本發(fā)明屬于無損檢測和超聲表面波技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

超大規(guī)模集成電路的快速發(fā)展對ulsi互連布線系統(tǒng)提出了更大的挑戰(zhàn)。在國際半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展路線圖中指出，為了正確表征low-k互連薄膜的機(jī)械特性、粘附特性等參數(shù)，需要發(fā)展先進(jìn)的測試技術(shù)。傳統(tǒng)的方法有劃痕法、四點(diǎn)彎曲法、粘揭法、拉伸法等。但這些方法都會對薄膜造成損傷，且測量結(jié)果的可靠性裕差。因此，亟需發(fā)展準(zhǔn)確、可靠無損檢測方法應(yīng)用于薄膜研究和制備過程的在線檢測。聲表面波法具有無損、實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)易操作、檢測快速準(zhǔn)確等突出優(yōu)勢。壓電傳感器檢測技術(shù)是聲表面波檢測技術(shù)的代表。其基本原理是：參見圖1，由脈沖激光器1發(fā)出一個短暫的激光脈沖在固體樣品2表面激發(fā)一個寬頻帶波動，吸收激光輻射導(dǎo)致局部受熱，并在固體表面發(fā)生熱膨脹，進(jìn)而產(chǎn)生聲表面波3，表面波在傳播過程中攜帶樣品的信息被壓電探頭4所接收。在整個實(shí)驗(yàn)過程中光路調(diào)節(jié)的水平對實(shí)驗(yàn)結(jié)果有著至關(guān)重要的影響。光路調(diào)節(jié)是指通過調(diào)節(jié)棱鏡5和柱面鏡6將激光器發(fā)出的平行激光轉(zhuǎn)化為打在樣片上的一條極亮且極細(xì)的光線。同時還要使光線滿足以下幾個要求：

第一、脈沖激光光線與壓電探頭等寬；

第二、脈沖激光光線跟壓電探頭保持平行；

第三、脈沖激光光線和壓電探頭對齊。

目前調(diào)節(jié)光路只能靠實(shí)驗(yàn)人員的觀察，這樣就造成了光路調(diào)節(jié)過程繁瑣、緩慢，調(diào)節(jié)效果往往達(dá)不到最佳。因此一個輔助光路調(diào)節(jié)的對準(zhǔn)裝置能極大地提高光路調(diào)節(jié)的效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種適用于壓電傳感器表面波檢測實(shí)驗(yàn)的能夠提高光路調(diào)節(jié)的效率和準(zhǔn)確性的對準(zhǔn)裝置。技術(shù)方案如下：

一種壓電傳感器表面波檢測實(shí)驗(yàn)光路調(diào)節(jié)輔助裝置，其主體為卡片，其特征在于，卡片為設(shè)置有卡槽的u型卡片，卡槽的寬度與壓電傳感器的壓電探頭寬度相同，在卡槽的兩側(cè)分別設(shè)置有一組與卡槽底部平行的輔助線，兩組輔助線完全相同。

優(yōu)選地，所述的輔助線為彩色相間的輔助線。

附圖說明

圖1壓電傳感器表面波檢測原理圖

圖2光路調(diào)節(jié)輔助裝置示意圖

圖3光路調(diào)節(jié)裝置操作實(shí)施示意圖

具體實(shí)施方式

如圖2，裝置外形：本裝置為一u型的卡片。卡片長40mm，寬30mm?？ㄆ嫌幸粋€長30mm，寬10mm的卡槽7，卡槽7寬度與壓電探頭寬度相同?？ㄆ穸燃s為1mm。

裝置細(xì)節(jié)：在卡槽兩邊有一組與卡槽底部平行的彩色相間的輔助線8。其目的是方便調(diào)節(jié)光線與壓電探頭保持平行。由于輔助線比較密集，選擇彩色相間的輔助線8是為了防止光線對準(zhǔn)了錯位的輔助線進(jìn)而導(dǎo)致光線與壓電探頭不能平行。

如圖3所示，使用本裝置輔助調(diào)節(jié)光路時，將裝置1置于被測樣品上，并將壓電探頭4對齊卡槽中的一條輔助線。因?yàn)閴弘娞筋^與卡槽同寬，這樣卡槽相當(dāng)于將壓電探頭的寬度和位置延伸到激光處。在卡槽的輔助下，將光線調(diào)節(jié)到與壓電探頭同寬并對齊就變得非常容易。此外，由于壓電探頭對齊了一條輔助線，所以卡槽中所有的輔助線都與壓電探頭是平行的。所以再將光線對齊任意一條輔助線就可以保證光線與壓電探頭平行。這樣，裝置就很好的輔助了光路調(diào)節(jié)。極大地提高了調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確性和效率。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種壓電傳感器表面波檢測實(shí)驗(yàn)光路調(diào)節(jié)輔助裝置，其主體為卡片，其特征在于，卡片為設(shè)置有卡槽的U型卡片，卡槽的寬度與壓電傳感器的壓電探頭寬度相同，在卡槽的兩側(cè)分別設(shè)置有一組與卡槽底部平行的輔助線，兩組輔助線完全相同。

技術(shù)研發(fā)人員：肖夏;孔濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天津大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.13
技術(shù)公布日：2017.08.04