本實(shí)用新型涉及一種探針的保護(hù)系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

為提高半導(dǎo)體器件的封裝良率，一般在芯片封裝前需要利用探針臺(tái)進(jìn)行電特性的測(cè)試篩選，剔除掉不合格產(chǎn)品?，F(xiàn)有使用較為普遍的探針臺(tái)是在大氣環(huán)境下進(jìn)行測(cè)試的，探針臺(tái)上的探針與芯片直接接觸通過壓點(diǎn)進(jìn)行電氣傳導(dǎo)測(cè)試。由于探針在測(cè)試過程中是裸露在空氣中的，容易發(fā)生氧化，特別是在大電流下進(jìn)行測(cè)試，受高溫影響氧化現(xiàn)象嚴(yán)重，甚至出現(xiàn)針尖起球、燒黑和變形等等，進(jìn)而影響到芯片測(cè)試的良品率和準(zhǔn)確性，探針氧化降低芯片測(cè)試的良品率，增加測(cè)試成本，更換氧化的探針又進(jìn)一步增加測(cè)試的成本。因此，有部分探針臺(tái)開始采用在保護(hù)氣體的環(huán)境下測(cè)試，來避免探針的氧化?，F(xiàn)有的帶保護(hù)氣體的探針臺(tái)主要采用將保護(hù)氣體直接輸送到探針測(cè)試端，使測(cè)試工位四周充滿保護(hù)氣體，保護(hù)氣體通過手動(dòng)單一開關(guān)控制，處于常開或常關(guān)狀態(tài)，這種控制方式有一定的弊端：要么測(cè)試時(shí)忘記打開保護(hù)氣體開關(guān)，使探針得不到保護(hù)；要么保護(hù)氣體始終處于通氣狀態(tài)，即使在測(cè)試停止后保護(hù)氣體仍在消耗，令保護(hù)氣體資源無效浪費(fèi)以及測(cè)試成本無法有效降低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

基于上述原因，本實(shí)用新型提供一種探針的保護(hù)系統(tǒng)，既能令探針在測(cè)試時(shí)得到保護(hù)，又能有效利用資源防止浪費(fèi)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為：

一種探針的保護(hù)系統(tǒng)，包括探針臺(tái)和保護(hù)氣體發(fā)生裝置，保護(hù)氣體發(fā)生裝置通過輸送管道將保護(hù)氣體輸送至探針臺(tái)上的探針測(cè)試端，在輸送管道上安裝有電磁閥，電磁閥的電源線連接外部電源，電磁閥的信號(hào)線連接探針臺(tái)上測(cè)試吸盤的真空信號(hào)輸出端。

所述保護(hù)氣體發(fā)生裝置與電磁閥之間的輸送管道上安裝有流量計(jì)。

所述流量計(jì)采用LZB-6WB的玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)。

所述電磁閥采用型號(hào)為030e1-psl的電磁閥。

所述保護(hù)氣體發(fā)生裝置中的保護(hù)氣體采用氮?dú)狻?/p>

本實(shí)用新型提供的探針的保護(hù)系統(tǒng)，采用電磁閥自動(dòng)控制保護(hù)氣體的通斷，利用探針臺(tái)上測(cè)試吸盤的真空信號(hào)作為電磁閥的開關(guān)信號(hào)輸入，可以實(shí)現(xiàn)探針測(cè)試與保護(hù)氣體輸送開關(guān)的同步控制，既達(dá)到了有效保護(hù)探針防止氧化的目的，又避免了保護(hù)氣體的浪費(fèi)，使測(cè)試成本可以進(jìn)一步降低。

以下通過附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步闡述。

附圖說明：

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式：

如圖1所示，本實(shí)用新型提供的一種探針的保護(hù)系統(tǒng)，是將保護(hù)氣體氮?dú)廨斔椭撂结樑_(tái)上探針的測(cè)試端，使探針在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下進(jìn)行測(cè)試，避免引起氧化，即將氮?dú)獍l(fā)生裝置1通過輸送管道4進(jìn)行連接，使氮?dú)獾某隹诙宋挥谔结樑_(tái)上測(cè)試吸盤的上方。為了能夠調(diào)節(jié)氮?dú)獾牧髁看笮?，在輸送管?上安裝LZB-6WB的玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)3， 通過調(diào)節(jié)流量計(jì)3來控制氮?dú)獾妮敵隽髁看笮?。本?shí)用新型改變傳統(tǒng)采用手動(dòng)單一開關(guān)控制氮?dú)馔〝嗟姆绞剑诹髁坑?jì)3與氮?dú)獬隹诙酥g的輸送管道4上加裝了一個(gè)型號(hào)為030e1-psl的電磁閥2，將電磁閥2的電源線5與外部24V直流電源連接，將電磁閥2的信號(hào)線6與探針臺(tái)上測(cè)試吸盤的真空信號(hào)輸出端連接，利用測(cè)試吸盤的真空信號(hào)輸出控制電磁閥2的開關(guān)，實(shí)現(xiàn)探針測(cè)試與氮?dú)獾耐〝啾３滞剑行П苊饬瞬粶y(cè)試時(shí)氮?dú)赓Y源的浪費(fèi)。

本實(shí)用新型采用030e1-psl的電磁閥2，其響應(yīng)時(shí)間小于20ms，電磁閥2的動(dòng)作時(shí)間遠(yuǎn)小于探針臺(tái)完成單次測(cè)試的時(shí)間，因此并不影響正常的測(cè)試速度。當(dāng)探針臺(tái)的測(cè)試吸盤上放置有晶圓片時(shí)，測(cè)試吸盤被抽真空將晶圓片吸住，此時(shí)真空信號(hào)端輸出低電平0v給電磁閥2，電磁閥2打開，氮?dú)鈴牡獨(dú)獍l(fā)生裝置1中被輸送至探針測(cè)試端從而對(duì)探針進(jìn)行保護(hù)；當(dāng)測(cè)試完成將測(cè)試吸盤上的晶圓片取走后，測(cè)試吸盤上無晶圓片放置，則測(cè)試吸盤沒有吸力，真空信號(hào)端輸出的控制電壓為高電平24v，電磁閥2為關(guān)閉狀態(tài)，氮?dú)獠⒉荒芡ㄟ^電磁閥2被輸送出去，因此可以在非測(cè)試期間自動(dòng)斷開氮?dú)獾墓?，有效避免了氮?dú)獾倪^度浪費(fèi)，節(jié)約了資源，也使得測(cè)試成本得以降低。

本實(shí)用新型通過探針臺(tái)上測(cè)試吸盤的真空信號(hào)來控制氮?dú)獾耐〝噍斔停ＷC了晶圓片測(cè)試時(shí)通氣，非測(cè)試時(shí)停氣，無需人工手動(dòng)控制，比傳統(tǒng)單一手動(dòng)開關(guān)控制更加安全可靠。

以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案所做的其他修改或者等同替換，只要不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神和范圍，均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍中。