技術總結
本實用新型屬于電化學沉積領域，并公開了一種用于電化學沉積的夾具和電化學沉積裝置。該夾具包括用于夾持生長基底的夾板、用于承載對電極的平板、用于安置參比電極的支撐件和底座，夾板和底座通過支柱固定在一起，平板通過支柱沿著第一方向可調節(jié)地安裝在夾板和底座之間，且夾板、平板和底座相互平行，所述支撐件設置在夾板和平板之間，其中在所述夾板上安裝有測溫探頭。該電化學沉積裝置包括電解池、上述夾具、電化學工作站、水浴恒溫系統、以及測溫表和可選的顯示終端，所述電解池用于放置所述夾具。采用本實用新型的電化學沉積裝置制備的材料的均勻性可以得到極大提升。

技術研發(fā)人員：湯洋;白安琪;郭邐達
受保護的技術使用者：神華集團有限責任公司;北京低碳清潔能源研究所
文檔號碼：201720033214
技術研發(fā)日：2017.01.11
技術公布日：2017.07.14