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自驅(qū)動傳感器的制作方法

文檔序號:11755003閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述自驅(qū)動傳感器包括:載體、駐極體、下電極以及上電極;所述載體設(shè)有空腔,所述下電極設(shè)有與所述空腔的腔壁連接的結(jié)合部,所述結(jié)合部容置于所述空腔內(nèi),所述下電極中除所述結(jié)合部之外的部分位于所述載體上方;

所述駐極體設(shè)置于所述下電極的上方,且與所述下電極之間設(shè)有第一絕緣部;所述上電極設(shè)置于所述駐極體的上方,且與所述駐極體之間設(shè)有第二絕緣部;

所述下電極及上電極的一端分別通過傳輸導線與輸出模塊連接。

2.如權(quán)利要求1所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述駐極體以及所述第二絕緣部之間設(shè)有輔助電極。

3.如權(quán)利要求2所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述第一絕緣部以及所述第二絕緣部均為絕緣支撐架。

4.如權(quán)利要求1所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述駐極體包括經(jīng)過高壓電暈極化的駐極體薄膜,所述駐極體薄膜中電極的厚度范圍為2nm-3μm。

5.如權(quán)利要求1所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述載體的材料為彈性材料。

6.如權(quán)利要求5所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述載體的厚度范圍為0.1mm-8mm、寬度范圍為0.5cm-6cm、長度范圍為0.5cm-6cm。

7.如權(quán)利要求1所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述上電極的上方設(shè)置有硬質(zhì)載體。

8.如權(quán)利要求7所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述硬質(zhì)載體的寬度范圍為0.5cm-6cm、長度范圍為0.5cm-6cm。

9.如權(quán)利要求1至8任一項所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述輸出模塊包括顯示單元和/或信號發(fā)送單元。

10.如權(quán)利要求9所述的自驅(qū)動傳感器,其特征在于,所述自驅(qū)動傳感器還包括與所述信號發(fā)送單元連接的計數(shù)模塊,所述計數(shù)模塊根據(jù)所述信號發(fā)送單元輸出的電信號進行計數(shù)操作。

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