技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種激光定域輻照樣品表面動(dòng)態(tài)過程的電鏡檢測方法和裝置，包括：將聚焦激光束引入掃描電鏡的樣品室；將樣品放置在掃描電鏡的樣品臺(tái)上，并調(diào)節(jié)電子束的聚焦位置以及激光束光路，使得聚焦激光束的焦點(diǎn)和電子束的焦點(diǎn)重合，且聚焦激光束的入射方向與電子束的入射方向之間有一夾角；采用掃描電鏡對樣品進(jìn)行觀察檢測；同時(shí)或者延遲輸出聚焦激光束對樣品表面進(jìn)行定域輻照；通過掃描電鏡實(shí)時(shí)檢測激光輻照下的物質(zhì)結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)變化；關(guān)閉激光；結(jié)束掃描電鏡操作。本發(fā)明通過對樣品微小局部進(jìn)行激光定域輻照，可對激光輻照的微區(qū)產(chǎn)生可控的極速加熱、熔化、升華等物態(tài)變化，對腔室?guī)缀醪粫?huì)產(chǎn)生污染，可研究樣品在熔點(diǎn)以上物質(zhì)結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)變化過程。

技術(shù)研發(fā)人員：于艷玲;魏鑫磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：溫州職業(yè)技術(shù)學(xué)院
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.06
技術(shù)公布日：2017.10.13