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場效應(yīng)管測試電路及測試方法與流程

文檔序號(hào):12915264閱讀:985來源:國知局
場效應(yīng)管測試電路及測試方法與流程

本發(fā)明涉及電路測試技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種場效應(yīng)管測試電路及測試方法。



背景技術(shù):

場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)(forwardtransconductance)用于表征場效應(yīng)管輸出與輸入的關(guān)系,即漏極電流id與柵極與源極之間電壓vgs的變化比,其數(shù)學(xué)算數(shù)公式為:gfs=did/dvgs,式中g(shù)fs表示場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)。在場效應(yīng)管的轉(zhuǎn)移特性曲線上,gfs為轉(zhuǎn)移特性曲線切線的斜率,反映的是場效應(yīng)管中柵極與源極之間電壓vgs對(duì)漏極電流id的控制能力。在切換動(dòng)作的電路中,gfs值越高越好。因此gfs是判斷場效應(yīng)管性能優(yōu)劣的重要參數(shù)。

在場效應(yīng)管的量產(chǎn)中,gfs測試采用在被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間并聯(lián)一具有測電流功能的電壓源,該電壓源提供gfs測試所需的漏極與源極之間的電壓vds以及漏極電流id。在被測場效應(yīng)管的柵極與源極之間分別并聯(lián)一電壓源及一個(gè)電壓表。所述具有測電流功能的電壓源的電流采樣信號(hào)通過反饋控制所述電壓源的輸出電壓vgs,所述電壓表用于測量vds、id條件下的輸出電壓vgs。

在量產(chǎn)測試時(shí),通常選擇場效應(yīng)管轉(zhuǎn)移特性曲線上的兩個(gè)采樣點(diǎn)。測試條件分別為vds1、id1和vds2、id2(所述vds1和id1分別表示第一個(gè)采樣點(diǎn)的漏極與源極之間的電壓以及漏極電流,所述vds2和id2分別表示第二個(gè)采樣點(diǎn)的漏極與源極之間的電壓以及漏極電流),并且vds1=vds2。測量兩個(gè)采樣點(diǎn)在上述測試條件下的對(duì)應(yīng)輸出電壓vgs1和vgs2,然后帶入公式從而計(jì)算gfs的數(shù)值。目前,在量產(chǎn)測試中,多使用半導(dǎo)體分立器件專用測試設(shè)備測量場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)。

針對(duì)模擬器件或者數(shù)模混合器件的自動(dòng)測試設(shè)備(ate,automatictestequipment)更為通用,可以測試多種類型的半導(dǎo)體器件。自動(dòng)測試設(shè)備能夠提供多種規(guī)格的電壓/電流源(vis,voltagecurrentsource)模塊,其中單個(gè)vis模塊包括多個(gè)四線開爾文測試通道,每個(gè)四線開爾文測試通道都具有恒壓輸出或者恒流輸出工作模式,此外還具有測量電壓及測量電流的功能,可提供多種電壓/電流源(vis,voltagecurrentsource)。開爾文測試通道的四個(gè)信號(hào)端分別為驅(qū)動(dòng)信號(hào)線高端force_high(簡寫為fh)、驅(qū)動(dòng)信號(hào)線低端force_low(簡寫為fl)、電壓檢測信號(hào)線高端sense_high(簡寫為sh)和電壓檢測信號(hào)線低端sense_low(簡寫為sl)。其中信號(hào)端fh和fl用于驅(qū)動(dòng)被測器件(dut)相關(guān)引腳的電壓和電流;信號(hào)端sh和sl用于檢測被測器件相關(guān)引腳的電壓。

但是所述自動(dòng)測試設(shè)備中的不同的四線開爾文測試通道之間不具備反饋控制功能,因此無法直接采用上述反饋控制方式實(shí)現(xiàn)gfs的測量。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的主要目的在于提供一種場效應(yīng)管測試電路及測試方法,其中所述測試電路包括:

恒壓工作模式的第一路四線開爾文測試通道,其信號(hào)端fh、fl分別與所述被測場效應(yīng)管的漏極、源極連接組成回路,在所述回路中串聯(lián)有電流采樣電阻;其信號(hào)端sh、sl分別與所述被測場效應(yīng)管的漏極、源極連接;

運(yùn)算放大器,其一輸入端連接所述電流采樣電阻的電壓反饋,另一輸入端連接一路電壓源;

電壓檢測電路,用于檢測所述被測場效應(yīng)管的柵極與源極之間的電壓。

由上,第一路四線開爾文測試通道用于提供被測場效應(yīng)管的漏極與源極電壓;電壓源提供被測場效應(yīng)管的柵極、源極電壓;運(yùn)算放大器檢測電流采樣電阻的反饋電壓與所述被測場效應(yīng)管的柵極與源極電壓的大小,二者相同時(shí)表示電路穩(wěn)定。上述電路實(shí)現(xiàn)了四線開爾文測試通道的反饋,結(jié)合測試條件所規(guī)定的電流值即可依據(jù)正向跨導(dǎo)的計(jì)算公式完整被測場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)測試。

其中,所述電壓源為一恒壓工作模式的第二路四線開爾文測試通道。

其中,所述電壓檢測電路為一電壓測量模式的第三路四線開爾文測試通道。

由上,實(shí)現(xiàn)了通用型自動(dòng)測試設(shè)備上多路四線開爾文測試通道彼此之間的反饋,進(jìn)而可依據(jù)正向跨導(dǎo)的計(jì)算公式完整被測場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)測試。

其中,還包括電流檢測電路,用于檢測所述被測場效應(yīng)管的漏極電流。

由上,實(shí)現(xiàn)對(duì)于漏極電流的檢測,通過測量得到的漏極電流實(shí)現(xiàn)跨導(dǎo)測試的計(jì)算。

其中,所述電流檢測電路包括:電壓表,與所述電流采樣電阻并聯(lián)。

由上,在電流采樣電阻r兩端并聯(lián)一電壓表,該電壓表用于測量電流采樣電阻兩端的電壓,進(jìn)而通過歐姆定律可以得到流過電流采樣電阻的電流,該電流即為被測場效應(yīng)管的漏極電流。

其中,所述電流檢測電路包括:電壓表,與所述電壓源并聯(lián)。

由上,在電壓源兩端并聯(lián)一電壓表,該電壓表測量電壓源的輸出電壓,通過歐姆定律可以得到流過電流采樣電阻的電流,即為漏極電流。

其中,還包括邏輯控制模塊,與所述四線開爾文測試通道的模數(shù)/數(shù)模接口連接,用于控制各測試通道電壓、電流的驅(qū)動(dòng)時(shí)間。

由上,在測試過程中精確控制被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間電壓的施加時(shí)間,以避免被測場效應(yīng)管的瞬態(tài)功率較大,其結(jié)溫會(huì)升高而導(dǎo)致被測場效應(yīng)管出現(xiàn)損壞的問題。

其中,所述第一路四線開爾文測試通道的信號(hào)端fl和sl之間、信號(hào)端fh和sh之間并聯(lián)有穩(wěn)壓二極管。

由上,由于所述電流采樣電阻串聯(lián)在所述第一路四線開爾文測試通道的fl信號(hào)線中,因此會(huì)增加第一路四線開爾文測試通道的fl和sl之間的電壓差,因此在實(shí)際使用時(shí),增加穩(wěn)壓二極管以避免fl和sl之間的電壓差超過設(shè)計(jì)所允許的最大電壓差。

本發(fā)明還提供一種上述測試電路的測試方法,包括步驟:

a、第一路四線開爾文測試通道提供被測場效應(yīng)管漏極與源極之間的電壓;

b、電壓源輸出電壓以調(diào)控被測場效應(yīng)管的漏極電流為第一漏極電流id;

c、運(yùn)算放大器的輸出電壓穩(wěn)定后,取得所述第一漏極電流id以及被測場效應(yīng)管柵極與源極之間的第一電壓vgs;

d、電壓源調(diào)整輸出電壓以調(diào)控被測場效應(yīng)管的漏極電流為第二漏極電流i’d;

e、運(yùn)算放大器的輸出電壓再次穩(wěn)定后,取得所述第二漏極電流i’d以及被測場效應(yīng)管柵極與源極之間的第二電壓v’gs;

f、基于正向跨導(dǎo)的計(jì)算公式計(jì)算被測場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)。

由上,第一路四線開爾文測試通道用于提供被測場效應(yīng)管的漏極與源極電壓;第二路四線開爾文測試通道用于提供被測場效應(yīng)管的柵極、源極電壓;運(yùn)算放大器檢測電流采樣電阻的反饋電壓與所述被測場效應(yīng)管的柵極、源極電壓的大小,二者相同時(shí)表示電路穩(wěn)定,從而由第一路四線開爾文測試通道檢測被測場效應(yīng)管的漏極電流,由第三路四線開爾文測試通道檢測被測場效應(yīng)管的柵極與源極電壓,從而實(shí)現(xiàn)了多通道四線開爾文測試通道的反饋,進(jìn)而可依據(jù)正向跨導(dǎo)的計(jì)算公式完整被測場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)測試。

本發(fā)明還提供一種上述測試電路的測試方法,包括步驟:

a、第一路四線開爾文測試通道提供被測場效應(yīng)管漏極與源極之間的電壓;

b、電壓源調(diào)整輸出電壓以調(diào)控測場效應(yīng)管的漏極電流id;

c、運(yùn)算放大器的輸出電壓穩(wěn)定后,測量被測場效應(yīng)管的柵極與源極之間電壓為夾斷電壓vgs。

由上,測量所述夾斷電壓vgs用于表征所述被測場效應(yīng)管的漏極與源極由截止變?yōu)閷?dǎo)通,或者由導(dǎo)通變?yōu)榻刂剐柘蛩霰粶y場效應(yīng)管施加的柵極與源極電壓。

附圖說明

圖1為場效應(yīng)管正向跨導(dǎo)測試電路的實(shí)現(xiàn)圖;

圖2為場效應(yīng)管正向跨導(dǎo)測試電路的原理圖;

圖3為場效應(yīng)管正向跨導(dǎo)測試方法的流程圖;

圖4為第二路四線開爾文測試通道輸出信號(hào)時(shí)序的第一情況示意圖;

圖5為第二路四線開爾文測試通道輸出信號(hào)時(shí)序的第二情況例示意圖;

圖6為四線開爾文測試通道的內(nèi)部原理示意圖。

具體實(shí)施方式

下面參見圖1~圖6對(duì)本發(fā)明所述的場效應(yīng)管測試電路及測試方法進(jìn)行詳細(xì)說明。

所述場效應(yīng)管正向跨導(dǎo)測試電路包括與被測場效應(yīng)管的源極串聯(lián)連接的電流采樣電阻r。還包括三路四線開爾文測試通道,在圖1中對(duì)應(yīng)為vis-01、vis-02和vis-03。所述第一、第二路四線開爾文測試通道vis-01、vis-02設(shè)置為恒壓工作模式、第三路四線開爾文測試通道vis-03設(shè)置為電壓測量模式。

第一路四線開爾文測試通道vis-01的信號(hào)端fh和sh短接于被測場效應(yīng)管的漏極。

信號(hào)端sl連接于被測場效應(yīng)管的源極。

被測場效應(yīng)管的源極串聯(lián)一電流采樣電阻r后,連接于第一路四線開爾文測試通道vis-01的信號(hào)端fl。

上述連接方式使得第一路四線開爾文測試通道vis-01的信號(hào)端fh、fl與被測場效應(yīng)管的漏極、源極以及電流采樣電阻r構(gòu)成一個(gè)電流回路,通過信號(hào)端fh、fl提供被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間的電壓vds以及被測場效應(yīng)管的漏極電流id;vis-01通過其信號(hào)端sh和sl檢測被測場效應(yīng)管的漏極與源極電壓反饋調(diào)整其fh對(duì)fl的輸出電壓,由此可以補(bǔ)償傳輸回路中的壓降,保證被測場效應(yīng)管的漏極與源極電壓既為正向跨導(dǎo)測試條件所規(guī)定的vds。

可選的,所述電流采樣電阻r還可串聯(lián)于被測場效應(yīng)管的漏極,即第一路四線開爾文測試通道vis-01的信號(hào)端fh、fl與電流采樣電阻r、被測場效應(yīng)管的漏極以及源極構(gòu)成一個(gè)電流回路。

對(duì)于被測場效應(yīng)管的漏極電流id可通過第一路四線開爾文測試通道vis-01的檢測;或者也可通過在電流采樣電阻r兩端并聯(lián)一電壓表(未圖示),該電壓表用于測量電流采樣電阻r兩端的電壓,進(jìn)而通過歐姆定律可以得到流過電流采樣電阻r的電流,該電流實(shí)際上也就是被測場效應(yīng)管的漏極電流id;又或者還可通過在后文所述第二路四線開爾文測試通道vis-02兩端并聯(lián)一電壓表(未圖示),該電壓表測量第二路四線開爾文測試通道vis-02的輸出電壓,通過歐姆定律可以得到流過電流采樣電阻r的電流,即為漏極電流id。

第二路四線開爾文測試通道vis-02的信號(hào)端sh和fh短接后,串聯(lián)第一保護(hù)電阻r2的一端,第一保護(hù)電阻r2的另一端連接于一運(yùn)算放大器n1的同相輸入端。

所述電流采樣電阻r與被測場效應(yīng)管源極連接的一端串聯(lián)第二保護(hù)電阻r3后,連接于所述運(yùn)算放大器n1的反相輸入端。所述第二保護(hù)電阻r3的阻值與第一保護(hù)電阻r2的阻值相同。

所述運(yùn)算放大器n1的輸出端串聯(lián)第三保護(hù)電阻r1后,連接于被測場效應(yīng)管的柵極。

第二路四線開爾文測試通道vis-02的信號(hào)端fl和sl短接后,連接于所述電流采樣電阻r與第一路四線開爾文測試通道vis-01的信號(hào)端fl相連接的一端。

上述連接方式使得第二路四線開爾文測試通道vis-02的恒壓輸出通過運(yùn)算放大器n1驅(qū)動(dòng)被測場效應(yīng)管的柵極與源極之間的電壓、以及漏極電流的改變,運(yùn)算放大器n1得以檢測到與被測場效應(yīng)管串聯(lián)連接的電流采樣電阻r的電壓反饋,并將第二路四線開爾文測試通道vis-02的恒壓輸出與電流采樣電阻r的電壓反饋進(jìn)行比較。

可選的,上述第二路四線開爾文測試通道vis-02還可如圖2所示,采用電壓源替代。

第三路四線開爾文測試通道vis-03的信號(hào)端sh與被測場效應(yīng)管的柵極連接,第三路四線開爾文測試通道vis-03的信號(hào)端sl與被測場效應(yīng)管的源極連接。

上述連接方式使得第三路四線開爾文測試通道vis-03的信號(hào)端sh、sl測量被測場效應(yīng)管柵極與源極之間的電壓。

可選的,所述第三路四線開爾文測試通道vis-03還可采用一電壓表替代。

如圖3所示,本申請(qǐng)所述場效應(yīng)管測試電路的測試方法的第一實(shí)施例如:

步驟s10:第一路四線開爾文測試通道vis-01提供被測場效應(yīng)管漏極與源極之間的電壓。

第一路四線開爾文測試通道vis-01通過其輸出信號(hào)端fh和fl提供被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間的電壓,其采集信號(hào)端sh和sl檢測被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間的電壓,通過第一路四線開爾文測試通道vis-01內(nèi)部的電路反饋調(diào)節(jié)其輸出電壓,使被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間的電壓達(dá)到滿足測試條件的電壓值vds。

步驟s11:第二路四線開爾文測試通道vis-02提供被測場效應(yīng)管柵極與源極之間的電壓,以用于調(diào)控被測場效應(yīng)管的第一漏極電流id。

依據(jù)計(jì)算公式式中vvis-02表示第二路四線開爾文測試通道vis-02的恒壓輸出,r表示電流采樣電阻r的阻值,id表示gfs參數(shù)測試所需的第一漏極電流。由于r、id已知,因此可以確定第二路四線開爾文測試通道vis-02的恒壓輸出vvis-02。

當(dāng)?shù)诙匪木€開爾文測試通道vis-02輸出電壓vvis-02后,運(yùn)算放大器n1的輸出電壓會(huì)驅(qū)動(dòng)被測場效應(yīng)管的柵極與源極之間電壓改變,進(jìn)而驅(qū)動(dòng)被測場效應(yīng)管的漏極電流改變。

步驟s12:當(dāng)電路穩(wěn)定后,第一路四線開爾文測試通道vis-01測量被測場效應(yīng)管的第一漏極電流id,第三路四線開爾文測試通道vis-03測量被測場效應(yīng)管的第一柵極與源極之間的電壓vgs。

本步驟中,判斷電路穩(wěn)定由運(yùn)算放大器n1執(zhí)行,判斷原理為:所述第二路四線開爾文測試通道vis-02恒壓輸出電壓vvis-02至運(yùn)算放大器n1的同相輸入端,進(jìn)而驅(qū)動(dòng)被測場效應(yīng)管的柵極與源極之間的電壓改變(由0逐漸增大直至穩(wěn)定),從而使得被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間的電流改變,上述改變可參考附圖3、4。所述電流采樣電阻r將被測場效應(yīng)管的第一漏極電流id轉(zhuǎn)換為電壓vr后反饋到運(yùn)算放大器n1的反相輸入端,當(dāng)運(yùn)算放大器n1反相輸入端接收的電壓(vr)與其同相輸入端所接收的電壓(vvis-02)相等時(shí)即為電路穩(wěn)定。

電路穩(wěn)定后,被測場效應(yīng)管的漏極電流即為gfs參數(shù)測試所規(guī)定的第一漏極電流值id,由第一路四線開爾文測試通道vis-01測量。第三路四線開爾文測試通道vis-03用于測量被測場效應(yīng)管的柵極與源極之間的電壓vgs。

步驟s13:調(diào)整第二路四線開爾文測試通道vis-02的輸出電壓,以調(diào)控被測場效應(yīng)管的漏極電流為第二漏極電流i’d。

與步驟s11同理,依據(jù)計(jì)算公式式中v’vis-02表示調(diào)整后第二路四線開爾文測試通道vis-02的恒壓輸出,i’d表示gfs參數(shù)測試所規(guī)定的第二漏極電流值。

步驟s14:當(dāng)電路穩(wěn)定后,第一路四線開爾文測試通道vis-01測量第二漏極電流i’d,第三路四線開爾文測試通道vis-03測量被測場效應(yīng)管的第二柵極與源極之間的電壓v’gs。

與步驟s12同理,電流采樣電阻r將由輸出電壓v’vis-02所驅(qū)動(dòng)的被測場效應(yīng)管的第二漏極電流i’d轉(zhuǎn)換為電壓v’r,當(dāng)運(yùn)算放大器n1的反相輸入端所接收的電壓電壓(v’r)與其同相輸入端所接收的調(diào)整后電壓(v’vis-02)相等后,被測場效應(yīng)管的漏極電流即為gfs參數(shù)測試所規(guī)定的第二漏極電流值i’d,由第一路四線開爾文測試通道vis-01測量。第三路四線開爾文測試通道vis-03測得調(diào)整后的測量被測場效應(yīng)管的柵極-源極間的電壓v’gs。

步驟s15:基于正向跨導(dǎo)的計(jì)算公式計(jì)算被測場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)。

上述第一實(shí)施例中第二路四線開爾文測試通道vis-02的輸出信號(hào)時(shí)序的包括兩種情況。如圖4所示為第一種情況,其中,被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間的電壓vds保持穩(wěn)定,第二路四線開爾文測試通道vis-02的前后兩次輸出的恒壓之間設(shè)置一定時(shí)間間隔,用于調(diào)節(jié)施加漏極電流的占空比。上述設(shè)置時(shí)間間隔的目的在于被測場效應(yīng)管的瞬態(tài)功率較大,其結(jié)溫會(huì)升高,設(shè)置間隔時(shí)間可以有效避免其高溫的持續(xù)時(shí)間。

如圖5所示為第一實(shí)施例中第二路四線開爾文測試通道vis-02的輸出信號(hào)時(shí)序的第二種情況,與第種情況的區(qū)別在于:第二路四線開爾文測試通道vis-02的前后兩次輸出電壓連續(xù),且脈沖持續(xù)時(shí)間較短,由此可以在相對(duì)短的時(shí)間內(nèi)完成兩次漏極電流以及柵極與源極電壓的測量。

步驟s15:計(jì)算被測場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)。

基于正向跨導(dǎo)的計(jì)算公式便可以直接計(jì)算出被測場效應(yīng)管的正向跨導(dǎo)。

另外,本發(fā)明還提供另外一種測試方法的實(shí)施例,包括:

步驟s10,與第一實(shí)施例相同,不再贅述。

步驟s11’:控制第二路四線開爾文測試通道vis-02以調(diào)控被測場效應(yīng)管的漏極電流。

步驟s12’:第三路四線開爾文測試通道vis-03直接測量被測場效應(yīng)管的柵極與源極之間的電壓vgs。通過該電壓反應(yīng)被測場效應(yīng)管的夾斷電壓。所述夾斷電壓的物理意義與前述步驟s12和步驟s14中所述的被測場效應(yīng)管的柵極-源極間的電壓相同。

另外,本發(fā)明還提供測試方法的第三實(shí)施例,包括:

直接使用測試條件所規(guī)定的電流值計(jì)算gfs。舉例來說,假設(shè)現(xiàn)在需要在被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間的電壓vds=10v、第一漏極電流值id1=2a以及被測場效應(yīng)管的漏極與源極之間的電壓vds=10v、第二漏極電流值id2=1.5a這兩個(gè)條件下計(jì)算gfs,依據(jù)上述測量電路,實(shí)測得到兩個(gè)測試條件所對(duì)應(yīng)的被測場效應(yīng)管的第一柵極與源極電壓和第二柵極與源極電壓;然后將電流設(shè)定值2a、1.5a以及實(shí)測得到的第一、第二柵極與源極電壓代入gfs計(jì)算公式來得到gfs的測量結(jié)果。上述方法可以省略對(duì)于被測場效應(yīng)管漏極電流id的測量。

需要補(bǔ)充說明的是,在對(duì)被測場效應(yīng)管進(jìn)行正向跨導(dǎo)測試時(shí),被測場效應(yīng)管的瞬態(tài)功率較大,其結(jié)溫會(huì)升高,為了降低被測場效應(yīng)管結(jié)溫變化對(duì)測試的影響以及對(duì)被測場效應(yīng)管可能出現(xiàn)損壞,由此需要在測試過程中精確控制被測場效應(yīng)管漏極與源極之間電壓vds以及第一漏極電流id和第二漏極電流i’d的施加時(shí)間。如圖6所示,在所述第一、第二、第三路四線開爾文測試通道內(nèi)部增加具有可編程的邏輯控制模塊以及存儲(chǔ)單元,由此實(shí)現(xiàn)按照?qǐng)D4或圖5所示的脈沖方式輸出電壓vds、vvis-02、v’vis-02,從而可以精確的控制脈沖寬度。此外通過同步技術(shù),即控制多個(gè)四線開爾文測試通道輸出信號(hào)的時(shí)序。所述邏輯控制模塊通過四線開爾文測試通道的模數(shù)/數(shù)模接口(adc/dac)進(jìn)行通信,存儲(chǔ)單元與所述邏輯控制模塊通信連接。

進(jìn)一步的,在第一路四線開爾文測試通道vis-01的內(nèi)部,其信號(hào)端fl和sl之間、信號(hào)端fh和sh之間并聯(lián)有穩(wěn)壓二極管,用于防止fl和sl、fh與sh之間有較大的電壓差。由于所述電流采樣電阻r串聯(lián)在所述第一路四線開爾文測試通道vis-01的fl信號(hào)線中,因此會(huì)增加第一路四線開爾文測試通道vis-01的fl和sl之間的電壓差,因此在實(shí)際使用時(shí),需要避免在信號(hào)端fl的信號(hào)線中增加電流采樣電阻r后fl和sl之間的電壓差超過設(shè)計(jì)所允許的最大電壓差。

較佳的,在連接所述第一路四線開爾文測試通道vis-01的信號(hào)端fh、被測場效應(yīng)管的漏極、源極以及電流采樣電阻r所組成電流回路的導(dǎo)線為寬線徑導(dǎo)線,從而可以有效較低該電流回路的阻抗,避免傳輸導(dǎo)線上有較大的壓降。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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