1.一種場致電子發(fā)射測試裝置,其特征在于:包括真空腔室、真空連接機構、陽極部分和陰極部分;
所述真空腔室為圓筒型,頂部中心設置有法蘭,側壁設置有第一連接口,所述第一連接口與真空連接機構連接,所述真空腔室的側壁靠近底部位置設置有若干觀察窗;
所述陽極部分設置在真空腔室的上部,包括操作桿、控制器和陽極,所述操作桿安裝在真空腔室頂部法蘭中心,所述控制器安裝在操作桿上位于真空腔室的外側,所述陽極連接在操作桿的下端;
所述陰極部分包括繞真空腔室底部中心圓周設置的若干樣品臺、與樣品臺一一對應連接的接線柱,所述樣品臺之間設置有絕緣擋板進行分隔,所述接線柱穿過真空腔室底部并與外部導線連接,所述樣品臺包括固定支座和樣品架,所述樣品臺與真空腔室側壁的觀察窗位置相對應。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種場致電子發(fā)射測試裝置,其特征在于:所述真空連接機構為一個真空四通管,其中一個端口連接所述真空腔室的第一連接口,其余端口分別連接真空閥門,真空計和真空波紋管。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種場致電子發(fā)射測試裝置,其特征在于:所述操作桿包括第一豎桿、第一橫桿和第二豎桿,所述第一豎桿安裝在法蘭中心,所述第二豎桿的軸心在所述樣品臺中心所在圓周的豎直面上,所述陽極固定在第二豎桿的底端。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種場致電子發(fā)射測試裝置,其特征在于:所述樣品臺的固定支座上有兩個定位銷,所述樣品架底面有兩個定位孔,固定支座的定位銷與樣品架的定位孔位置對應并能緊密配合連接,所述樣品架采用絕緣材料,所述樣品架上表面設置有銅片,所述銅片通過緊固螺釘連接在樣品架上。
5.根據(jù)權利要求1或3所述的一種場致電子發(fā)射測試裝置,其特征在于:所述操作桿末端設有螺紋,所述陽極通過螺紋與操作桿連接,所述陽極的幾何中心與樣品臺中心共軸。
6.根據(jù)權利要求1或3所述的一種場致電子發(fā)射測試裝置,其特征在于:所述控制器控制操作桿進行旋轉和上下移動。