本實(shí)用新型涉及氣密性檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其指一種氣密性檢測設(shè)備。

背景技術(shù)：

目前，許多行業(yè)的產(chǎn)品對(duì)氣密性要求很高，氣密性達(dá)不到要求將直接影響其產(chǎn)品的使用性能，甚至?xí)斐砂踩鹿剩虼送ǔＰ枰M(jìn)行氣密性試驗(yàn)，現(xiàn)有的檢測氣密性的方法，以家用小家電中的果汁杯/水杯為例，是在產(chǎn)品中加入水，打開開關(guān)接通電源，自動(dòng)攪水60秒，然后取出放置在浸水測試區(qū)域，放置30分鐘，通過人工目測檢查果汁杯密封處是否漏水，而目測往往容易出現(xiàn)失誤，質(zhì)量無法保證，另外，測試完之后，人工清潔果汁杯內(nèi)水漬，工作量較大。另一種方法是在產(chǎn)品中注入空氣，放入水中看是否漏氣，這種方法使用廣泛，但精密性不足，還有一種方法，用燈光目視檢查，這種方法很難完全檢測出不良產(chǎn)品，對(duì)細(xì)小縫隙檢測不出來，檢測效率低下，現(xiàn)有技術(shù)中也有一些氣密性設(shè)備。

例如，中國專利文獻(xiàn)(公告號(hào)：CN105547610A)公開了一種氣密性試驗(yàn)機(jī)，該文獻(xiàn)具體公開了包括工作臺(tái)、動(dòng)力控制裝置、充氣氣缸、緊壓柱、吸氣孔、報(bào)警燈和氣壓顯示器的氣密性試驗(yàn)機(jī)，該試驗(yàn)機(jī)使用時(shí)將產(chǎn)品如杯子口部朝下固定于工作臺(tái)的檢測位置后，用緊壓柱壓緊杯底，通過工作臺(tái)檢測位置的吸氣口抽真空，使杯子內(nèi)部形成負(fù)壓，通過檢測杯子內(nèi)部的真空壓力數(shù)據(jù)，判斷杯子是否有裂縫漏氣，當(dāng)氣密性壓力不合格時(shí)可以自動(dòng)報(bào)警，然而，該氣密性試驗(yàn)機(jī)僅可檢測杯子是否漏氣，而不能判斷杯子漏氣的位置,該試驗(yàn)機(jī)每次僅可對(duì)一個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行試驗(yàn)，產(chǎn)品固定方式較復(fù)雜，且不能適用于多種規(guī)格的產(chǎn)品，另外，該試驗(yàn)機(jī)每次僅可對(duì)一個(gè)產(chǎn)品進(jìn)行試驗(yàn)，且杯口與工作臺(tái)之間的氣密性難以保證，可能會(huì)造成試驗(yàn)失敗或數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種氣密性檢測設(shè)備，提高產(chǎn)品氣密性的檢測效率，提高氣密性檢測的精度及準(zhǔn)確性。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種氣密性檢測設(shè)備，其作用于待檢測工件的兩側(cè)的第一待測部、第二待測部以進(jìn)行氣密性檢測；所述氣密性檢測設(shè)備包括：

機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)置用于支承待檢測工件的支承機(jī)構(gòu)；

壓緊機(jī)構(gòu)，所述壓緊機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述支承機(jī)構(gòu)一側(cè)的第一壓緊模塊，以及設(shè)置在所述支承機(jī)構(gòu)的另一側(cè)的第二壓緊模塊，所述第一壓緊模塊從所述支承機(jī)構(gòu)的一側(cè)壓緊待檢測工件的第一待測部，所述第二壓緊模塊從所述支撐機(jī)構(gòu)的另一側(cè)壓緊待檢測工件的第二待測部；所述第一壓緊模塊與所述第一待測部或所述第二壓緊模塊與所述第二待測部之間形成負(fù)壓腔，以及

氣密性檢測裝置，所述氣密性檢測裝置根據(jù)所述負(fù)壓腔的壓力檢測待檢測工件的氣密性，可以對(duì)待檢測工件的兩側(cè)進(jìn)行氣密性檢測，更精確的判斷待檢測工件的漏氣部位，固定方式便捷，固定后氣密性得以提升，可以適用于更多不同類型、不同形狀的產(chǎn)品的氣密性檢測。

作為優(yōu)選，所述第一壓緊模塊構(gòu)造為柔性結(jié)構(gòu)且與待檢測工件的第一待測部的形狀匹配，所述第二壓緊模塊構(gòu)造為柔性結(jié)構(gòu)且與待檢測工件的第二待測部的形狀匹配，適用于更多不同的產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)及形狀，適用范圍更廣。

作為優(yōu)選，所述機(jī)架包括連接為一體的上機(jī)架及下機(jī)架，所述壓緊機(jī)構(gòu)包括：

在所述上機(jī)架上固定的第一汽缸，所述第一汽缸的活塞桿伸出端可拆卸的設(shè)置所述第一壓緊模塊；以及

在所述下機(jī)架上固定第二汽缸，所述第二汽缸的活塞桿伸出端可拆卸的設(shè)置所述第二壓緊模塊；提高電氣化水平，提升控制精度及檢測效率。

作為優(yōu)選，所述支承機(jī)構(gòu)包括分度盤及驅(qū)動(dòng)分度盤步進(jìn)式轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，沿所述分度盤的旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置多個(gè)用于放置待檢測工件的工位，放置在工位上的待檢測工件通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)至壓緊機(jī)構(gòu)以進(jìn)行氣密性檢測，提升自動(dòng)化程度，提升檢測效率。

作為優(yōu)選，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括安裝至所述機(jī)架的凸輪分割器，所述分度盤的中心孔安裝至凸輪分割器的輸出軸，所述凸輪分割器驅(qū)動(dòng)分度盤旋轉(zhuǎn)，控制精度高，旋轉(zhuǎn)角度準(zhǔn)確，更易于壓緊機(jī)構(gòu)與待檢測工件之間的配合，提升檢測精度。

作為優(yōu)選，所述壓緊機(jī)構(gòu)具有多個(gè)且分別與所述分度盤的中心線一側(cè)的各工位一一對(duì)應(yīng)，可以同時(shí)檢測多個(gè)待檢測工件，提升檢測效率。

作為優(yōu)選，氣密性檢測裝置還包括在所述分度盤上對(duì)應(yīng)各工位分別設(shè)置的多個(gè)壓力傳感器，所述壓力傳感器用于檢測各工位上的待檢測工件的負(fù)壓腔的壓力，壓力傳感器的檢測精度高，提升氣密性檢測精度。

作為優(yōu)選，還包括可編程邏輯控制器以及與其連接的模數(shù)轉(zhuǎn)換器、顯示器，所述壓力傳感器與通過所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器與可編程邏輯控制器連接，實(shí)時(shí)顯示檢測數(shù)據(jù)，便于使用者及時(shí)得到檢測結(jié)果。

作為優(yōu)選，還包括在所述機(jī)架上設(shè)置的防護(hù)光柵，提升自動(dòng)化水平，提高檢測設(shè)備的安全系數(shù)。

作為優(yōu)選，所述氣密性檢測裝置包括用于對(duì)所述負(fù)壓腔抽真空的抽真空氣路，所述抽真空氣路包括：

真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器用于抽真空；

抽氣導(dǎo)管，所述抽氣導(dǎo)管的一端與所述真空發(fā)生器的吸氣口連接，所述抽氣導(dǎo)管的另一端穿過所述第一壓緊模塊或所述第二壓緊模塊上設(shè)置的通孔與所述負(fù)壓腔連通，所述抽氣導(dǎo)管中設(shè)置電磁開關(guān)閥以及泄壓閥；

導(dǎo)氣導(dǎo)管，所述導(dǎo)氣導(dǎo)管的一端與所述真空發(fā)生器的出氣口連接，所述導(dǎo)氣導(dǎo)管的另一端連接儲(chǔ)氣罐，所述導(dǎo)氣導(dǎo)管中設(shè)置電磁開關(guān)閥，通過抽真空氣路為負(fù)壓腔提供負(fù)壓，提升自動(dòng)化程度，儲(chǔ)氣罐可以保證氣路中的壓力穩(wěn)定，避免普通的抽真空氣路關(guān)閉時(shí)氣路中可能出現(xiàn)的壓力突然變化的情況，提升氣密性檢測的準(zhǔn)確性。

本實(shí)用新型進(jìn)一步提供一種氣密性檢測設(shè)備，其通過設(shè)置從待檢測產(chǎn)品的兩側(cè)壓緊產(chǎn)品的壓緊模塊，并從產(chǎn)品的兩個(gè)待測部分別形成負(fù)壓腔，從而可以更精確確定產(chǎn)品的漏氣的具體位置，提升產(chǎn)品氣密性檢測的準(zhǔn)確度，根據(jù)產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)的不同，可以根據(jù)需要更換相匹配的壓緊模塊，便于與產(chǎn)品之間形成負(fù)壓腔，適用范圍廣，實(shí)現(xiàn)了快速換膜，壓緊模具采用乳膠倒模成型，使產(chǎn)品與檢測設(shè)備之間的連接氣密性更好，且可以適用于多種不同種類的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例的立體圖；

圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例的局部結(jié)構(gòu)剖視圖；

圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例的分度盤的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例的另一方向的立體圖；

圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例的抽真空氣路的示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

1-機(jī)架 11-上機(jī)架 12-下機(jī)架 2-支承機(jī)構(gòu) 21-分度盤 22-工位 24-驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 3-壓緊機(jī)構(gòu) 31-第一壓緊模塊 32-第一汽缸 41-第二壓緊模塊 42-第二汽缸 5-氣密性檢測裝置 51-真空發(fā)生器 52-抽氣導(dǎo)管 53-導(dǎo)氣導(dǎo)管 54-電磁閥 55-儲(chǔ)氣罐 56-泄壓閥 57-壓力傳感器 58-顯示器 6-防護(hù)光柵 M-待檢測工件 M1-第一負(fù)壓腔 M2-第二負(fù)壓腔。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。

在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實(shí)用新型，但是本實(shí)用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實(shí)用新型不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。

其次，本實(shí)用新型結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)施例時(shí)，為便于說明，表示裝置結(jié)構(gòu)的剖面圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應(yīng)限制本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。

參照?qǐng)D1、圖2所示，本實(shí)施例提供一種氣密性檢測設(shè)備，包括機(jī)架1，所述機(jī)架1上設(shè)置支承機(jī)構(gòu)2、壓緊機(jī)構(gòu)3及氣密性檢測裝置5，所述支承機(jī)構(gòu)2用于支承待檢測工件M；所述壓緊機(jī)構(gòu)3包括設(shè)置在所述支承機(jī)構(gòu)2一側(cè)的第一壓緊模塊31，以及設(shè)置在所述支承機(jī)構(gòu)2的另一側(cè)的第二壓緊模塊41，所述第一壓緊模塊31從所述支承機(jī)構(gòu)2的一側(cè)壓緊待檢測工件M的第一待測部，所述第二壓緊模塊41從所述支撐機(jī)構(gòu)的另一側(cè)壓緊待檢測工件M的第二待測部；所述第一壓緊模塊31與所述第一待測部或所述第二壓緊模塊41與所述第二待測部之間形成負(fù)壓腔，所述氣密性檢測裝置5根據(jù)所述負(fù)壓腔的壓力檢測待檢測工件M的氣密性。

參照?qǐng)D2所示，本實(shí)施例中，待檢測工件M為果汁杯的杯體，該杯體具有上杯體及杯底，上杯體頂端開口，為了便于理解，圖2中夸大的示出了杯底與壓緊模塊之間形成的負(fù)壓腔，本實(shí)施例中，果汁杯的上杯體為所述第一待測部，其被所述第一壓緊模塊31壓緊并形成第一負(fù)壓腔M1,果汁杯的杯底為所述第二待測部，其被所述第二壓緊模塊41壓緊并形成第二負(fù)壓腔M2，通過檢測第一負(fù)壓腔M1或第二負(fù)壓腔M2的壓力，判斷果汁杯的上杯體或杯底是否漏氣，而不僅僅在于判斷果汁杯整體是否漏氣，例如，參照?qǐng)D2所示，當(dāng)?shù)谝粔壕o模塊31壓緊果汁杯的上杯體的上端開口，同時(shí)第二壓緊模塊41壓緊果汁杯的杯底部，此時(shí)，若需要檢測杯底部是否漏氣，則在對(duì)第一負(fù)壓腔M1進(jìn)行抽真空操作時(shí)，對(duì)第一負(fù)壓腔M1及第二負(fù)壓腔M2中的壓力進(jìn)行檢測，若杯底部漏氣，相當(dāng)于第一負(fù)壓腔M1與第二負(fù)壓腔M2連通，則第一負(fù)壓腔M1與第二負(fù)壓腔M2的壓力應(yīng)當(dāng)相同，若杯底部不漏氣，則第一負(fù)壓腔M1與第二負(fù)壓腔M2的壓力應(yīng)當(dāng)不相同，以此確定杯底部是否漏氣，當(dāng)需要檢測上杯體是否漏氣時(shí)，則僅由第一壓緊模塊31壓緊果汁杯的上杯體的上端開口，從而形成第一負(fù)壓腔M1，所述第二壓緊模塊41與杯底部不形成負(fù)壓腔，即使杯底部漏氣，也被第二壓緊模塊41，此時(shí)對(duì)第一負(fù)壓腔M1進(jìn)行抽真空操作，若第一負(fù)壓腔M1中的壓力不符合規(guī)定，則可以判斷上杯體漏氣，通過這樣的方式判斷杯子漏氣的位置，如某一批次的杯子易在杯底部漏氣，則可以對(duì)生產(chǎn)杯子的過程中相應(yīng)的工藝或設(shè)備的改進(jìn)提供參考。

本實(shí)施例中，通過第一壓緊模塊31壓緊及第二壓緊模塊41同時(shí)對(duì)待檢測工件M的兩側(cè)進(jìn)行壓緊，固定方式便捷，固定后氣密性得以提升，同時(shí)，由于可以從待檢測工件M的兩側(cè)進(jìn)行氣密性檢測，因此可以適用于更多不同類型、不同形狀的產(chǎn)品的氣密性檢測。

優(yōu)選的，上述實(shí)施例中，所述第一壓緊模塊31采用軟性材料成型為與待檢測工件M的第一待測部匹配的形狀，所述第二壓緊模塊41采用軟性材料成型為與待檢測工件M的第二待測部匹配的形狀，本實(shí)施例中，具體均為乳膠倒模成型，因此以適用于更多不同的產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)及形狀，適用范圍更廣。

優(yōu)選的，所述機(jī)架1包括連接為一體的上機(jī)架11及下機(jī)架12，所述壓緊機(jī)構(gòu)3包括在所述上機(jī)架11上固定的第一汽缸32，所述第一汽缸32的活塞桿伸出端可拆卸的設(shè)置所述第一壓緊模塊31；以及在所述下機(jī)架12上固定第二汽缸42，所述第二汽缸42的活塞桿伸出端可拆卸的設(shè)置所述第二壓緊模塊41。

本實(shí)施例中，通過氣動(dòng)執(zhí)行元件驅(qū)動(dòng)第一汽缸32從而帶動(dòng)第一壓緊模塊31對(duì)待檢測工件M的第一待測部壓緊，通過氣動(dòng)執(zhí)行元件驅(qū)動(dòng)第二汽缸42從而帶動(dòng)第二壓緊模塊41對(duì)待檢測工件M的第二待測部壓緊，提高電氣化水平，提升控制精度及檢測效率。

具體的，參照?qǐng)D1、圖3、圖4所示，本實(shí)施例中，所述支承機(jī)構(gòu)2包括分度盤21及驅(qū)動(dòng)分度盤21步進(jìn)式轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24，沿所述分度盤21的旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置多個(gè)用于放置待檢測工件M的工位22，放置在工位22上的待檢測工件M通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24驅(qū)動(dòng)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)至壓緊機(jī)構(gòu)3以進(jìn)行氣密性檢測，提升自動(dòng)化程度，提升檢測效率。

具體的，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24驅(qū)動(dòng)分度盤21步進(jìn)式轉(zhuǎn)動(dòng)，每次轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度，從而使工位22轉(zhuǎn)動(dòng)至檢測位置或裝卸料位置。所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24包括安裝至所述機(jī)架的凸輪分割器，本實(shí)施例中具體安裝至下機(jī)架12，所述分度盤21的中心孔安裝至凸輪分割器的輸出軸，本實(shí)施例中，所述凸輪分割器安裝至所述下機(jī)架12，所述分度盤21水平放置并受凸輪分割器的驅(qū)動(dòng)每次旋轉(zhuǎn)180°，通過這樣的方式，可以提升控制精度，由于凸輪分割器的分度旋轉(zhuǎn)角度十分準(zhǔn)確，因此更易于壓緊機(jī)構(gòu)3與待檢測工件M之間的配合，提升檢測精度，所述凸輪分割器也可以采用步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)電機(jī)或其他步進(jìn)式轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)替代，在此不一一贅述。

具體的，參照?qǐng)D3所示，本實(shí)施例中，所述分度盤21水平設(shè)置在所述機(jī)架1上，所述工位22在所述分度盤21上以旋轉(zhuǎn)中心設(shè)置六個(gè)，分度盤21每次轉(zhuǎn)動(dòng)180°時(shí)，六個(gè)工位22中的三個(gè)旋轉(zhuǎn)至分度盤21的一側(cè)，另外三個(gè)旋轉(zhuǎn)至分度盤21的另一側(cè)。

具體的，所述壓緊機(jī)構(gòu)3具有多個(gè)且分別與所述分度盤21的中心線一側(cè)的各工位22一一對(duì)應(yīng)，本實(shí)施例中，所述壓緊機(jī)構(gòu)3具有三個(gè)，三個(gè)壓緊機(jī)構(gòu)3分別于所述分度盤21的中心線一側(cè)的三個(gè)工位22一一對(duì)應(yīng)，以便于同時(shí)對(duì)三個(gè)工位22上放置的待檢測工件M進(jìn)行壓緊及氣密性檢測，可以同時(shí)檢測多個(gè)待檢測工件M，提升檢測效率。

工作時(shí)，分度盤21的六個(gè)工位22均可放置有待檢測工件M，三個(gè)壓緊機(jī)構(gòu)3對(duì)分度盤21一側(cè)的三個(gè)工位22待檢測工件M進(jìn)行氣密性檢測，檢測后，使用者可以從該側(cè)取下已檢測工件，然后，通過步進(jìn)式驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)24驅(qū)動(dòng)分度盤21旋轉(zhuǎn)180°，使分度盤21的另一側(cè)的三個(gè)工位22轉(zhuǎn)動(dòng)至三個(gè)壓緊機(jī)構(gòu)3下方以繼續(xù)進(jìn)行氣密性檢測，而使用者可以從分度盤21的另一側(cè)的繼續(xù)將未進(jìn)行氣密性檢測的工件安裝至工位22上，通過這樣的結(jié)構(gòu)，一次可以對(duì)多件產(chǎn)品進(jìn)行氣密性檢測，便于裝卸工件，提升了氣密性檢測的效率。

優(yōu)選的，參照?qǐng)D1所示，氣密性檢測裝置5還包括在所述分度盤21上對(duì)應(yīng)各工位22分別設(shè)置的多個(gè)壓力傳感器57，所述壓力傳感器57用于檢測各工位22上的待檢測工件M的負(fù)壓腔的壓力。

優(yōu)選的，還包括可編程邏輯控制器以及與其連接的模數(shù)轉(zhuǎn)換器、顯示器58，所述壓力傳感器57與通過所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器與可編程邏輯控制器連接，所述壓力傳感器57檢測的壓力數(shù)據(jù)通過模數(shù)轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換后傳輸至可編程邏輯控制器中，所述顯示器58與所述可編程邏輯控制器數(shù)據(jù)連接以實(shí)時(shí)顯示檢測數(shù)據(jù)。

優(yōu)選的，所述氣密性檢測設(shè)備還包括在所述機(jī)架1上設(shè)置的防護(hù)光柵6，在檢測過程中，防護(hù)光柵6根據(jù)情況向可編程邏輯控制器發(fā)送信號(hào)，由可編程邏輯控制器控制檢測設(shè)備的停止與啟動(dòng)，如防護(hù)光柵6感應(yīng)到產(chǎn)品后，可編程邏輯控制器控制檢測設(shè)備自動(dòng)進(jìn)行檢測。

優(yōu)選的，參照?qǐng)D5所示，所述氣密性檢測裝置5包括用于對(duì)所述負(fù)壓腔抽真空的抽真空氣路，抽真空氣路包括：真空發(fā)生器51、抽氣導(dǎo)管52及導(dǎo)氣導(dǎo)管53，所述真空發(fā)生器51用于抽真空；所述抽氣導(dǎo)管52的一端與所述真空發(fā)生器51的吸氣口連接，所述抽氣導(dǎo)管52的另一端穿過所述第一壓緊模塊31或所述第二壓緊模塊41上設(shè)置的通孔與待檢測工件M的負(fù)壓腔連通，本實(shí)施例中，所述第一壓緊模塊31上設(shè)置第一通孔33，抽氣導(dǎo)管52通過所述第一通孔33與所述第一負(fù)壓腔M1連通，以通過真空發(fā)生器51對(duì)第一負(fù)壓腔M1進(jìn)行抽真空，所述第二壓緊模塊41上設(shè)置第二通孔43，抽氣導(dǎo)管52也可以通過所述第二通孔43與所述第二負(fù)壓腔M2連通，以通過真空發(fā)生器51對(duì)第二負(fù)壓腔M2進(jìn)行抽真空，所述抽氣導(dǎo)管52中設(shè)置用于開/關(guān)氣路的電磁閥54以及泄壓閥56；所述導(dǎo)氣導(dǎo)管53的一端與所述真空發(fā)生器51的出氣口連接，所述導(dǎo)氣導(dǎo)管53的另一端連接儲(chǔ)氣罐55，所述導(dǎo)氣導(dǎo)管53中設(shè)置用于開/關(guān)氣路的電磁閥54。

本實(shí)施例中，具體工作時(shí)，在真空發(fā)生器51進(jìn)行抽真空的同時(shí)，抽氣導(dǎo)管52及導(dǎo)氣導(dǎo)管53中的電磁閥54打開，真空發(fā)生器51將壓緊模塊與待檢測工件M之間形成的負(fù)壓腔中的空氣抽出，從而形成負(fù)壓，當(dāng)達(dá)到一定壓力后，抽氣導(dǎo)管52及導(dǎo)氣導(dǎo)管53中的電磁閥54關(guān)閉，對(duì)負(fù)壓腔中的氣壓保持，然后通過氣密性檢測裝置5檢測待檢測工件M的氣密性，所述儲(chǔ)氣罐55用于提供緩沖的氣體，從而在真空發(fā)生器51、或抽氣導(dǎo)管52及導(dǎo)氣導(dǎo)管53中的電磁閥54開啟或關(guān)閉時(shí)穩(wěn)定抽真空氣路中的氣壓，通過抽真空氣路為負(fù)壓腔提供負(fù)壓，提升自動(dòng)化程度，儲(chǔ)氣罐55可以保證氣路中的壓力穩(wěn)定，避免普通的抽真空氣路關(guān)閉時(shí)氣路中可能出現(xiàn)的壓力突然變化的情況，提升氣密性檢測的準(zhǔn)確性。

上實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例，不用于限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。