技術(shù)特征：

1.一種檢查裝置，其具有：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢查裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢查裝置，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢查裝置，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢查裝置，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查裝置，其中，

11.一種檢查方法，其包括：

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查方法，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的檢查方法，其中，

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的檢查方法，其中，

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的檢查方法，其中，

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的檢查方法，其中，

17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的檢查方法，其中，

18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的檢查方法，其中，

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的檢查方法，其中，

20.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的檢查方法，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種檢查裝置和檢查方法，能夠以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)來(lái)觀察光致發(fā)光的光和拉曼散射光兩者，能夠使晶體評(píng)價(jià)高度化。本實(shí)施方式的檢查裝置具有：脈沖光生成單元，其生成波長(zhǎng)比試樣的帶隙所對(duì)應(yīng)的光的波長(zhǎng)更長(zhǎng)的脈沖光，該脈沖光使試樣進(jìn)行多光子激發(fā)；聚光單元，其包括物鏡，使用物鏡將脈沖光向試樣進(jìn)行聚光，并且使通過(guò)脈沖光的照射從試樣產(chǎn)生的包含光致發(fā)光的光(PL)和拉曼散射光(RS)的光透射物鏡；第一檢測(cè)單元，其對(duì)透射了物鏡的光致發(fā)光的光(PL)進(jìn)行檢測(cè)；以及第二檢測(cè)單元，其對(duì)透射了物鏡的拉曼散射光(RS)進(jìn)行檢測(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員：藤木翔太,西村良浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：雷射科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9