本文中所描述的實(shí)施例涉及光學(xué)檢驗(yàn)系統(tǒng)，且更特定來說，涉及一種用于此類系統(tǒng)的氣動升降器組合件。

背景技術(shù)：

1、檢驗(yàn)過程在半導(dǎo)體制造過程期間的各種步驟中用于檢測晶片上的缺陷以促進(jìn)制造過程的良率提高，借此獲得更高利潤。檢驗(yàn)始終為制造半導(dǎo)體裝置的重要部分。然而，隨著半導(dǎo)體裝置的尺寸減小，檢驗(yàn)對可接受半導(dǎo)體裝置的成功制造變得更重要，因?yàn)楦∪毕菘梢鹧b置失效。

2、一些制造、度量及缺陷檢驗(yàn)過程需要垂直移動襯底定位于其頂表面上的卡盤。升降器組合件支撐卡盤且致動垂直移動。例如，氣動桿可位于升降器組合件的腔室內(nèi)且連接到支撐特征部及可移動板以通過引入及移除流體來實(shí)施卡盤的垂直移動。與升降器組合件一起工作的一些工具可在操作期間提供有限空間來容納全部升降器組合件特征部。前述氣動桿在升降器組合件遠(yuǎn)離縮回(即，向下)位置延伸到向上位置時(shí)占用更多空間。此外，氣動桿在提升或施加不均勻負(fù)載時(shí)無法維持與其相鄰的支撐特征部的垂直度，借此導(dǎo)致桿在其內(nèi)滑動的孔內(nèi)的磨損。最后，氣動桿僅能夠延伸到不可調(diào)整的固定行程長度。

3、上述問題對襯底的檢驗(yàn)過程提出挑戰(zhàn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、根據(jù)本發(fā)明的一個方面，一種用于光學(xué)系統(tǒng)的升降器組合件包含具有卡盤底座及可拆卸頂板的卡盤，其中所述可拆卸頂板是經(jīng)配置以支撐襯底的多個可更換可拆卸頂板中的一者。所述升降器組合件還包含可移動板以將所述卡盤支撐于所述可移動板的上表面上，所述可移動板可在下縮回位置與上延伸位置之間垂直調(diào)整。所述升降器組合件進(jìn)一步包含操作地耦合到所述可移動板的導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)。所述升降器組合件又進(jìn)一步包含流體耦合到所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)以選擇性膨脹及收縮的氣動系統(tǒng)，其中所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的膨脹將所述可移動板垂直調(diào)整到所述上延伸位置且所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的收縮將所述可移動板垂直調(diào)整到所述下縮回位置。

2、根據(jù)本發(fā)明的另一方面，一種光學(xué)系統(tǒng)包含襯底卡盤子系統(tǒng)，其具有卡盤，所述卡盤具有卡盤底座及可拆卸頂板，所述可拆卸頂板經(jīng)配置以支撐襯底。所述光學(xué)系統(tǒng)還包含可移動板以將所述卡盤支撐于所述可移動板的上表面上，所述可移動板可在下縮回位置與上延伸位置之間垂直調(diào)整。所述光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)一步包含操作地耦合到所述可移動板的導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)，其中所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的膨脹將所述可移動板垂直調(diào)整到所述上延伸位置且所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的收縮將所述可移動板垂直調(diào)整到所述下縮回位置。所述光學(xué)系統(tǒng)又進(jìn)一步包含經(jīng)配置以照射所述襯底的一或多個部分的照明源。所述光學(xué)系統(tǒng)還包含經(jīng)配置以收集來自所述襯底的所述受照射的一或多個部分的照明的檢測器。

3、根據(jù)本發(fā)明的又一方面，一種用于垂直再定位襯底的升降器組合件包含經(jīng)配置以支撐所述襯底且用真空氣壓固持所述襯底的真空卡盤。所述升降器組合件還包含可移動板以將所述真空卡盤支撐于所述可移動板的上表面上，所述可移動板可在下縮回位置與上延伸位置之間垂直調(diào)整。所述升降器組合件進(jìn)一步包含操作地耦合到所述可移動板的焊接導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)，其中所述焊接導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的膨脹將所述可移動板垂直調(diào)整到所述上延伸位置且所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的收縮將所述可移動板垂直調(diào)整到所述下縮回位置。

4、將從結(jié)合附圖的以下描述明白這些方面及其它優(yōu)點(diǎn)及特征。

技術(shù)特征：

1.一種用于光學(xué)系統(tǒng)的升降器組合件，所述升降器組合件包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降器組合件，其中所述氣動系統(tǒng)包括具有入口端口、出口端口及排放端口的螺線管，所述入口端口經(jīng)流體耦合到壓縮空氣源以通過所述出口端口將壓縮空氣選擇性提供到所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的內(nèi)部腔室中以膨脹所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)，所述排放端口經(jīng)流體耦合到真空產(chǎn)生裝置以從所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的所述內(nèi)部腔室抽出壓縮空氣以收縮所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降器組合件，其進(jìn)一步包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的升降器組合件，其進(jìn)一步包括從所述可移動板的所述上表面向上突出的止動件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的升降器組合件，其進(jìn)一步包括與所述頂蓋一體成型的上行程限制特征部，其中所述上行程限制特征部與所述止動件之間的接觸操作地界定所述可移動板的所述上延伸位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的升降器組合件，進(jìn)一步包括經(jīng)操作地耦合到所述頂蓋的上行程限制特征部，其中所述上行程限制特征部與所述止動件之間的接觸操作地界定所述可移動板的所述上延伸位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的升降器組合件，其進(jìn)一步包括上凸緣，所述上凸緣具有經(jīng)安置在所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的頂表面與所述可移動板的下表面之間的主體部分，所述上凸緣也具有向下突出部分，所述向下突出部分經(jīng)定位以接觸所述底座凸緣的向上突出部分以界定所述可移動板的所述下縮回位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的升降器組合件，其進(jìn)一步包括對應(yīng)于所述多個導(dǎo)軸的數(shù)目的多個襯套外殼，所述襯套外殼中的每一者經(jīng)耦合到所述可移動板且使襯套安置在其中，每一襯套同心地環(huán)繞所述多個導(dǎo)軸中的相應(yīng)者。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降器組合件，其進(jìn)一步包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降器組合件，其中所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)是焊接導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降器組合件，其中所述襯底包括半導(dǎo)體晶片。

12.一種光學(xué)系統(tǒng)，其包括：

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)配置為檢驗(yàn)工具。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)配置為度量工具。

15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)系統(tǒng)，其進(jìn)一步包括經(jīng)流體耦合到所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)以選擇性膨脹及收縮的氣動系統(tǒng)，其中所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的膨脹將所述可移動板垂直調(diào)整到所述上延伸位置且所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的收縮將所述可移動板垂直調(diào)整到所述下縮回位置。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的光學(xué)系統(tǒng)，其中所述氣動系統(tǒng)包括具有入口端口、出口端口及排放端口的螺線管，所述入口端口經(jīng)流體耦合到壓縮空氣源以通過所述出口端口將壓縮空氣選擇性提供到所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的內(nèi)部腔室中以膨脹所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)，所述排放端口經(jīng)流體耦合到真空產(chǎn)生裝置以從所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的所述內(nèi)部腔室抽出壓縮空氣以收縮所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)。

17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)系統(tǒng)，進(jìn)一步包括：

18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的光學(xué)系統(tǒng)，進(jìn)一步包括：

19.一種用于垂直再定位襯底的升降器組合件，所述升降器組合件包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種用于光學(xué)系統(tǒng)的升降器組合件，其包含具有卡盤底座及可拆卸頂板的卡盤，其中所述可拆卸頂板是經(jīng)配置以支撐襯底的多個可更換的可拆卸頂板中的一者。所述升降器組合件還包含可移動板以將所述卡盤支撐于所述可移動板的上表面上，所述可移動板可在下縮回位置與上延伸位置之間垂直調(diào)整。所述升降器組合件進(jìn)一步包含經(jīng)操作地耦合到所述可移動板的導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)。所述升降器組合件又進(jìn)一步包含經(jīng)流體耦合到所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)以選擇性膨脹及收縮的氣動系統(tǒng)，其中所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的膨脹將所述可移動板垂直調(diào)整到所述上延伸位置，且所述導(dǎo)口管結(jié)構(gòu)的收縮將所述可移動板垂直調(diào)整到所述下縮回位置。

技術(shù)研發(fā)人員：林釗添,R·帕蒂爾,J·賈揚(yáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：科磊股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2