本發(fā)明涉及多晶硅技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置。
背景技術(shù):
多晶硅,是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來,就結(jié)晶成多晶硅。在太陽能利用上,單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。雖然從目前來講,要使太陽能發(fā)電具有較大的市場,被廣大的消費(fèi)者接受,就必須提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率,降低生產(chǎn)成本。利用價值:從目前國際太陽電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。
現(xiàn)有技術(shù)中,需要根據(jù)多晶硅的生長規(guī)律預(yù)先制定出進(jìn)料生長曲線和電流/電壓曲線,然后再生產(chǎn)多晶硅。在多晶硅的生產(chǎn)過程中,操作人員需通過還原爐上的視窗觀察并監(jiān)測多晶硅的生長情況,例如監(jiān)測原料硅棒的生長直徑,并根據(jù)多晶硅的實(shí)際生長情況來優(yōu)化實(shí)際的進(jìn)料生長曲線和電流/電壓曲線。然而,目前的情況是,對原料硅棒的生長直徑的監(jiān)測大多依賴于操作人員的觀察及經(jīng)驗(yàn),即,操作人員通過肉眼觀察原料硅棒,并憑借其經(jīng)驗(yàn)估算出原料硅棒的生長直徑。這種估算方式對操作人員的經(jīng)驗(yàn)的要求比較高,估算結(jié)果也因人而異,誤差較大。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的在于提供一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置,包括爐體,所述爐體的底部連接有支腿,所述爐體底部安裝有液壓缸,所述液壓缸的輸出端連接有活塞桿,所述活塞桿的一端伸入到爐體內(nèi),所述活塞桿的端部連接有升降平臺,所述爐體的頂部設(shè)有檢測窗,所述檢測窗水平設(shè)置,所述檢測窗的頂部轉(zhuǎn)動連接有測微尺,所述爐體的側(cè)壁上固定連接有固定支架,所述固定支架上轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動支架,所述轉(zhuǎn)動支架的一端連接有光學(xué)顯微鏡,所述光學(xué)顯微鏡的頂部設(shè)有觀察口,所述光學(xué)顯微鏡的底部設(shè)有鏡頭,所述鏡頭處還設(shè)有紅外線發(fā)射器,所述爐體的內(nèi)部均勻覆蓋有保溫結(jié)構(gòu)層,所述爐體內(nèi)部還安裝有l(wèi)ed燈。
優(yōu)選的,所述支腿的底部設(shè)有地腳,所述支腿和地腳之間螺紋連接。
優(yōu)選的,所述轉(zhuǎn)動支架包括第一轉(zhuǎn)動架和第二轉(zhuǎn)動架,所述第一轉(zhuǎn)動架和第二轉(zhuǎn)動架之間轉(zhuǎn)動連接。
優(yōu)選的,所述爐體的正面還設(shè)有觀察窗和溫度計。
優(yōu)選的,所述檢測窗的截面為圓形,所述檢測窗和爐體的連接處還設(shè)有密封圈。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明結(jié)構(gòu)新穎,操作方便,通過在爐體的頂部設(shè)置檢測窗,并在檢測窗的頂部轉(zhuǎn)動連接有測微尺,操作人員通過控制液壓缸,使活塞桿推動升降平臺向上移動,多晶硅安置在升降平臺上,此時多晶硅靠近檢測窗,操作人員通過轉(zhuǎn)動支架將光學(xué)顯微鏡的鏡頭對準(zhǔn)多晶硅,此時,轉(zhuǎn)動測微尺,使測微尺測量多晶硅的直徑,利用紅外線發(fā)射器發(fā)射出的紅外光輔助測量定位,減小誤差,通過設(shè)置led燈,保證測量的光線,增設(shè)觀察窗和溫度計,提高了裝置的功能性,具有很高的實(shí)用性,大大提升了該一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置的使用功能性,保證其使用效果和使用效益,適合廣泛推廣。
附圖說明
圖1為本發(fā)明一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本發(fā)明一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3為本發(fā)明一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置的測微尺結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本發(fā)明一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置的轉(zhuǎn)動支架部分結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:1爐體、2支腿、3液壓缸、4活塞桿、5升降平臺、6檢測窗、7密封圈、8測微尺、9固定支架、10轉(zhuǎn)動支架、11光學(xué)顯微鏡、12觀察口、13鏡頭、14紅外線發(fā)射器、15保溫結(jié)構(gòu)層、16led燈、17第一轉(zhuǎn)動架、18第二轉(zhuǎn)動架、19觀察窗、20溫度計。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合說明書附圖和實(shí)施例,對本發(fā)明的具體實(shí)施例做進(jìn)一步詳細(xì)描述:
請參閱圖1-4,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種多晶硅棒生長直徑的測量裝置,包括爐體1,所述爐體1的底部連接有支腿2,所述爐體1底部安裝有液壓缸3,所述液壓缸3的輸出端連接有活塞桿4,所述活塞桿4的一端伸入到爐體1內(nèi),所述活塞桿4的端部連接有升降平臺5,所述爐體1的頂部設(shè)有檢測窗6,所述檢測窗6水平設(shè)置,所述檢測窗6的頂部轉(zhuǎn)動連接有測微尺8,所述爐體1的側(cè)壁上固定連接有固定支架9,所述固定支架9上轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動支架10,所述轉(zhuǎn)動支架10的一端連接有光學(xué)顯微鏡11,所述光學(xué)顯微鏡11的頂部設(shè)有觀察口12,所述光學(xué)顯微鏡11的底部設(shè)有鏡頭13,所述鏡頭13處還設(shè)有紅外線發(fā)射器14,所述爐體1的內(nèi)部均勻覆蓋有保溫結(jié)構(gòu)層15,所述爐體1內(nèi)部還安裝有l(wèi)ed燈16,所述支腿2的底部設(shè)有地腳,所述支腿2和地腳之間螺紋連接,所述轉(zhuǎn)動支架10包括第一轉(zhuǎn)動架17和第二轉(zhuǎn)動架18,所述第一轉(zhuǎn)動架17和第二轉(zhuǎn)動架18之間轉(zhuǎn)動連接,所述爐體1的正面還設(shè)有觀察窗19和溫度計20,所述檢測窗6的截面為圓形,所述檢測窗6和爐體1的連接處還設(shè)有密封圈7。
工作原理:使用時,通過在爐體1的頂部設(shè)置檢測窗6,并在檢測窗6的頂部轉(zhuǎn)動連接有測微尺8,操作人員通過控制液壓缸3,使活塞桿4推動升降平臺5向上移動,多晶硅安置在升降平臺5上,此時多晶硅靠近檢測窗6,操作人員通過轉(zhuǎn)動支架10將光學(xué)顯微鏡11的鏡頭13對準(zhǔn)多晶硅,此時,轉(zhuǎn)動測微尺8,使測微尺8測量多晶硅的直徑,利用紅外線發(fā)射器14發(fā)射出的紅外光輔助測量定位,減小誤差,通過設(shè)置led燈16,保證測量的光線,增設(shè)觀察窗19和溫度計20,提高了裝置的功能性,具有很高的實(shí)用性。
以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并非對本發(fā)明的技術(shù)范圍作出任何限制,故凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何細(xì)微修改、等同變化與修飾,均仍屬于本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)。