，分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光通過第一檢偏器陣列2-3a后，由第一光電探測器陣列2-5a接收；在第二探測光路，光通過檢偏器2-4后，由第二光電探測器陣列2-5b接收；

圖3(b)同步相移模塊2實(shí)施例包括非偏振分束器2-1，第一檢偏器陣列2-3a，第二檢偏器陣列2-3b，第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b；連接關(guān)系是：所述的偏振干涉儀1出射的參考光和測量光是圓偏振光，光通過非偏振分束器2-1后，分為第一探測光路和第二探測光路；在第一探測光路，光通過第一檢偏器陣列2-3a后，由第一光電探測器陣列2-5a接收；在第二探測光路，光通過第二檢偏器陣列2-3b后，由第二光電探測器陣列2-5b接收；

所述的第一檢偏器陣列2-3a或第二檢偏器陣列2-3b內(nèi)部在橫向和縱向相鄰的微檢偏器的檢偏方向不同；

圖4是本發(fā)明第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4中第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b分別由2種不同檢偏方向的多個微檢偏器組成，每個微檢偏器與所述的第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一個像素對齊，每個微檢偏器透過光由第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一個像素完全接收；所述的第一檢偏器陣列2-3a與第二檢偏器陣列2-3b內(nèi)部在橫向和縱向相鄰的微檢偏器的檢偏方向不同，如第一檢偏器陣列2-3a中微檢偏器p1-001的檢偏角度為90°，與其橫向和縱向相鄰的微檢偏器為p1-002和p1-004，其檢偏角度為0°；第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b中微檢偏器的檢偏方向的排布使得第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b探測偏振干涉儀1出射光束同一位置的像素位置，及其相鄰像素位置，有4種不同的檢偏方向：90°、0°、45°、135°；

圖5是本發(fā)明第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列另一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5中第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b分別由2種不同檢偏方向的多個微檢偏器組成，每個微檢偏器與所述的第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一個像素對齊，每個微檢偏器透過光由第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一個像素完全接收；所述的第一檢偏器陣列2-3a與第二檢偏器陣列2-3b內(nèi)部在橫向和縱向相鄰的微檢偏器的檢偏方向不同，如第一檢偏器陣列2-3a中微檢偏器p1-001的檢偏角度為90°，與其橫向和縱向相鄰的微檢偏器為p1-002和p1-004，其檢偏角度為45°；第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b中微檢偏器的檢偏方向的排布使得第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b探測偏振干涉儀1出射光束同一位置的像素位置，及其相鄰像素位置，有4種不同的檢偏方向：90°、0°、45°、135°；

圖6是本發(fā)明第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列另一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6中第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b分別由2種不同檢偏方向的多個微檢偏器組成，每個微檢偏器與所述的第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一列像素對齊，每個微檢偏器透過光由第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一列像素完全接收；所述的第一檢偏器陣列2-3a與第二檢偏器陣列2-3b內(nèi)部僅在橫向存在相鄰的微檢偏器，橫向相鄰的微檢偏器的檢偏方向不同，如第一檢偏器陣列2-3a中微檢偏器p1-002的檢偏角度為0°，與其橫向相鄰的微檢偏器為p1-001和p1-003，其檢偏角度為90°；第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b中微檢偏器的檢偏方向的排布使得第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b探測偏振干涉儀1出射光束同一位置的像素位置，及其相鄰像素位置，有4種不同的檢偏方向：90°、0°、45°、135°；

圖7是本發(fā)明第一檢偏器陣列和檢偏器一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7中第一檢偏器陣列2-3a由2種不同檢偏方向的多個微檢偏器組成，每個微檢偏器與所述的第一光電探測器陣列2-5a的一個像素對齊，每個微檢偏器透過光由第一光電探測器陣列2-5a的一個像素完全接收；所述的第一檢偏器陣列2-3a內(nèi)部在橫向和縱向相鄰的微檢偏器的檢偏方向不同，如第一檢偏器陣列2-3a中微檢偏器p1-001的檢偏角度為90°，與其橫向和縱向相鄰的微檢偏器為p1-002和p1-004，其檢偏角度為45°；第一檢偏器陣列2-3a中微檢偏器和檢偏器2-4的檢偏方向的排布使得第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b探測偏振干涉儀1出射光束同一位置的像素位置，及其相鄰像素位置，有3種不同的檢偏方向：90°、0°、45°；

圖8是本發(fā)明第一檢偏器陣列和第二檢偏器陣列另一組實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8中第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b分別由4種不同檢偏方向的多個微檢偏器組成，每個微檢偏器與所述的第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一列像素對齊，每個微檢偏器透過光由第一光電探測器陣列2-5a或第二光電探測器陣列2-5b的一列像素完全接收；所述的第一檢偏器陣列2-3a與第二檢偏器陣列2-3b內(nèi)部僅在橫向存在相鄰的微檢偏器，橫向相鄰的微檢偏器的檢偏方向不同，如第一檢偏器陣列2-3a中微檢偏器p1-002的檢偏角度為0°，與其橫向相鄰的微檢偏器p1-001檢偏角度為90°，微檢偏器p1-003檢偏角度為45°；第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b中微檢偏器的檢偏方向的排布使得第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b探測偏振干涉儀1出射光束同一位置的像素位置，及其相鄰像素位置，有4種不同的檢偏方向：90°、0°、45°、135°；

所述的偏振干涉儀1是泰曼干涉儀，所述的偏振干涉儀1包含的被測件1-1為平面光學(xué)元件，所述的偏振干涉儀1測量該平面光學(xué)元件的面形產(chǎn)生的干涉相位信息；詳細(xì)參見在先技術(shù)6、在先技術(shù)7；

所述的第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b是面陣ccd；

利用圖2(d)同步相移模塊2實(shí)施例與圖4第一檢偏器陣列2-3a和第二檢偏器陣列2-3b實(shí)施例的偏振同步相移干涉儀測量干涉相位的方法，其特征在于該方法包括下列步驟：

1)標(biāo)定第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b相對偏振干涉儀1輸出光束的坐標(biāo)關(guān)系，使得第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b每個像素的坐標(biāo)與偏振干涉儀輸出光束坐標(biāo)相對應(yīng)；

2)第一光電探測器陣列2-5a和第二光電探測器陣列2-5b同時采集一副干涉圖，對于偏振干涉儀1輸出光束每個坐標(biāo)位置，由第一光電探測器陣列2-5a對應(yīng)像素及相鄰像素，第二光電探測器陣列2-5b對應(yīng)像素及相鄰像素，按照在先技術(shù)5所述的偏振相移相位計算方法，求解干涉相位；不同的干涉相移相位提取算法，也可見在先技術(shù)8(danielmalacara，opticalshoptesting,3rdedition，isbn:978-0-471-48404-2)；

本實(shí)施例采用兩個光電探測器陣列實(shí)現(xiàn)同步相移，實(shí)現(xiàn)了抗振面形測量，具有光電探測器陣列坐標(biāo)關(guān)系標(biāo)定難度較低，系統(tǒng)復(fù)雜性低，并具有檢測空間分辨率高的優(yōu)點(diǎn)。