技術(shù)特征：

1.一種微機電系統(tǒng)mems裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的mems裝置，其特征在于，當(dāng)所述內(nèi)部感測連桿的所述上部部分和所述下部部分沿著平行于所述中心扭轉(zhuǎn)彎曲部的所述軸線彼此同相移動并且所述內(nèi)部感測連桿的所述上部部分和所述下部部分移位預(yù)定距離時，所述第一扭力彈簧被配置成撞擊所述內(nèi)部感測連桿的所述上部部分和所述內(nèi)部感測連桿的所述下部部分中的一個或兩個。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的mems裝置，其特征在于，每個內(nèi)部感測連桿還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的mems裝置，其特征在于，每個內(nèi)部感測連桿還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的mems裝置，其特征在于，還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的mems裝置，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的mems裝置，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的mems裝置，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的mems裝置，

10.一種方法，其特征在于，所述方法包括：

技術(shù)總結(jié)
一種MEMS裝置以及形成所述MEMS裝置的方法，所述MEMS裝置包括懸掛在基板上方的成對質(zhì)量塊，包括將質(zhì)量塊對彼此聯(lián)接的連桿。內(nèi)部感測連桿將相鄰質(zhì)量塊的內(nèi)邊緣彼此聯(lián)接。所述內(nèi)部感測連桿被配置成當(dāng)聯(lián)接到每個內(nèi)部感測連桿的所述相鄰質(zhì)量塊沿著所述內(nèi)部感測連桿的優(yōu)選軸線相對于彼此異相移動時展現(xiàn)第一剛度，并且響應(yīng)于聯(lián)接到每個內(nèi)部感測連桿的所述相鄰質(zhì)量塊的同相運動而展現(xiàn)第二增加的剛度。

技術(shù)研發(fā)人員：穆斯塔法·索利曼,阿龍·A·蓋斯貝格爾
受保護的技術(shù)使用者：恩智浦美國有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2