本技術(shù)涉及膜面缺陷檢測(cè)，具體為一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

1、光刻術(shù)是集成電路和超大規(guī)模電路制造中最重要的技術(shù)之一，光阻干膜是用于光刻術(shù)的感光材料。光阻干膜具有三層結(jié)構(gòu):pe保護(hù)膜、光致抗蝕劑(光阻層)、pet基膜。應(yīng)用于光阻干膜的bopet薄膜，其質(zhì)量的要求較高。而光阻干膜在生產(chǎn)時(shí)，需要對(duì)其進(jìn)行膜面的缺陷進(jìn)行檢測(cè)；

2、針對(duì)現(xiàn)有專利號(hào)：cn201920992218.8，專利名：一種薄膜膜面缺陷檢測(cè)輔助裝置，其采用了通過(guò)記錄收卷輥的收卷圈數(shù)，精準(zhǔn)計(jì)算已檢測(cè)過(guò)的膜面長(zhǎng)度，更加便于對(duì)復(fù)檢的缺陷進(jìn)行記錄和分析，提高了缺陷復(fù)檢的準(zhǔn)確性，但其在使用時(shí)，難以對(duì)不同體積的膜面進(jìn)行檢測(cè)，且由人工肉眼觀察，某些缺陷面積較小，肉眼難以看清。

3、現(xiàn)有的成品膜面缺陷在使用時(shí)，難以對(duì)不同體積的膜面進(jìn)行檢測(cè)，且由人工肉眼觀察，某些缺陷面積較小，肉眼難以看清；因此，不滿足現(xiàn)有的需求，對(duì)此我們提出了一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的成品膜面缺陷在使用時(shí)，難以對(duì)不同體積的膜面進(jìn)行檢測(cè)，且由人工肉眼觀察，某些缺陷面積較小，肉眼難以看清等問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置，包括兩個(gè)分切機(jī)支架和兩個(gè)升降臺(tái)，兩個(gè)所述分切機(jī)支架之間轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有多個(gè)運(yùn)輸輥，所述運(yùn)輸輥的表面纏繞有膜面，兩個(gè)所述分切機(jī)支架的外側(cè)均設(shè)有支撐架，兩個(gè)所述支撐架分別固定安裝在兩個(gè)分切機(jī)支架的外側(cè)位置，所述支撐架的頂端固定安裝有升降臺(tái)，所述升降臺(tái)的頂端活動(dòng)安裝有伸縮桿，兩個(gè)所述伸縮桿之間活動(dòng)安裝有定位橫桿，所述定位橫桿的兩端均固定安裝有固定臺(tái)，所述固定臺(tái)的外側(cè)活動(dòng)安裝有活動(dòng)桿，所述定位橫桿的表面剛性連接有兩個(gè)線掃相機(jī)，兩個(gè)所述分切機(jī)支架之間的下方位置固定安裝有光源板，所述光源板的頂端設(shè)有照明燈。

3、優(yōu)選的，所述伸縮桿的底端固定安裝有齒條，所述升降臺(tái)的頂端內(nèi)部設(shè)有伸縮槽，所述齒條滑動(dòng)插入伸縮槽的內(nèi)部，所述齒條的表面嚙合連接有主動(dòng)齒輪，所述主動(dòng)齒輪與伸縮槽的內(nèi)壁表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

4、優(yōu)選的，所述固定臺(tái)的內(nèi)部設(shè)有彈簧凹槽，所述活動(dòng)桿與彈簧凹槽之間活動(dòng)安裝有壓縮彈簧，所述活動(dòng)桿與伸縮桿之間通過(guò)螺栓連接。

5、優(yōu)選的，所述升降臺(tái)的后側(cè)固定安裝有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的底端固定安裝有電機(jī)支架，所述伺服電機(jī)的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器與主動(dòng)齒輪的軸心連接。

6、優(yōu)選的，所述線掃相機(jī)與伺服電機(jī)之間電性連接。

7、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

8、1、本實(shí)用新型通過(guò)線掃相機(jī)和光源板的配合，當(dāng)膜面在運(yùn)輸輥的表面運(yùn)輸時(shí)，可通過(guò)光源板向上方照明使光線透過(guò)膜面的表面照射至線掃相機(jī)的位置，當(dāng)膜面出現(xiàn)突起型缺陷的時(shí)候，會(huì)出現(xiàn)較亮的光源，當(dāng)膜面出現(xiàn)凹陷型缺陷時(shí)，會(huì)出現(xiàn)較暗的光源，此時(shí)可通過(guò)線掃相機(jī)的線掃描捕捉光信號(hào)的變化而轉(zhuǎn)化成電流信號(hào)，從而對(duì)每一次出現(xiàn)缺陷時(shí)進(jìn)行記錄，實(shí)現(xiàn)對(duì)膜面的缺陷檢測(cè)；

9、2、本實(shí)用新型通過(guò)主動(dòng)齒輪和齒條的配合，使裝置在使用時(shí)，可通過(guò)膜面的高度位置調(diào)整線掃相機(jī)的高度位置，來(lái)適配膜面使用，且當(dāng)線掃相機(jī)檢測(cè)出膜面的缺陷位置時(shí)，可通過(guò)線掃相機(jī)向伺服電機(jī)傳遞電流信號(hào)，使伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)而帶動(dòng)齒條下降，進(jìn)而使線掃相機(jī)貼近缺陷位置進(jìn)行重復(fù)檢測(cè)，避免出現(xiàn)由于高度較高而錯(cuò)檢的情況；

10、3、本實(shí)用新型通過(guò)固定臺(tái)和活動(dòng)桿的配合，使裝置在使用時(shí)，可通過(guò)壓縮彈簧的彈性勢(shì)能驅(qū)動(dòng)活動(dòng)桿彈出，從而使裝置可根據(jù)分切機(jī)支架的寬度來(lái)調(diào)節(jié)兩個(gè)支撐架之間的間距，從而適配不同型號(hào)的分切機(jī)支架進(jìn)行使用。

技術(shù)特征：

1.一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置，包括兩個(gè)分切機(jī)支架(1)和兩個(gè)升降臺(tái)(5)，兩個(gè)所述分切機(jī)支架(1)之間轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有多個(gè)運(yùn)輸輥(2)，所述運(yùn)輸輥(2)的表面纏繞有膜面(3)，兩個(gè)所述分切機(jī)支架(1)的外側(cè)均設(shè)有支撐架(4)，其特征在于：兩個(gè)所述支撐架(4)分別固定安裝在兩個(gè)分切機(jī)支架(1)的外側(cè)位置，所述支撐架(4)的頂端固定安裝有升降臺(tái)(5)，所述升降臺(tái)(5)的頂端活動(dòng)安裝有伸縮桿(6)，兩個(gè)所述伸縮桿(6)之間活動(dòng)安裝有定位橫桿(7)，所述定位橫桿(7)的兩端均固定安裝有固定臺(tái)(8)，所述固定臺(tái)(8)的外側(cè)活動(dòng)安裝有活動(dòng)桿(9)，所述定位橫桿(7)的表面剛性連接有兩個(gè)線掃相機(jī)(10)，兩個(gè)所述分切機(jī)支架(1)之間的下方位置固定安裝有光源板(13)，所述光源板(13)的頂端設(shè)有照明燈。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于：所述伸縮桿(6)的底端固定安裝有齒條(16)，所述升降臺(tái)(5)的頂端內(nèi)部設(shè)有伸縮槽(15)，所述齒條(16)滑動(dòng)插入伸縮槽(15)的內(nèi)部，所述齒條(16)的表面嚙合連接有主動(dòng)齒輪(11)，所述主動(dòng)齒輪(11)與伸縮槽(15)的內(nèi)壁表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于：所述固定臺(tái)(8)的內(nèi)部設(shè)有彈簧凹槽(17)，所述活動(dòng)桿(9)與彈簧凹槽(17)之間活動(dòng)安裝有壓縮彈簧(18)，所述活動(dòng)桿(9)與伸縮桿(6)之間通過(guò)螺栓連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于：所述升降臺(tái)(5)的后側(cè)固定安裝有伺服電機(jī)(14)，所述伺服電機(jī)(14)的底端固定安裝有電機(jī)支架(12)，所述伺服電機(jī)(14)的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器與主動(dòng)齒輪(11)的軸心連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于：所述線掃相機(jī)(10)與伺服電機(jī)(14)之間電性連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種成品膜面缺陷檢測(cè)裝置，包括兩個(gè)分切機(jī)支架和兩個(gè)升降臺(tái)，兩個(gè)所述分切機(jī)支架之間轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有多個(gè)運(yùn)輸輥，所述運(yùn)輸輥的表面纏繞有膜面，兩個(gè)所述分切機(jī)支架的外側(cè)均設(shè)有支撐架，兩個(gè)所述支撐架分別固定安裝在兩個(gè)分切機(jī)支架的外側(cè)位置，所述支撐架的頂端固定安裝有升降臺(tái)，所述升降臺(tái)的頂端活動(dòng)安裝有伸縮桿，兩個(gè)所述伸縮桿之間活動(dòng)安裝有定位橫桿。本技術(shù)通過(guò)主動(dòng)齒輪和齒條的配合，可通過(guò)膜面的高度位置調(diào)整線掃相機(jī)的高度位置來(lái)適配膜面使用，且可通過(guò)線掃相機(jī)向伺服電機(jī)傳遞電流信號(hào)，使伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)而帶動(dòng)齒條下降，進(jìn)而使線掃相機(jī)貼近缺陷位置進(jìn)行重復(fù)檢測(cè)，避免出現(xiàn)由于高度較高而錯(cuò)檢的情況。

技術(shù)研發(fā)人員：鄧毅強(qiáng),王曉程,宋昊達(dá)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：長(zhǎng)興電子（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231227
技術(shù)公布日：2025/1/2