技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種高穩(wěn)定性低濕度檢測的QCM濕度傳感器，包括壓電晶片、金屬電極和濕度敏感薄膜層；所述壓電晶片表面設(shè)有金屬電極，金屬電極表面設(shè)有濕度敏感薄膜層；其特征在于：所述金屬電極上設(shè)有至少一個孔洞。本發(fā)明QCM濕度傳感器的金屬電極具有孔洞結(jié)構(gòu)，可以在少量吸附水分子的條件下達到高靈敏度檢測低濕度；同時傳感器的穩(wěn)定性很高；并且成本低、濕度檢測范圍大、靈敏度高、響應(yīng)快、重復(fù)性好和制作工藝簡單，可以廣泛應(yīng)用于低濕度檢測和高精度濕度檢測領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：姚堯;李蠡;魏華;黃銚
受保護的技術(shù)使用者：成都信息工程大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.31
技術(shù)公布日：2017.10.24