本實(shí)用新型屬于燈具性能檢測(cè)裝置領(lǐng)域，特別涉及一種UV機(jī)燈管照度檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

UV機(jī)是為可發(fā)射UV光線的設(shè)備總稱。UV機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括機(jī)身和機(jī)蓋，機(jī)蓋設(shè)置在機(jī)身上部，機(jī)蓋可以水平滑動(dòng)，機(jī)身內(nèi)部設(shè)置有可以發(fā)射UV光線的燈管。半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造、晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后的測(cè)試組成。塑封之后，還要進(jìn)行一系列操作，如后固化、切筋和成型、電鍍以及打印等工藝。晶圓制造過(guò)程中，需要對(duì)其進(jìn)行貼膠、切割和解膠，解膠時(shí)需要UV光線的照射，UV光線的照度直接影響了解膠的能力。目前，通常將照度計(jì)的探頭直接放置在UV機(jī)燈管前進(jìn)行照度測(cè)量，其不足之處在于：UV機(jī)燈管發(fā)出的光線是從不同方向射出的，照度計(jì)的探頭只能檢測(cè)到一個(gè)點(diǎn)的UV光線，測(cè)出的照度值精確度很低，而UV光線照度不精確會(huì)導(dǎo)致解膠困難，影響晶圓制造。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種UV機(jī)燈管照度檢測(cè)裝置，使其能更加準(zhǔn)確地檢測(cè)UV機(jī)燈管的照度，確保晶圓順利解膠。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種UV機(jī)燈管照度檢測(cè)裝置，包括由同軸設(shè)置的上圓盤(pán)和下圓盤(pán)組成的遮光體，上圓盤(pán)的直徑大于下圓盤(pán)的直徑，下圓盤(pán)的直徑與UV機(jī)圓形凹槽的內(nèi)徑相匹配，所述遮光體上沿上圓盤(pán)的一直徑方向等間隔排列設(shè)置有3個(gè)透光孔，每個(gè)透光孔均從上到下貫穿遮光體，所述透光孔由位于上方的大徑孔和位于下方的小徑孔組成，大徑孔和對(duì)應(yīng)小徑孔同軸設(shè)置，所述大徑孔內(nèi)放置有遮光蓋，所述遮光體上對(duì)應(yīng)每個(gè)透光孔均設(shè)置有壓線夾。

本實(shí)用新型使用時(shí)，先將UV機(jī)的的機(jī)蓋打開(kāi)，把遮光體的下圓盤(pán)放入U(xiǎn)V機(jī)的圓形凹槽中，拿掉其中一個(gè)透光孔內(nèi)的遮光蓋，將照度計(jì)的探頭放入透光孔內(nèi)，整理照度計(jì)的探頭線，使得探頭線徑直伸到UV機(jī)外，用壓線夾將探頭線固定在遮光體上，防止探頭線錯(cuò)位，蓋上UV機(jī)的機(jī)蓋，UV機(jī)燈管開(kāi)始照射，記下照度計(jì)屏幕顯示的最大值L₁；然后打開(kāi)機(jī)蓋重復(fù)上述步驟，將照度計(jì)的探頭分別放入其余2個(gè)透光孔內(nèi)，用照度計(jì)分別測(cè)出其余兩個(gè)透光孔的照度值L₂和L₃，取L₁、L₂和L₃中的最小值，即為UV機(jī)燈管的照度值。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：通過(guò)分別測(cè)量3個(gè)透光孔處的照度值，檢測(cè)點(diǎn)更多，更具有代表性，提高了UV機(jī)燈管照度的檢測(cè)精確度，確保UV機(jī)能順利將晶圓解膠。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，位于中間的所述透光孔設(shè)置在上圓盤(pán)的中心位置。該技術(shù)方案使得檢測(cè)到的中間透光孔的照度為UV機(jī)燈管中心處的照度 ，更具有代表性，進(jìn)一步提高檢測(cè)到的UV機(jī)燈管照度的精確度。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述遮光體上沿上圓盤(pán)的另一直徑方向也等間隔排列設(shè)置有3個(gè)透光孔。檢測(cè)人員可以檢測(cè)遮光體不同直徑方向的照度值，檢測(cè)點(diǎn)范圍更多，進(jìn)一步提高檢測(cè)到的UV機(jī)燈管照度的精確度。

為了便于移動(dòng)遮光蓋，所述遮光蓋上設(shè)置有提拉桿，提拉桿的上端設(shè)置有壓線帽。壓線帽將照度計(jì)的探頭線壓在下面，避免UV機(jī)蓋關(guān)閉時(shí)壓住探頭線。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1中的AA向剖視圖。

圖3為壓線夾的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為UV機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為本實(shí)用新型使用時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，1遮光體，1a上圓盤(pán)，1b下圓盤(pán)，2UV機(jī)，2a機(jī)蓋，3圓形凹槽，4透光孔，4a大徑孔，4b小徑孔，5遮光蓋，5a提拉桿，5b壓線帽，6壓線夾，7照度計(jì)，7a探頭，7b探頭線 。

具體實(shí)施方式

如圖1-5，為一種UV機(jī)燈管照度檢測(cè)裝置，包括由同軸設(shè)置的上圓盤(pán)1a和下圓盤(pán)1b組成的遮光體1，上圓盤(pán)1a的直徑大于下圓盤(pán)1b的直徑，下圓盤(pán)1b的直徑與UV機(jī)2圓形凹槽3的內(nèi)徑相匹配，遮光體1上沿上圓盤(pán)1a的一直徑方向等間隔排列設(shè)置有3個(gè)透光孔4，位于中間的透光孔4設(shè)置在上圓盤(pán)1a的中心位置；每個(gè)透光孔4均從上到下貫穿遮光體1，透光孔4由位于上方的大徑孔4a和位于下方的小徑孔4b組成，大徑孔4a和對(duì)應(yīng)小徑孔4b同軸設(shè)置，大徑孔4a內(nèi)放置有遮光蓋5，遮光蓋5上設(shè)置有提拉桿5a，提拉桿5a的上端設(shè)置有壓線帽5b；遮光體1上對(duì)應(yīng)每個(gè)透光孔4均設(shè)置有壓線夾6。遮光體1上沿上圓盤(pán)1a的另一直徑方向也等間隔排列設(shè)置有3個(gè)透光孔4。

使用時(shí)，先將UV機(jī)2的的機(jī)蓋2a打開(kāi)，把遮光體1的下圓盤(pán)1b放入U(xiǎn)V機(jī)2的圓形凹槽3中，拿掉其中一個(gè)透光孔4內(nèi)的遮光蓋5，將照度計(jì)7的探頭7a放入透光孔4內(nèi)，整理照度計(jì)7的探頭線7b，使得探頭線7b徑直伸到UV機(jī)2外，用壓線夾6將探頭線7b固定在遮光體1上，防止探頭線7b錯(cuò)位，蓋上UV機(jī)2的機(jī)蓋2a，UV機(jī)2燈管開(kāi)始照射，記下照度計(jì)7屏幕顯示的最大值L₁；然后打開(kāi)機(jī)蓋2a重復(fù)上述步驟，將照度計(jì)7的探頭7a分別放入其余2個(gè)透光孔4內(nèi)，用照度計(jì)7分別測(cè)出其余兩個(gè)透光孔4的照度值L₂和L₃，取L₁、L₂和L₃中的最小值，即為UV機(jī)燈管的照度值。本裝置的優(yōu)點(diǎn)在于：通過(guò)分別測(cè)量3個(gè)透光孔處的照度值，檢測(cè)點(diǎn)更多，更具有代表性，提高了UV機(jī)燈管照度的檢測(cè)精確度，確保UV機(jī)能順利將晶圓解膠。

本實(shí)用新型并不局限于上述實(shí)施例，在本實(shí)用新型公開(kāi)的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)所公開(kāi)的技術(shù)內(nèi)容，不需要?jiǎng)?chuàng)造性的勞動(dòng)就可以對(duì)其中的一些技術(shù)特征作出一些替換和變形，這些替換和變形均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。