本公開涉及測(cè)定被加工物的加工面的表面粗糙度的加工裝置。

背景技術(shù)：

1、以往，公知有對(duì)對(duì)象物進(jìn)行加工并測(cè)定加工后的對(duì)象物的加工面的表面狀態(tài)的加工裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。在該專利文獻(xiàn)1所公開的加工裝置中，使用觸式探針在加工裝置的機(jī)器上測(cè)定表面狀態(tài)。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1：日本特開2018-36083號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的課題

2、這里，在專利文獻(xiàn)1所公開的接觸式即觸式探針方式中，能夠進(jìn)行高精度的機(jī)器上測(cè)定。但是，在該觸式探針方式中，加工物表面損傷，此外，觸式探針的末端的r的尺寸存在限制。

3、本公開是為了解決上述這種課題而完成的，其目的在于，提供能夠在加工裝置的機(jī)器上以非接觸的方式測(cè)定被加工物的表面粗糙度的加工裝置。

4、用于解決課題的手段

5、本公開的加工裝置的特征在于，其具有：加工部，其對(duì)被加工物的加工面進(jìn)行加工；以及光傳感器部，其測(cè)定由加工部加工后的被加工物的加工面的表面粗糙度，光傳感器部具有：頻率掃描光輸出部，其輸出頻率掃描光；光分支部，其將由頻率掃描光輸出部輸出的頻率掃描光分支成參照光和照射光；傳感器頭部，其朝向由加工部加工后的被加工物的加工面照射由光分支部得到的照射光，接收由該加工面反射的反射光；光干涉部，其根據(jù)由光分支部得到的參照光和由傳感器頭部接收的反射光，生成該參照光與該反射光的干涉光并將該干涉光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器，其將由光干涉部得到的電信號(hào)從模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)；距離信息計(jì)算部，其根據(jù)由模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器得到的數(shù)字信號(hào)，計(jì)算與從傳感器頭部的末端到由加工部加工后的被加工物的加工面的距離有關(guān)的信息；以及粗糙度測(cè)定部，其根據(jù)距離信息計(jì)算部的計(jì)算結(jié)果，測(cè)定由加工部加工后的被加工物的加工面的表面粗糙度。

6、發(fā)明效果

7、根據(jù)本公開，如上述那樣構(gòu)成，因此，能夠在加工裝置的機(jī)器上以非接觸的方式測(cè)定被加工物的表面粗糙度。

技術(shù)特征：

1.一種加工裝置，其具有：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加工裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
具有：頻率掃描光輸出部(421)，其輸出頻率掃描光；光分支部(422)，其將由頻率掃描光輸出部(421)輸出的頻率掃描光分支成參照光和照射光；傳感器頭部(41)，其朝向加工后的被加工物(10)的加工面(101)照射由光分支部(422)得到的照射光，接收基于加工面(101)的反射光；光干涉部(423)，其根據(jù)由光分支部(422)得到的參照光和由傳感器頭部(41)接收的反射光，生成該參照光與該反射光的干涉光并將該干涉光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)；A/D轉(zhuǎn)換器(424)，其將由光干涉部(423)得到的電信號(hào)從模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)；距離信息計(jì)算部(425)，其根據(jù)由A/D轉(zhuǎn)換器(424)得到的數(shù)字信號(hào)，計(jì)算與從傳感器頭部(41)的末端到加工后的被加工物(10)的加工面(101)的距離有關(guān)的信息；以及粗糙度測(cè)定部(426)，其根據(jù)距離信息計(jì)算部(425)的計(jì)算結(jié)果，測(cè)定加工后的被加工物(10)的加工面(101)的表面粗糙度。

技術(shù)研發(fā)人員：后藤?gòu)V樹
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三菱電機(jī)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2