本發(fā)明涉及玻璃板的檢查裝置以及玻璃板的制造方法。

背景技術(shù)：

1、近年來，在液晶顯示器、有機el顯示器等顯示器中，使用輕量且具有撓性的薄壁的玻璃基板。在用于顯示器的玻璃基板的表面均勻地涂布各種膜之后使用光學(xué)工藝的方法(曝光工序、顯影工序等)而形成薄膜晶體管(tft)。

2、為了高精度地形成薄膜晶體管，對玻璃基板要求高的尺寸精度。因此，在玻璃板的制造工序中，實施對制造出的玻璃板的形狀進行檢查的工序。

3、作為在這種檢查工序中使用的裝置，存在對玻璃板的翹曲進行測定的裝置。例如，在專利文獻1中公開有具備載置玻璃板的平臺以及在測定中利用光的照射以及反射的光學(xué)測定機構(gòu)的檢查裝置(玻璃板測定裝置)(參照該文獻的技術(shù)方案1)。

4、另外，作為玻璃板的檢查裝置，存在對玻璃板的撓曲差進行測定的裝置。例如，在專利文獻2中公開有具備從下方支承玻璃板的兩個支承構(gòu)件以及對由兩個支承構(gòu)件支承的玻璃板的撓曲進行測定的激光計的檢查裝置(參照該文獻的段落0029、0030以及圖3)。

5、現(xiàn)有技術(shù)文獻

6、專利文獻

7、專利文獻1：日本特開2021-148446號公報

8、專利文獻2：日本特開2009-117301號公報

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的課題

2、近年來，為了應(yīng)對顯示器的大型化的傾向，針對在顯示器中使用的玻璃板也推進大型化。在這種狀況下，為了對玻璃板的翹曲、撓曲等多個形狀特性進行檢查，必須使用多個檢查裝置。因此，檢查工序變得繁瑣，無法高效地制造玻璃板。

3、本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，以利用一個檢查裝置檢查玻璃板的多個檢查項目為技術(shù)課題。

4、用于解決課題的方案

5、(1)本發(fā)明為用于解決上述的課題的一種玻璃板的檢查裝置，具備載置玻璃板的載置部以及對載置于所述載置部的所述玻璃板的形狀進行測定的測定部，所述玻璃板的檢查裝置的特征在于，所述載置部具備由多個凸部構(gòu)成的載置面以及配置于所述凸部之間的多個支承構(gòu)件，所述支承構(gòu)件能夠在支承位置與待機位置之間移動，在所述支承位置時，所述支承構(gòu)件的上端部比所述載置面靠上方，在所述待機位置時，所述支承構(gòu)件的所述上端部比所述載置面靠下方，所述載置部具有：翹曲測定用的支承模式，在將所述支承構(gòu)件配置于所述待機位置的狀態(tài)下借助所述載置面支承所述玻璃板；以及撓曲測定用的支承模式，在將所述支承構(gòu)件配置于所述支承位置的狀態(tài)下借助所述支承構(gòu)件支承所述玻璃板。

6、根據(jù)該結(jié)構(gòu)，載置部具有翹曲測定用的支承模式與撓曲測定用的支承模式，從而能夠利用一個檢查裝置檢查玻璃板的多個檢查項目(翹曲、撓曲)。

7、(2)在上述(1)所述的玻璃板的檢查裝置中，也可以是，所述載置部的所述載置面具備能夠排出流體的排出孔。

8、根據(jù)該結(jié)構(gòu)，載置部通過使流體從載置面的排出孔排出，從而能夠在使玻璃板從載置面分離的狀態(tài)下進行支承。

9、(3)在上述(2)所述的玻璃板的檢查裝置中，也可以是，所述翹曲測定用的支承模式包括在利用從所述載置面的所述排出孔排出的流體使所述玻璃板從所述載置面浮起的狀態(tài)下進行支承的支承模式，由所述測定部測定的所述玻璃板的形狀包括使所述玻璃板從所述載置面浮起的狀態(tài)下的翹曲形狀。

10、根據(jù)該結(jié)構(gòu)，翹曲測定用的支承模式具有利用載置面直接支承玻璃板的支承模式以及借助流體間接支承玻璃板的支承模式。由此，能夠更高精度地對玻璃板的翹曲進行測定。

11、(4)在上述(1)至(3)中任一項所述的玻璃板的檢查裝置中，也可以是，所述載置部具備與所述玻璃板的相鄰的兩邊的一部分抵接的定位部，所述載置部的所述載置面是以將所述玻璃板朝向所述定位部引導(dǎo)的方式傾斜的面。

12、根據(jù)該結(jié)構(gòu)，利用載置部的載置面將玻璃板朝向定位部引導(dǎo)，從而能夠使玻璃板的兩邊可靠地與定位部抵接。由此，能夠高精度地進行玻璃板的定位。

13、(5)在上述(1)至(4)中任一項所述的玻璃板的檢查裝置中，也可以是，所述支承構(gòu)件通過點接觸或者線接觸來支承所述玻璃板。由此，能夠盡量減小支承構(gòu)件相對于玻璃板的接觸面積。另外，支承裝置能夠以穩(wěn)定的姿態(tài)支承玻璃板。

14、(6)本發(fā)明的玻璃板的制造方法用于解決上述的課題，其特征在于，包括利用上述(1)至(5)中任一項所述的玻璃板的檢查裝置來檢查所述玻璃板的形狀的檢查工序。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠高效地制造玻璃板。

15、發(fā)明效果

16、根據(jù)本發(fā)明，能夠利用一個檢查裝置檢查玻璃板的多個檢查項目。

技術(shù)特征：

1.一種玻璃板的檢查裝置，具備載置玻璃板的載置部以及對載置于所述載置部的所述玻璃板的形狀進行測定的測定部，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃板的檢查裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的玻璃板的檢查裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的玻璃板的檢查裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的玻璃板的檢查裝置，其特征在于，

6.一種玻璃板的制造方法，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供能夠利用一個檢查裝置檢查玻璃板的多個檢查項目的玻璃板的檢查裝置以及玻璃板的制造方法。玻璃板的檢查裝置(1)具備載置部(2)以及測定部(3)。載置部(2)具備由多個凸部構(gòu)成的載置面以及配置于凸部之間的多個支承構(gòu)件(6a)。載置部(2)具有：翹曲測定用的支承模式，在將支承構(gòu)件(6a)配置于待機位置的狀態(tài)下借助載置面支承玻璃板(G)；以及撓曲測定用的支承模式，在將支承構(gòu)件(6a)配置于支承位置的狀態(tài)下借助支承構(gòu)件(6a)支承玻璃板(G)。

技術(shù)研發(fā)人員：大庭直樹
受保護的技術(shù)使用者：日本電氣硝子株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9