本申請涉及探針臺的，尤其是涉及一種探針臺的雙腔檢測裝置。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體材料的制作過程中，檢測是十分重要的步驟，探針臺可吸附多種規(guī)格半導(dǎo)體材料，并提供多個可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。

2、目前探針臺通常將測試裝置、探針臺及移動裝置放于同一個腔室內(nèi)，實用新型專利公告號cn220137196u公開了一種晶圓測試探針臺升降機構(gòu)，包括樣品臺、驅(qū)動裝置、卡盤及測試裝置，所述樣品臺內(nèi)部底部設(shè)置有驅(qū)動裝置，驅(qū)動裝置頂部設(shè)置有卡盤，樣品臺內(nèi)部頂部設(shè)置有測試裝置，樣品臺左側(cè)外表面設(shè)置有控制面板，驅(qū)動裝置內(nèi)部設(shè)置有支撐柱，支撐柱內(nèi)部底部設(shè)置有電機，電機頂部設(shè)置有轉(zhuǎn)動軸，轉(zhuǎn)動軸外表面設(shè)置有螺紋，轉(zhuǎn)動軸頂部設(shè)置有底桿，底桿頂部設(shè)置有伸縮桿，卡盤頂部設(shè)置有放置盤，放置盤左右兩側(cè)各設(shè)置有擋板，測試裝置底部設(shè)置有連接桿，連接桿底部設(shè)置有探針卡，探針卡底部左右兩側(cè)設(shè)置有紅外發(fā)光二極管；由于驅(qū)動裝置和測試裝置都需要電力推動運行，而電力的電磁輻射會對半導(dǎo)體材料的測試造成影響，導(dǎo)致測試出現(xiàn)偏差，不利于保障半導(dǎo)體材料性能。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了解決探針臺的驅(qū)動和測試設(shè)備對半導(dǎo)體材料測試造成影響，本申請?zhí)峁┝艘环N探針臺的雙腔檢測裝置。

2、本申請?zhí)峁┑囊环N探針臺的雙腔檢測裝置采用如下的技術(shù)方案：

3、一種探針臺的雙腔檢測裝置，包括：

4、腔體，設(shè)有可開關(guān)的送料門；

5、隔離板，隔離板將腔體分隔為器件腔及機械腔，送料門連通器件腔和外界，隔離板上開設(shè)有連接口；

6、移動測試裝置，包括移動桿及卡盤，移動測試裝置的機體設(shè)于機械腔內(nèi)，移動桿穿過連接口，卡盤連接移動桿，用于放置測試半導(dǎo)體材料，能夠受移動桿控制從送料門中伸出。

7、通過采用上述技術(shù)方案，通過使用隔離板將腔體分為兩部分，使移動測試裝置和測試空間分別位于機械腔和器件腔兩個不同的區(qū)域，從而避免移動測試裝置運行過程中發(fā)出的電磁輻射對器件腔內(nèi)進行的半導(dǎo)體材料檢測造成干擾，從而有利于半導(dǎo)體材料在器件腔中能被準確測試，有利于保障半導(dǎo)體材料質(zhì)量的同時避免檢測誤差造成的良品浪費；連接口使移動測試裝置的移動桿能夠伸入器件腔內(nèi)，使卡盤能夠在器件腔內(nèi)被移動，并且移動桿還能夠用于連接測試探針，使移動測試裝置能夠通過移動桿，測試位于卡盤上的待測半導(dǎo)體材料；送料門用于供卡盤伸出腔體，使卡盤能夠在腔體外進行半導(dǎo)體材料的安裝和拆取，使半導(dǎo)體材料檢測過程更為方便。

8、可選的，腔體為長方體，隔離板將腔體分隔為上下兩部分，器件腔位于機械腔上方。

9、通過采用上述技術(shù)方案，由于移動測試裝置重量較大，因此設(shè)于位于下方的機械腔能夠使探針臺的整體更為穩(wěn)定，并且由于半導(dǎo)體材料在檢測過程中會處于高壓或真空狀態(tài)，將機械腔設(shè)于腔體下方，使腔體和隔離板不必承受過大的壓力，避免腔體和隔離板損壞。

10、可選的，送料門設(shè)于腔體的殼體的上表面，送料門的中軸線和連接口的中軸線重合。

11、通過采用上述技術(shù)方案，由于移動測試裝置的移動桿通過連接口移動卡盤，使送料門和連接口的中軸線重合，移動桿只需垂直移動即可將卡盤送出送料門，或?qū)⒖ūP收入器件腔中，使探針臺的測試更為方便。

12、可選的，送料門包括封閉門板和門板滑軌，腔體在送料門處開設(shè)有門板空槽，以供封閉門板在腔體內(nèi)滑動，門板軌道設(shè)于腔體外側(cè)，用于移動封閉門板。

13、通過采用上述技術(shù)方案，將封閉門板通過門板空槽鑲嵌于腔體內(nèi)，能夠使門板通過在門板空槽內(nèi)滑動完成送料門的開關(guān)，無需占用額外空間的同時，使送料門的開關(guān)操作更為方便，能夠通過設(shè)于腔體外側(cè)的門板滑軌，在腔體外部對封閉門板進行移動，使操控封閉門板更為方便。

14、可選的，器件腔內(nèi)還設(shè)有溫度傳感器和濕度傳感器，用于監(jiān)控器件腔的溫度和濕度。

15、通過采用上述技術(shù)方案，半導(dǎo)體材料檢測中對于溫度和濕度都有較為嚴苛的要求，因此通過溫度傳感器和濕度傳感器實時監(jiān)控器件腔內(nèi)的溫度和濕度，能夠保障半導(dǎo)體材料檢測中環(huán)境適合，有利于保障檢測的準確。

16、可選的，器件腔設(shè)有器件腔氣口，機械腔設(shè)有機械腔氣口。

17、通過采用上述技術(shù)方案，半導(dǎo)體材料檢測過程中，會有低溫、高壓、真空或惰性氣氛等環(huán)境需求，通過器件腔氣口連接制冷裝置，向器件腔中通入冷凍氣體，或通過充氣、抽氣或通入惰性氣體，使器件腔能夠營造不同的環(huán)境，增加探針臺的適用性；而機械腔中的移動測試裝置通常需要干燥的工作環(huán)境，因此需要通過機械腔氣口向機械腔內(nèi)通入干燥空氣，保障移動測試裝置的正常運作。

18、可選的，卡盤和移動桿連接處設(shè)有膠圈。

19、通過采用上述技術(shù)方案，由于移動桿從連接口處從器件腔延伸至機械腔，因此連接口處會存在氣體泄漏的情況，在移動桿將卡盤收入器件腔的測試位置時，卡盤覆蓋在連接口表面，卡盤和移動桿的連接處正好處于連接口的位置，因此通過在卡盤和移動桿連接處設(shè)有膠圈，使卡盤在測試位置時，膠圈封住連接口和卡盤之間的縫隙，增加器件腔的氣密性，保障半導(dǎo)體材料檢測時的環(huán)境穩(wěn)定。

20、可選的，腔體為銅殼、鋁殼及鋼殼中的一種，隔離板為銅板、鋁板及鋼板中的一種。

21、通過采用上述技術(shù)方案，雙腔結(jié)構(gòu)的目的是為了保障半導(dǎo)體材料在檢測過程中不受移動測試裝置產(chǎn)生的電磁輻射影響，通過使用銅、鋁和鋼作為腔體和隔離板的材料，使雙腔結(jié)構(gòu)能夠更好的屏蔽電池輻射，保障半導(dǎo)體材料在器件腔內(nèi)的測試不受干擾。

22、綜上所述，本申請包括以下至少一種有益技術(shù)效果：

23、1.通過隔離板將腔體分隔為器件腔和機械腔，使半導(dǎo)體材料檢測在器件腔內(nèi)進行，而移動測試裝置在機械腔內(nèi)運行，使半導(dǎo)體材料在測試過程中不會受到移動測試裝置產(chǎn)生的電磁輻射影響，通過使用銅、鋁和鋼等材料制造腔體和隔離板，使探針臺隔絕電磁輻射的能力更強，從而有利于保障半導(dǎo)體材料測試過程的穩(wěn)定；

24、2.通過設(shè)有器件腔氣口、冷卻裝置、溫度傳感器與濕度傳感器，使器件腔內(nèi)的環(huán)境能夠被改變和檢測，滿足不同半導(dǎo)體材料的不同檢測環(huán)境需求，有利于增加探針臺的適用性；

25、3.通過在卡盤和移動桿的連接處增加膠圈，使卡盤在處于檢測位置時，膠圈能夠填滿連接口和卡盤之間的縫隙，增加了器件腔的密閉性，有利于維持器件腔內(nèi)的環(huán)境，保障半導(dǎo)體材料測試的順利進行。

技術(shù)特征：

1.一種探針臺的雙腔檢測裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺的雙腔檢測裝置，其特征在于，所述腔體（1）為長方體，所述隔離板（11）將所述腔體分隔為上下兩部分，所述器件腔（2）位于所述機械腔（3）上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種探針臺的雙腔檢測裝置，其特征在于，所述送料門（13）設(shè)于所述腔體（1）的殼體的上表面，所述送料門（13）的中軸線和所述連接口（12）的中軸線重合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺的雙腔檢測裝置，其特征在于，所述送料門（13）包括封閉門板（13a）和門板滑軌（13b），所述腔體（1）在所述送料門（13）處開設(shè)有門板空槽（14），以供所述封閉門板（13a）在所述腔體（1）內(nèi)滑動，所述門板滑軌（13b）設(shè)于所述腔體（1）外側(cè)，用于移動所述封閉門板（13a）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺的雙腔檢測裝置，其特征在于，所述器件腔（2）內(nèi)還設(shè)有溫度傳感器（21）和濕度傳感器（22），用于監(jiān)控所述器件腔的溫度和濕度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺的雙腔檢測裝置，其特征在于，所述器件腔（2）設(shè)有器件腔氣口（23），所述機械腔（3）設(shè)有機械腔氣口（31）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺的雙腔檢測裝置，其特征在于，所述卡盤（42）和所述移動桿（41）連接處設(shè)有膠圈（43）。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種探針臺的雙腔檢測裝置，其特征在于，所述腔體（1）為銅殼、鋁殼及鐵殼中的一種，所述隔離板（11）為銅板、鋁板及鋼板中的一種。

技術(shù)總結(jié)
一種具有雙腔結(jié)構(gòu)的探針臺，涉及探針臺的技術(shù)領(lǐng)域，包括：腔體，設(shè)有可開關(guān)的送料門；隔離板，隔離板將腔體分隔為器件腔及機械腔，送料門連通器件腔和外界，隔離板上開設(shè)有連接口；移動測試裝置，包括移動桿及卡盤，移動測試裝置的機體設(shè)于機械腔內(nèi)，移動桿穿過連接口，卡盤連接移動桿，用于放置測試半導(dǎo)體材料，能夠受移動桿控制從送料門中伸出。本申請通過使用隔離板將腔體分為兩部分，使移動測試裝置和測試空間分別位于機械腔和器件腔兩個不同的區(qū)域，從而避免移動測試裝置運行過程中發(fā)出的電磁輻射對器件腔內(nèi)進行的半導(dǎo)體材料檢測造成干擾，從而有利于半導(dǎo)體材料在器件腔中能被準確測試。

技術(shù)研發(fā)人員：肖體春,石王凱,李付超
受保護的技術(shù)使用者：深圳市森東寶科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231225
技術(shù)公布日：2025/1/9