本公開內(nèi)容一般涉及用于對包括內(nèi)部小平面的樣品進行度量的方法和系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、一些透明光學(xué)元件，例如玻璃棱鏡和波導(dǎo)，可以包括反射性的內(nèi)部小平面。為了高精度驗證這樣的小平面相對于光學(xué)元件的一個或更多個外部表面的取向，當(dāng)前的現(xiàn)有技術(shù)需要高端光學(xué)部件以及實現(xiàn)復(fù)雜的對準(zhǔn)和校準(zhǔn)過程。因此，本領(lǐng)域中存在對簡單且可容易實現(xiàn)的度量技術(shù)的未滿足的需要，該技術(shù)避免使用高端光學(xué)部件，從而解決了大規(guī)模生產(chǎn)需求。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、根據(jù)本公開內(nèi)容的一些實施方式，本公開內(nèi)容的方面涉及用于對包括一個或更多個內(nèi)部小平面的樣品進行度量的方法和系統(tǒng)。更具體地，但非排他性地，根據(jù)本公開內(nèi)容的一些實施方式，本公開內(nèi)容的方面涉及用于對包括一個或更多個內(nèi)部小平面的樣品進行度量的基于光學(xué)的方法和系統(tǒng)。

2、有利地，本技術(shù)公開了用于驗證樣品的內(nèi)部小平面或樣品的多個標(biāo)稱平行的內(nèi)部小平面相對于樣品的一個或更多個外部平坦表面的傾斜度的快速、簡單且精確的方法和系統(tǒng)。

3、因此，根據(jù)一些實施方式的一個方面，提供了一種基于光學(xué)的方法，用于驗證樣品的一個或更多個內(nèi)部小平面相對于樣品的外部平坦表面的取向。該方法包括：

4、-提供包括外部平坦第一表面和內(nèi)部小平面的樣品，該內(nèi)部小平面相對于該第一表面以標(biāo)稱傾斜角μ標(biāo)稱傾斜(設(shè)計和制造意圖傾斜)。

5、-提供光導(dǎo)裝置(lga)，該lga被配置成將沿垂直于第一表面的方向入射在該lga上的光重定向到樣品中或樣品上，使得由樣品透射到樣品中的光標(biāo)稱地垂直于該內(nèi)部小平面射在該內(nèi)部小平面上。

6、-生成第一入射光束(lb)和第二入射lb，第一入射lb以與第一表面成法向的方式指向第一表面，第二入射lb平行于該第一入射lb并且指向該lga。

7、-通過第一入射lb從第一表面的反射來獲得第一返回lb。

8、-通過由lga將第二入射lb重定向到樣品中或樣品上、從該內(nèi)部小平面反射該第二入射lb并且由該lga進行反向重定向來獲得第二返回lb。

9、-測量第二返回lb相對于第一返回lb的第一角度偏差。

10、-至少基于所測量的第一角度偏差推導(dǎo)該內(nèi)部小平面相對于該第一表面的實際傾斜角μ′。

11、根據(jù)該方法的一些實施方式，該樣品包括第一部分和第二部分，該內(nèi)部小平面在該第一部分與該第二部分之間延伸。該第一部分位于樣品的外部第二表面與內(nèi)部小平面之間。構(gòu)成第二入射lb的一部分的透射lb直接或間接地透射到樣品中并且經(jīng)由第二表面進入樣品中。

12、根據(jù)該方法的一些實施方式，lga包括光折疊部件(lfc)，該lfc標(biāo)稱地被配置成至少當(dāng)光沿垂直于該第一表面的方向上投射在該lfc上時以等于標(biāo)稱傾斜角的光折疊角折疊光。

13、根據(jù)該方法的一些實施方式，該lfc是或包括棱鏡、一個或更多個反射鏡和/或衍射光柵。

14、根據(jù)該方法的一些實施方式，該光折疊角對該lfc的俯仰的變化不敏感。

15、根據(jù)該方法的一些實施方式，該lfc是或包括五棱鏡或類似功能棱鏡，或相對于彼此以一角度設(shè)置的一對反射鏡，或類似功能反射鏡裝置。

16、根據(jù)該方法的一些實施方式，lga還包括耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)被配置成將由lfc折疊的光引導(dǎo)到樣品上或樣品中，使得由樣品透射到樣品中的光標(biāo)稱地法向地射在該內(nèi)部小平面上。

17、根據(jù)該方法的一些實施方式，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括耦合棱鏡(cp)。該cp包括外部平坦cp第一表面、相對于cp第一表面以標(biāo)稱傾斜角標(biāo)稱地傾斜的外部平坦cp第二表面以及與cp第二表面相對的外部cp第三表面。cp具有與樣品的第一部分的折射率相同的折射率或接近樣品的第一部分的折射率的折射率(例如，在0.001％、0.01％或甚至0.1％內(nèi)，每種可能性對應(yīng)于單獨的實施方式)。該cp被布置成使得cp第一表面平行于樣品的第一表面，并且還被定向成使得由lfc折疊的光標(biāo)稱地法向地射在cp第二表面上。

18、根據(jù)該方法的一些實施方式，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)還包括形狀順應(yīng)接口。該形狀順應(yīng)接口被布置在cp第三表面與樣品之間，并且已經(jīng)被制成呈現(xiàn)使得cp第一表面平行于樣品的第一表面的形狀。

19、根據(jù)該方法的一些實施方式，該形狀順應(yīng)接口具有與樣品的第一部分的折射率相同的折射率，或接近樣品的第一部分的折射率的折射率(例如，在0.001％、0.01％或甚至0.1％內(nèi)，每種可能性對應(yīng)于單獨的實施方式)。

20、根據(jù)該方法的一些實施方式，該形狀順應(yīng)接口是或包括液體和/或凝膠。

21、根據(jù)該方法的一些實施方式，該樣品可以是棱鏡、波導(dǎo)或分束器。

22、根據(jù)該方法的一些實施方式，該第一入射lb和該第二入射lb構(gòu)成單個準(zhǔn)直光束的互補部分，或者通過阻擋單個準(zhǔn)直光束的一個或更多個部分來制備。

23、根據(jù)該方法的一些實施方式，該第一入射lb和該第二入射lb是通過阻擋單個準(zhǔn)直lb的一個或更多個部分來制備。

24、根據(jù)該方法的一些實施方式，該單個準(zhǔn)直lb是多色的。

25、根據(jù)該方法的一些實施方式，該單個準(zhǔn)直lb是激光束。

26、根據(jù)該方法的一些實施方式，其中，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括該cp，該方法還包括初始校準(zhǔn)階段，其中，利用金標(biāo)準(zhǔn)樣品來校準(zhǔn)該lfc、該cp和/或該樣品的取向。

27、根據(jù)該方法的一些實施方式，其中，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括該cp，該方法還包括生成附加入射lb，該附加入射lb指向該cp第一表面并且平行于該第一入射lb。在測量第一角度偏差期間、通過測量附加返回lb相對于第一返回lb的附加角度偏差來(a)校準(zhǔn)和/或(b)測試cp的取向以獲得正確的取向。通過該附加入射lb從該第一cp表面的反射獲得該附加返回lb。

28、根據(jù)一些實施方式，根據(jù)分別由第一返回lb和第二返回lb在光傳感器的光敏表面上形成的第一點和第二點的測量坐標(biāo)來獲得第一角度偏差。

29、根據(jù)該方法的一些實施方式，使用自準(zhǔn)直儀測量該第一角度偏差。

30、根據(jù)該方法的一些實施方式，所測量的第一角度偏差等于δu/f。δu是自準(zhǔn)直儀的光敏表面上的第一點的坐標(biāo)與第二點的對應(yīng)坐標(biāo)之間的差。f是自準(zhǔn)直儀的準(zhǔn)直透鏡的焦距。第一點由第一返回lb形成，并且第二點由第二返回lb形成。

31、根據(jù)該方法的一些實施方式，其中，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括該cp，根據(jù)所測量的第一角度偏差、該cp第二表面相對于該cp第一表面的實際傾斜角的值和該樣品的第一部分的折射率并且可選地該lfc的實際光折疊角，來獲得該內(nèi)部小平面相對于該第一表面的實際傾斜角。

32、根據(jù)該方法的一些實施方式，該方法還包括測量該lfc的實際光折疊角。

33、根據(jù)該方法的一些實施方式，其中，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括該cp，該方法還包括測量該cp第二表面相對于該cp第一表面的實際傾斜角。

34、根據(jù)該方法的一些實施方式，該標(biāo)稱傾斜角是鈍角。

35、根據(jù)該方法的一些實施方式，該標(biāo)稱傾斜角是銳角。

36、根據(jù)該方法的一些實施方式，該標(biāo)稱傾斜角是90°并且該樣品包括外部第三表面，該外部第三表面是平坦的并且平行于該樣品的第一表面。該方法還包括在測量第一角度偏差之后進行以下操作：

37、-翻轉(zhuǎn)樣品，以反轉(zhuǎn)第一表面和第三表面。

38、-生成第三入射lb和第四入射lb，第三入射lb以垂直于該第三表面的方式指向該第三表面，第四入射lb平行于該第三入射lb并且指向該lga。

39、-通過第三入射lb從第二表面的反射獲得第三返回lb。

40、-通過由lga將第二入射lb重定向到樣品中或樣品上、從內(nèi)部小平面反射該第二入射lb并且由該lga進行反向重定向來獲得第四返回lb。

41、-測量第四返回lb相對于第三返回lb的第二角度偏差。

42、-基于所測量的第一角度偏差和所測量的第二角度偏差推導(dǎo)該第一外表面與該內(nèi)部小平面之間的實際傾斜角。

43、根據(jù)該方法的一些實施方式，其中，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括該cp，該cp還包括與該cp第一表面相對且平行的cp第四表面。樣品的翻轉(zhuǎn)伴隨有cp的翻轉(zhuǎn)，使得cp第一表面和cp第四表面被反轉(zhuǎn)，同時保持cp第二表面相對于樣品的標(biāo)稱取向。

44、根據(jù)該方法的一些實施方式，樣品的第一表面和樣品的第三表面的平行度的不確定度小于或甚至顯著小于(例如，一個數(shù)量級或更多)實際傾斜角的所需測量精度。

45、根據(jù)該方法的一些實施方式，其中，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括cp，根據(jù)測量的第一角度偏差、cp第二表面相對于cp第一表面的實際傾斜角的值以及樣品的第一部分的折射率來獲得內(nèi)部小平面相對于第一表面的實際傾斜角。

46、根據(jù)該方法的一些實施方式，其中，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括cp，實際傾斜角等于或約等于90°+(δ1-δ2)/(4n)+δμ″′·(n-1)/n(例如，推導(dǎo)的實際傾斜角在90°+0.95·[(δ1-δ2)/(4n)+δμ″′·(n-1)/n)]與90°+1.05·[(δ1-δ2)/(4n)+δμ″′·(n-1)/n)]之間，在90°+0.9·[(δ1-δ2)/(4n)+δμ″′·(n-1)/n)]與90°+1.1·[(δ1-δ2)/(4n)+δμ″′·(n-1)/n]之間，或甚至在90°+0.8·[(δ1-δ2)/(4n)+δμ″′·(n-1)/n)]與90°+1.2·[(δ1-δ2)/(4n)+δμ″′·(n-1)/n)]之間，每種可能性對應(yīng)于單獨的實施方式。δ1和δ2分別是測量的第一角度偏差和測量的第二角度偏差。n是樣品的第一部分的折射率。δμ″′是cp第二表面相對于cp第一表面的傾斜度偏離90°的偏差。有利地，根據(jù)一些這樣的實施方式，不需要知道或測量lfc的實際光折疊角與其標(biāo)稱傾斜角的偏差。

47、根據(jù)該方法的一些實施方式，該內(nèi)部小平面延伸直到該樣品的第一表面。

48、根據(jù)該方法的一些實施方式，該樣品包括標(biāo)稱地平行于內(nèi)部小平面的k≥1個附加內(nèi)部小平面。在獲得第二返回lb時，通過k個lb分別從k個附加內(nèi)部小平面中的每一個的反射來獲得k個附加返回lb。k個lb構(gòu)成第二入射lb中的透射到樣品中并且還經(jīng)由內(nèi)部小平面被透射的部分。在測量第一角度偏差時，測量k個附加返回lb相對于第一返回lb的k個附加角度偏差。在推導(dǎo)內(nèi)部小平面的實際傾斜角μ′時，(i)另外推導(dǎo)k個附加內(nèi)部小平面中的每一個的k個附加實際傾斜角，以及/或者(ii)推導(dǎo)平均實際傾斜角，該平均實際傾斜角等于或約等于內(nèi)部小平面和k個附加內(nèi)部小平面的實際傾斜角的平均。平均實際傾斜角指示內(nèi)部小平面的實際傾斜角μ′。

49、根據(jù)該方法的一些實施方式，k≥2。附加內(nèi)部小平面中的第一內(nèi)部小平面位于內(nèi)部小平面與附加內(nèi)部小平面中的第二內(nèi)部小平面之間。對于使得2≤m≤k-1的每個m，k個附加的內(nèi)部小平面中的第m內(nèi)部小平面位于k個附加內(nèi)部小平面中的第(m-1)內(nèi)部小平面與第(m+1)內(nèi)部小平面之間。根據(jù)一些這樣的實施方式，分別由第二返回lb和k個附加返回lb在光傳感器或圖像傳感器的光敏表面上形成的k+1個點中的每一個可以基于點的亮度而歸于相應(yīng)的返回lb(即，被識別為由相應(yīng)的返回lb形成)。k+1個點中最亮的點可以歸于第二返回lb，并且對于使得2≤j≤k+1的每個j，，第j個最亮的點可以歸于由k個附加內(nèi)部小平面中的第(j-1)內(nèi)部小平面的反射引起的返回lb。

50、根據(jù)該方法的一些實施方式，該內(nèi)部小平面和所述k個附加內(nèi)部小平面中的每一個被配置成反射相應(yīng)光譜的光。每個光譜與其他光譜不同，以允許在第二返回lb與所述k個附加返回lb的每一個之間進行區(qū)分。

51、根據(jù)一些實施方式的一個方面，提供了一種基于光學(xué)的系統(tǒng)，用于驗證樣品的內(nèi)部小平面相對于樣品的外部平坦表面的取向。該系統(tǒng)包括：

52、-光導(dǎo)裝置(lga)，該lga被配置成將沿垂直于樣品的外部且平坦的第一表面的方向入射在lga上的光重定向到樣品中或樣品上，使得由樣品透射到樣品中的光標(biāo)稱地垂直于內(nèi)部小平面射在樣品的內(nèi)部小平面上。

53、-照明和收集裝置(ica)，所述ica包括：

54、·光生成組件，其被配置成(a)將第一入射光束(lb)投射在第一表面上，以通過第一表面的反射生成第一返回lb，以及(b)平行于第一入射lb將第二入射lb投射在lga上，以通過由lga將第二入射lb重定向到樣品中或樣品上、從內(nèi)部小平面反射該第二lb以及由lga進行反向重定向生成第二返回lb。

55、·至少一個傳感器，該至少一個傳感器被配置成測量第二返回lb相對于第一返回lb的第一角度偏差，和/或目鏡組件，該目鏡組件被配置成使得能夠人工地測量第一角度偏差。

56、所測量的第一角度偏差指示該內(nèi)部小平面相對于第一表面的實際傾斜角。

57、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，光生成組件包括光源和光學(xué)設(shè)備。

58、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，至少一個傳感器包括一個或更多個光傳感器和/或一個或更多個圖像傳感器(例如，一個或更多個攝像機)。

59、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，樣品包括第一部分和第二部分，內(nèi)部小平面在第一部分與第二部分之間延伸。第一部分位于樣品的外部第二表面與內(nèi)部小平面之間。lga被配置成經(jīng)由第二表面將第二入射lb重定向到第一部分中或第一部分上。

60、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，lga包括光折疊部件(lfc)，該lfc標(biāo)稱地被配置成至少當(dāng)光沿垂直于第一表面的方向上投射在光折疊部件上時以等于標(biāo)稱傾斜角的光折疊角折疊光。

61、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，lfc是或包括棱鏡、一個或更多個反射鏡和/或衍射光柵。

62、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，lfc的光折疊角對lfc的俯仰變化不敏感。

63、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，lfc是或包括五棱鏡或類似功能棱鏡，或者相對于彼此以一角度設(shè)置的一對反射鏡或類似功能反射鏡裝置。

64、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該lga還包括耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)被配置成將由lfc折疊的光引導(dǎo)到樣品上或樣品中，使得由樣品透射到樣品中的光標(biāo)稱地法向地射在內(nèi)部小平面上。

65、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)包括耦合棱鏡(cp)，該cp包括外部平坦cp第一表面、相對于cp第一表面以標(biāo)稱傾斜角標(biāo)稱地傾斜的外部平坦cp第二表面、以及與cp第二表面相對的外部cp第三表面(可以是平坦的或不平坦的)。cp具有與樣品的第一部分的折射率相同的折射率或接近樣品的第一部分的折射率的折射率(例如，在0.001％、0.01％或甚至0.1％內(nèi)，每種可能性對應(yīng)于單獨的實施方式)。cp被布置成使得cp第一表面平行于樣品的第一表面，并且還被定向成使得由lfc折疊的光標(biāo)稱地法向地射在cp第二表面上。

66、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該耦合基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)還包括形狀順應(yīng)接口。該形狀順應(yīng)接口被布置在cp第三表面與樣品之間，使得cp第一表面平行于樣品的第一表面。該形狀順應(yīng)接口具有與樣品的第一部分的折射率相同的折射率或接近樣品的第一部分的折射率的折射率(例如，在0.001％、0.01％或甚至0.1％內(nèi)，每種可能性對應(yīng)于單獨的實施方式)。

67、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該形狀順應(yīng)接口是或包括液體和/或凝膠。

68、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該樣品可以是棱鏡、波導(dǎo)或分束器。

69、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，其中，該lga包括至少一個傳感器，該系統(tǒng)還包括計算模塊，該計算模塊被配置成至少基于測量的第一角度偏差來計算實際傾斜角。

70、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該計算模塊還被配置成至少考慮lga和ica的制造公差和缺陷來計算實際傾斜角的計算值的不確定度。

71、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，包括cp，該系統(tǒng)還包括定向基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，該定向基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)被配置成對樣品進行定向，使得第一入射lb法向地射在第一表面上，以及/或者通過該lfc對第二入射lb進行折疊而獲得的折疊lb標(biāo)稱地法向地射在cp第二表面上。

72、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該系統(tǒng)還包括自準(zhǔn)直儀。該自準(zhǔn)直儀包括光源、至少一個傳感器以及準(zhǔn)直透鏡或準(zhǔn)直透鏡組件。

73、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該ica還包括：至少兩個快門，所述至少兩個快門被配置成選擇性地阻擋入射lb中的每一個；以及/或者一個或更多個光譜濾波器，所述一個或更多個光譜濾波器被配置成至少促進區(qū)分返回lb。

74、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，其中，樣品包括第一部分和第二部分，標(biāo)稱傾斜角是90°，并且樣品還包括平行于第一表面的外部平坦第三表面。

75、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該系統(tǒng)被配置成促進翻轉(zhuǎn)樣品。

76、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，包括至少一個傳感器和計算模塊，該計算模塊被配置成另外考慮第四返回lb相對于第三返回lb的測量的第二角度偏差來計算實際傾斜角。在將樣品翻轉(zhuǎn)使得第一表面和第三表面反轉(zhuǎn)的情況下，通過以下來獲得第三返回lb和第四返回lb：(a′)將第三入射光束投射在樣品的第三表面上，以通過第三表面的反射生成第三返回lb，以及(b′)將平行于第三入射lb的第四入射lb投射在lfc上，以通過由lga將第四入射lb重定向到樣品中或樣品上、從內(nèi)部小平面反射第四入射lb以及由lga進行反向重定向來生成第四返回lb。

77、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，包括cp，cp還包括外部平坦cp第四表面，該外部平坦cp第四表面平行于cp第一表面。該cp是機械可翻轉(zhuǎn)的，使得cp第一表面和cp第四表面可以被翻轉(zhuǎn)，同時保持cp第二表面相對于樣品的標(biāo)稱取向。

78、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，所測量的第二角度偏差是在cp翻轉(zhuǎn)而使得cp第一表面和cp第四表面反轉(zhuǎn)并且保持cp第二表面相對于樣品的標(biāo)稱取向的情況下獲得的。

79、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，其中，該系統(tǒng)包括定向基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)，該計算模塊配置成另外考慮定向基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)的制造公差和缺陷來計算實際傾斜角的計算值的不確定度。

80、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，其中，該光生成組件包括光源和光學(xué)設(shè)備，該光源被配置成生成單個lb，并且該光學(xué)設(shè)備被配置成準(zhǔn)直該單個lb。

81、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，該第一入射lb和該第二入射lb是準(zhǔn)直lb的互補部分。

82、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，光源是多色光源。

83、根據(jù)該系統(tǒng)的一些實施方式，光源被配置成生成激光束。

84、本公開內(nèi)容的某些實施方式可以包括以上優(yōu)點中的一些、全部或者不包括以上優(yōu)點。根據(jù)本文所包括的附圖、描述和權(quán)利要求，一個或更多個其他技術(shù)優(yōu)點對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言可以是非常明顯的。此外，雖然上面列舉了具體的優(yōu)點，但是各種實施方式可以包括所列舉的優(yōu)點中的全部、一些或者不包括所列舉的優(yōu)點。

85、除非另有定義，否則本文所用的所有技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有與本公開內(nèi)容所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員通常理解的相同的含義。在沖突的情況下，以包括定義的專利說明書為主。如本文所用，除非上下文另外清楚地指明，否則不定冠詞“一”和“一個”指“至少一個”或“一個或更多個”。

86、除非另外特別說明，否則如根據(jù)本公開內(nèi)容明顯的，可以理解，根據(jù)一些實施方式，諸如“處理”、“計算”、“運算”、“確定”、“估計”、“評估”、“度量”等的術(shù)語可以指計算機或計算系統(tǒng)或類似電子計算裝置的動作和/或處理，其將表示為計算系統(tǒng)寄存器和/或存儲器內(nèi)的物理(例如，電子)量的數(shù)據(jù)進行操縱和/或變換成類似地表示為計算系統(tǒng)存儲器、寄存器或其他這樣的信息存儲、傳輸或顯示裝置內(nèi)的物理量的其他數(shù)據(jù)。

87、本公開內(nèi)容的實施方式可以包括用于執(zhí)行本文的操作的設(shè)備。這些設(shè)備可以為所需目的而專門構(gòu)造，或者可以包括由存儲在計算機中的計算機程序選擇性地激活或重新配置的通用計算機。這樣的計算機程序可以存儲在計算機可讀存儲介質(zhì)中，例如但不限于任何類型的盤，包括軟盤、光盤、cd-rom、磁光盤、只讀存儲器(read-only?memory，rom)、隨機存取存儲器(random?access?memory，ram)、電可編程只讀存儲器(electricallyprogrammable?read-only?memory，eprom)、電可擦除可編程只讀存儲器(electricallyerasable?and?programmable?5read?only?memory，eeprom)、磁卡或光卡、或者適合于存儲電子指令并且能夠耦合至計算機系統(tǒng)總線的任何其他類型的介質(zhì)。

88、這里所提出的處理和顯示不是固有地與任何特定的計算機或其他設(shè)備相關(guān)。各種通用系統(tǒng)可以與根據(jù)本文的教導(dǎo)的程序一起使用，或者可以證明構(gòu)造更專用的設(shè)備來執(zhí)行期望的方法是方便的。從下面的描述中可以看出各種這些系統(tǒng)的期望結(jié)構(gòu)。另外，本公開內(nèi)容的實施方式不是參考任何特定編程語言來描述的。將理解，可以使用各種編程語言來實現(xiàn)如本文所述的本公開內(nèi)容的教導(dǎo)。

89、本公開內(nèi)容的各方面可以在諸如程序模塊等由計算機執(zhí)行的計算機可執(zhí)行指令的一般上下文中描述。通常，程序模塊包括例程、程序、對象、部件、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)等等，它們執(zhí)行特定的任務(wù)或?qū)崿F(xiàn)特定的抽象數(shù)據(jù)類型。所公開的實施方式也可以在分布式計算環(huán)境中實踐，其中任務(wù)由通過通信網(wǎng)絡(luò)鏈接的遠(yuǎn)程處理裝置執(zhí)行。在分布式計算環(huán)境中，程序模塊可以位于包括存儲器存儲裝置的本地計算機存儲介質(zhì)和遠(yuǎn)程計算機存儲介質(zhì)兩者中。