技術(shù)總結(jié)
一種駐極體自驅(qū)動微碰撞壓力傳感器，本實(shí)用新型涉及智能硬件傳感技術(shù)領(lǐng)域；下金屬電極層的下部設(shè)有下柔性材料基底載體，下金屬電極層的上部設(shè)有下絕緣環(huán)形支撐架，下絕緣環(huán)形支撐架的內(nèi)部設(shè)有下絕緣環(huán)形支撐環(huán)空腔孔，下絕緣環(huán)形支撐架的上部設(shè)有駐極體薄膜電極，駐極體薄膜電極的上部設(shè)有駐極體薄膜，駐極體薄膜的上部設(shè)有上絕緣環(huán)形支撐架，上絕緣環(huán)形支撐架的內(nèi)部設(shè)有上絕緣環(huán)形支撐環(huán)空腔孔，上絕緣環(huán)形支撐架的上部設(shè)有上金屬電極層，上金屬電極層的上部設(shè)有上柔性材料基底載體。發(fā)出的電壓及電流相比其它原理高，更便于傳感器使用；充分利用器件結(jié)構(gòu)的空腔以及支撐架子的彈性，能夠極大提高器件的靈敏性。

技術(shù)研發(fā)人員：徐中林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市柔緯聯(lián)科技有限公司
文檔號碼：201720075204
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.19
技術(shù)公布日：2017.08.11