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一種拉曼光譜面成像設(shè)備的制作方法

文檔序號:11316454閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,包括激光產(chǎn)生裝置、濾光裝置以及面陣檢測器,所述激光產(chǎn)生裝置發(fā)出的激光光束以面照明的方式照射到樣品表面的預(yù)設(shè)區(qū)域,所述樣品在所述激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光入射到所述濾光裝置,經(jīng)所述濾光裝置選通后成像到所述面陣檢測器,被所述面陣檢測器接收,其中,所述激光產(chǎn)生裝置的輸出波長可調(diào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,所述濾光裝置包括帶通濾光片和法布里-珀羅干涉器,所述法布里-珀羅干涉器設(shè)置于所述帶通濾光片與所述面陣檢測器之間,所述樣品在所述激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光入射到所述帶通濾光片,經(jīng)所述帶通濾光片的選通后入射到所述法布里-珀羅干涉器,由所述法布里-珀羅干涉器出射后成像到所述面陣檢測器,其中,所述法布里-珀羅干涉器的自由光譜范圍大于所述帶通濾光片帶通寬度的一半。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,所述帶通濾光片為窄帶濾光片。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,入射到所述窄帶濾光片的拉曼散射光的入射角可調(diào)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,所述帶通濾光片為固定中心波長的帶通濾光片。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,所述濾光裝置還包括長通濾光片,所述樣品在所述激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光依次經(jīng)所述長通濾光片、所述帶通濾光片、所述法布里-珀羅干涉器后成像到所述面陣檢測器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,所述激光產(chǎn)生裝置包括可調(diào)諧激光器以及擴(kuò)束鏡,所述可調(diào)諧激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)所述擴(kuò)束鏡的擴(kuò)束后照射到所述樣品表面,所述面照明的方式為科勒式或臨界式或散焦形式的面照明方式。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,所述拉曼光譜面成像設(shè)備還包括會(huì)聚透鏡以及物鏡,所述可調(diào)諧激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)所述擴(kuò)束鏡的擴(kuò)束后,依次經(jīng)過所述會(huì)聚透鏡和所述物鏡后照射到所述樣品表面。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,所述拉曼光譜面成像設(shè)備還包括二向色鏡,所述激光產(chǎn)生裝置發(fā)出的激光光束入射到所述二向色鏡,經(jīng)所述二向色鏡反射后照射到樣品表面的預(yù)設(shè)區(qū)域,所述樣品在所述激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光入射到所述二向色鏡,透過所述二向色鏡后入射到所述濾光裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉曼光譜面成像設(shè)備,其特征在于,所述激光產(chǎn)生裝置的輸出波長連續(xù)可調(diào)。

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