本公開(kāi)涉及一種距離測(cè)定裝置、距離測(cè)定方法、接合裝置以及接合方法。

背景技術(shù)：

1、以往，已知有一種將半導(dǎo)體晶圓等基板彼此間接合的接合裝置(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。

2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

3、專(zhuān)利文獻(xiàn)

4、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2018-147944號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問(wèn)題

2、本公開(kāi)提供一種即使在靜電電容傳感器與測(cè)定對(duì)象物之間沒(méi)有導(dǎo)通的情況下也能夠進(jìn)行使用靜電電容傳感器的距離測(cè)定的技術(shù)。

3、用于解決問(wèn)題的方案

4、本公開(kāi)的一個(gè)方式的距離測(cè)定裝置具備第一構(gòu)件和靜電電容傳感器。第一構(gòu)件相對(duì)于為導(dǎo)體或半導(dǎo)體的測(cè)定對(duì)象物以非接觸的方式相向配置。靜電電容傳感器設(shè)置于第一構(gòu)件，檢測(cè)與測(cè)定對(duì)象物之間的距離。第一構(gòu)件由導(dǎo)電性的構(gòu)件形成，并且，靜電電容傳感器經(jīng)由第一構(gòu)件接地。

5、發(fā)明的效果

6、根據(jù)本公開(kāi)，即使在靜電電容傳感器與測(cè)定對(duì)象物之間沒(méi)有導(dǎo)通的情況下，也能夠進(jìn)行使用靜電電容傳感器的距離測(cè)定。

技術(shù)特征：

1.一種距離測(cè)定裝置，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的距離測(cè)定裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的距離測(cè)定裝置，其中，

4.一種距離測(cè)定方法，包括以下工序：

5.一種接合裝置，具備：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的接合裝置，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的接合裝置，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的接合裝置，其中，

9.一種接合方法，包括以下工序：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的接合方法，其中，

技術(shù)總結(jié)
本公開(kāi)提供一種距離測(cè)定裝置、距離測(cè)定方法、接合裝置以及接合方法，即使在靜電電容傳感器與測(cè)定對(duì)象物之間沒(méi)有導(dǎo)通的情況下，也能夠進(jìn)行使用靜電電容傳感器的距離測(cè)定。本公開(kāi)的距離測(cè)定裝置具備第一構(gòu)件和靜電電容傳感器。第一構(gòu)件相對(duì)于為導(dǎo)體或半導(dǎo)體的測(cè)定對(duì)象物以非接觸的方式相向配置。靜電電容傳感器設(shè)置于第一構(gòu)件，檢測(cè)與測(cè)定對(duì)象物之間的距離。第一構(gòu)件由導(dǎo)電性的構(gòu)件形成，并且，靜電電容傳感器經(jīng)由第一構(gòu)件接地。

技術(shù)研發(fā)人員：牧哲也
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9