本發(fā)明屬于溫度傳感器技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，尤其涉及一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法。
背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，真空冶金及熱處理技術(shù)已廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)及科研領(lǐng)域等許多部門。某些高技術(shù)設(shè)備，必須以真空技術(shù)作為手段，才能實現(xiàn)其高技術(shù)指標(biāo)。許多傳統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域，只有依據(jù)真空技術(shù)，才能使得產(chǎn)品性能大幅度提高。為了實現(xiàn)真空冶金及熱處理行業(yè)的精確生產(chǎn)及優(yōu)質(zhì)高效的整體戰(zhàn)略目標(biāo)，溫度的準(zhǔn)確測量及控制是十分重要的。但是在真空環(huán)境下有很多惰性氣體會影響溫度傳感器的校準(zhǔn)精確度，同時真空度的不同也會對溫度傳感器的校準(zhǔn)產(chǎn)生影響，而現(xiàn)有技術(shù)中在真空環(huán)境下對溫度傳感器校準(zhǔn)的方式并沒有考慮這些因素，校準(zhǔn)的精確度差，不利于廣泛的推廣和普及。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，包括如下步驟：
s1、先把待校準(zhǔn)的溫度傳感器防止在真空腔室的內(nèi)部，然后再把作為標(biāo)準(zhǔn)的溫度計插入真空腔室內(nèi)，并且待校準(zhǔn)的溫度傳感器和溫度計的接線端均通過光釬線連接校準(zhǔn)系統(tǒng)的信號輸入端；
s2、然后把真空腔室放在可以加熱的恒溫水槽內(nèi)，并且真空腔室頂部通過管道與外置的真空泵連接；
s3、然后根據(jù)需要控制真空泵工作抽除真空腔室內(nèi)的空氣，并且抽到真空腔室的真空度達(dá)到極限真空；
s4、然后往真空腔室內(nèi)通入惰性氣體調(diào)節(jié)真空腔室的真空度，并加熱恒溫水槽內(nèi)水的溫度，記錄待校準(zhǔn)的溫度傳感器和溫度計測得的溫度差，并對待校準(zhǔn)的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)；
s5、然后調(diào)節(jié)恒溫水槽內(nèi)的水溫，或者調(diào)節(jié)真空腔室的真空度繼續(xù)上述操作，待校準(zhǔn)結(jié)束之后把校準(zhǔn)后的溫度傳感器和溫度計取出直接接觸恒溫水槽內(nèi)的水面；
s6、在控制恒溫水槽內(nèi)的水溫對比待校準(zhǔn)的溫度傳感器和溫度計測得的溫度差，同時對待校準(zhǔn)的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。
優(yōu)選的，所述作為標(biāo)準(zhǔn)的溫度計為鉑電阻溫度計。
優(yōu)選的，所述惰性氣體包括氦、氖、氬、氪、氙或者氮氣。
優(yōu)選的，所述真空腔室的一側(cè)連接有真空度檢測儀，且恒溫水槽內(nèi)的水溫變化在20℃-800℃。
本發(fā)明的技術(shù)效果和優(yōu)點：本發(fā)明提供的一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，與傳統(tǒng)的校準(zhǔn)方法相比，本發(fā)明通過恒溫水槽對真空腔室進(jìn)行加熱，不僅加熱迅速，同時溫度加熱的比較均勻，待校準(zhǔn)的溫度傳感器和作為標(biāo)準(zhǔn)的溫度計先在真空環(huán)境下校準(zhǔn)之后再在空氣中進(jìn)行校準(zhǔn)，保證了校準(zhǔn)的精確度和穩(wěn)定性，該發(fā)明操作方便，校準(zhǔn)精確度高，安全穩(wěn)定，適用范圍廣，有利于推廣和普及。
具體實施方式
為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，包括如下步驟：
s1、先把待校準(zhǔn)的溫度傳感器防止在真空腔室的內(nèi)部，然后再把作為標(biāo)準(zhǔn)的溫度計插入真空腔室內(nèi)，并且待校準(zhǔn)的溫度傳感器和溫度計的接線端均通過光釬線連接校準(zhǔn)系統(tǒng)的信號輸入端；
s2、然后把真空腔室放在可以加熱的恒溫水槽內(nèi)，并且真空腔室頂部通過管道與外置的真空泵連接；
s3、然后根據(jù)需要控制真空泵工作抽除真空腔室內(nèi)的空氣，并且抽到真空腔室的真空度達(dá)到極限真空；
s4、然后往真空腔室內(nèi)通入惰性氣體調(diào)節(jié)真空腔室的真空度，并加熱恒溫水槽內(nèi)水的溫度，記錄待校準(zhǔn)的溫度傳感器和溫度計測得的溫度差，并對待校準(zhǔn)的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)；
s5、然后調(diào)節(jié)恒溫水槽內(nèi)的水溫，或者調(diào)節(jié)真空腔室的真空度繼續(xù)上述操作，待校準(zhǔn)結(jié)束之后把校準(zhǔn)后的溫度傳感器和溫度計取出直接接觸恒溫水槽內(nèi)的水面；
s6、在控制恒溫水槽內(nèi)的水溫對比待校準(zhǔn)的溫度傳感器和溫度計測得的溫度差，同時對待校準(zhǔn)的溫度傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。
進(jìn)一步的，所述作為標(biāo)準(zhǔn)的溫度計為鉑電阻溫度計。
進(jìn)一步的，所述惰性氣體包括氦、氖、氬、氪、氙或者氮氣。
進(jìn)一步的，所述真空腔室的一側(cè)連接有真空度檢測儀，且恒溫水槽內(nèi)的水溫變化在20℃-800℃。
綜上所述：本發(fā)明提供的一種真空環(huán)境下溫度傳感器校準(zhǔn)方法，與傳統(tǒng)的校準(zhǔn)方法相比，本發(fā)明通過恒溫水槽對真空腔室進(jìn)行加熱，不僅加熱迅速，同時溫度加熱的比較均勻，待校準(zhǔn)的溫度傳感器和作為標(biāo)準(zhǔn)的溫度計先在真空環(huán)境下校準(zhǔn)之后再在空氣中進(jìn)行校準(zhǔn)，保證了校準(zhǔn)的精確度和穩(wěn)定性，該發(fā)明操作方便，校準(zhǔn)精確度高，安全穩(wěn)定，適用范圍廣，有利于推廣和普及。
最后應(yīng)說明的是：以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，盡管參照前述實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。