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X射線檢查裝置及X射線檢查方法與流程

文檔序號:40548947發(fā)布日期:2025-01-03 11:08閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種x射線檢查裝置,包括:

2.根據(jù)權利要求1所述的x射線檢查裝置,其中所述拍攝裝置的拍攝所述閃爍體的拍攝分辨率為60μm以下。

3.根據(jù)權利要求1所述的x射線檢查裝置,其中所述拍攝裝置被設置為,對所述閃爍體的與所述測定對象相向的面進行拍攝。

4.根據(jù)權利要求3所述的x射線檢查裝置,其中將具有透光性的物體設為所述測定對象,

5.根據(jù)權利要求1所述的x射線檢查裝置,其中所述拍攝裝置被設置為,對所述閃爍體的跟與所述測定對象相向的面為相反側的面進行拍攝。

6.根據(jù)權利要求1所述的x射線檢查裝置,其中所述拍攝裝置為線傳感器照相機或延時積分型照相機。

7.根據(jù)權利要求3或4所述的x射線檢查裝置,其中所述拍攝裝置為線傳感器照相機或延時積分型照相機,

8.根據(jù)權利要求5所述的x射線檢查裝置,其中所述拍攝裝置為線傳感器照相機或延時積分型照相機,

9.一種x射線檢查方法,

10.根據(jù)權利要求9所述的x射線檢查方法,其中拍攝所述閃爍體的拍攝分辨率為針對每個所述測定對象所規(guī)定的應檢測的缺陷的最小直徑的三分之一以下。

11.根據(jù)權利要求9所述的x射線檢查方法,其中對所述閃爍體的與所述測定對象相向的面進行拍攝。

12.根據(jù)權利要求11所述的x射線檢查方法,其中所述測定對象具有透光性,

13.根據(jù)權利要求9所述的x射線檢查方法,其中對所述閃爍體的跟與所述測定對象相向的面為相反側的面進行拍攝。

14.根據(jù)權利要求9所述的x射線檢查方法,其中呈線狀拍攝所述閃爍體。

15.根據(jù)權利要求11或12所述的x射線檢查方法,其中

16.根據(jù)權利要求13所述的x射線檢查方法,其中


技術總結
本發(fā)明的X射線檢查裝置包括:X射線放射裝置,用于朝向測定對象放射X射線;閃爍體,用于將從所述X射線放射裝置放射并經(jīng)由所述測定對象而入射的X射線轉換為可見光;以及拍攝裝置,具有對所述閃爍體所照射的可見光進行聚光的光學部件,所述拍攝裝置用于接收所述可見光。設從所述X射線放射裝置的放射位置到所述測定對象的設置位置或搬送位置的距離為L1[mm],從所述放射位置到所述閃爍體的距離為L2[mm],以及所述X射線放射裝置的焦點直徑為R[μm],所述X射線放射裝置與所述閃爍體被設置為,下述式(1)成為30μm以下。式(1):(L2?L1)×R/L1

技術研發(fā)人員:山村步輝,林將平,中井康博
受保護的技術使用者:東麗株式會社
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/1/2
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