本發(fā)明屬于微波調(diào)試，尤其涉及一種微波電路精調(diào)探針及其制備方法。

背景技術(shù)：

1、由于器件性能波動、仿真設(shè)計局限性以及裝配偏差，微波集成電路性能參數(shù)的實測值和設(shè)計指標(biāo)可能存在一定差距，為優(yōu)化電路結(jié)構(gòu)，提高微波產(chǎn)品性能，避免反復(fù)加工驗證，需要對傳輸線(微帶線、共面波導(dǎo)等)的線寬、濾波器諧振單元的有效物理長度、衰減器等效電路的電阻值、不同級連結(jié)構(gòu)的匹配枝節(jié)、有源器件分壓模塊的電阻值等進(jìn)行調(diào)試。

2、但目前進(jìn)行調(diào)試的裝置容易造成微帶電路損傷，調(diào)試準(zhǔn)確性以及可靠性均較差，如中國實用新型專利cn205050969u，其公開了一種微帶電路用微波調(diào)試手柄，將銅薄片用502膠水固定于聚四氟乙烯手柄末端制得調(diào)試手柄，進(jìn)行微帶電路射頻阻抗調(diào)試，一方面，其僅可用于微帶電路阻抗調(diào)試，應(yīng)用領(lǐng)域窄，另一方面，薄銅片通過502膠水粘在手柄末端，粘附力和平整性無法保證，銅片易氧化脫落且易造成微帶電路損傷，尺寸單一，調(diào)試準(zhǔn)確性和可靠性差，無法實現(xiàn)不同電路結(jié)構(gòu)的精細(xì)調(diào)試，因此亟需一種驗證性、近似無損傷、精細(xì)調(diào)試微波電路的工具。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于，為克服現(xiàn)有技術(shù)缺陷，提供了一種微波電路精調(diào)探針及其制備方法，探針結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)試金屬層與待調(diào)試結(jié)構(gòu)的接觸位置和接觸量靈活可控，可用于微波電路的驗證性精細(xì)調(diào)試，實現(xiàn)電路結(jié)構(gòu)優(yōu)化改進(jìn)方向的預(yù)測，且調(diào)試過程中能夠避免損傷微波電路。

2、本發(fā)明的目的通過下述技術(shù)方案來實現(xiàn)：

3、一種微波電路精調(diào)探針，包括絕緣針本體以及設(shè)置在所述絕緣針本體端部的調(diào)試金屬層，所述絕緣針本體的端部側(cè)壁為光滑面層，所述光滑面層由側(cè)壁棱線打磨而成。

4、在一個實施方式中，所述絕緣針本體兩端均設(shè)置有調(diào)試金屬層，且所述絕緣針本體兩端的寬度不一致，所述絕緣針本體的寬度沿其軸線均勻變化，通過本實施方式，即在絕緣針的兩端形成寬度不一致的調(diào)試金屬層，以兼容不同尺寸微波電路結(jié)構(gòu)的精確調(diào)試，如較窄的一端可用于小尺寸結(jié)構(gòu)調(diào)試，較寬的一端可用于大尺寸結(jié)構(gòu)調(diào)試。

5、在一個實施方式中，所述絕緣針本體上還設(shè)置有夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)，所述絕緣針本體的兩端均位于所述夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)外，通過本實施方式，一方面加固保護(hù)絕緣針本體，延長其使用壽命，另一方面也方便操作人員手持進(jìn)行操作。

6、在一個實施方式中，所述夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)包括順次套設(shè)在所述絕緣針本體上的多層熱縮管，通過本實施方式，利用熱縮管遇熱收縮的性質(zhì)，使其通過熱收縮緊密地包裹在絕緣針本體上，即使夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)牢固地設(shè)置在絕緣針本體上，且熱縮管為絕緣塑料管。

7、在一個實施方式中，多層所述熱縮管的長度由內(nèi)至外逐層遞增，通過本實施方式，使得夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)能夠更加穩(wěn)固地包裹在絕緣針本體上。

8、本發(fā)明還提供了一種微波電路精調(diào)探針的制備方法，用于制備上述微波電路精調(diào)探針，包括如下步驟：

9、步驟s1、沿絕緣基板的長度或?qū)挾确较颍蚰テ湮挥诙瞬康膫?cè)壁棱線，以形成光滑面層；

10、步驟s2、在所述絕緣基板打磨過的側(cè)壁制備調(diào)試金屬層；

11、步驟s3、由絕緣基板調(diào)試金屬層所在的側(cè)壁出發(fā)，沿垂直于絕緣基板的表面傾斜切割，以得到兩端寬度不一致的絕緣針；

12、步驟s4、在絕緣針上套設(shè)夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)，并使絕緣針兩端的調(diào)試金屬層位于所述夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)外；

13、在一個實施方式中，在步驟s2中，制備調(diào)試金屬層包括：

14、步驟s201、磁控濺射，使靶材在絕緣基板的表面和側(cè)壁形成導(dǎo)電薄膜；

15、步驟s202、貼干膜，在絕緣基板表面的導(dǎo)電薄膜上貼干膜；

16、步驟s203、選擇性電鍍，對絕緣基板側(cè)壁的導(dǎo)電薄膜進(jìn)行電鍍加厚；

17、步驟s204、去干膜，去除絕緣基板上的干膜；

18、步驟s205、刻蝕，去除絕緣基板上的導(dǎo)電薄膜，以在絕緣基板的側(cè)壁留下均勻的調(diào)試金屬層。

19、在一個實施方式中，在步驟s4中，在絕緣針上套設(shè)夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)，包括：

20、于絕緣針上套設(shè)熱縮管，并使絕緣針的兩端位于所述熱縮管外，通過高溫烘烤的方式使熱縮管收縮，貼附在絕緣針上，順次套設(shè)、熱縮多層熱縮管，以形成夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)。

21、在一個實施方式中，還包括：

22、順次高溫烘烤每層熱縮管的過程中，逐層增加熱縮管的長度。

23、本發(fā)明的有益效果在于：

24、(1)提供的探針結(jié)構(gòu)簡單，可用于微波電路的驗證性精細(xì)調(diào)試，實現(xiàn)電路結(jié)構(gòu)優(yōu)化改進(jìn)方向的預(yù)測，且在調(diào)試過程中能夠避免損傷微波電路；

25、(2)采用濺射-貼干膜-選擇性電鍍-去干膜-刻蝕工藝形成調(diào)試金屬層，形成的調(diào)試金屬層均勻性好、附著力強(qiáng)且耐磨損；

26、(3)探針兩端的調(diào)試金屬層尺寸不同，可兼容不同尺寸微波電路結(jié)構(gòu)的精確調(diào)試；

27、(4)調(diào)試探針的放置位置和調(diào)試金屬層與待調(diào)試結(jié)構(gòu)的接觸量靈活可控，可實現(xiàn)精細(xì)調(diào)試；

28、(5)多層熱縮管順次套設(shè)、熱縮在絕緣針本體上，熱縮管的長度逐層增加，不僅加固保護(hù)絕緣針，提高探針的機(jī)械強(qiáng)度，還方便手持操作，延長其使用壽命。

技術(shù)特征：

1.一種微波電路精調(diào)探針，其特征在于，包括絕緣針本體以及設(shè)置在所述絕緣針本體端部的調(diào)試金屬層，所述絕緣針本體的端部側(cè)壁為光滑面層，所述光滑面層由側(cè)壁棱線打磨而成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波電路精調(diào)探針，其特征在于，所述絕緣針本體兩端均設(shè)置有調(diào)試金屬層，且所述絕緣針本體兩端的寬度不一致，所述絕緣針本體的寬度沿其軸線均勻變化。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波電路精調(diào)探針，其特征在于，所述絕緣針本體上還設(shè)置有夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)，所述絕緣針本體的兩端均位于所述夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)外。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種微波電路精調(diào)探針，其特征在于，所述夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)包括順次套設(shè)在所述絕緣針本體上的多層熱縮管。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種微波電路精調(diào)探針，其特征在于，多層所述熱縮管的長度由內(nèi)至外逐層遞增。

6.一種微波電路精調(diào)探針的制備方法，用于制備如權(quán)利要求1至5任一項所述的微波電路精調(diào)探針，其特征在于，包括如下步驟：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種微波電路精調(diào)探針的制備方法，其特征在于，在步驟s2中，制備調(diào)試金屬層包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種微波電路精調(diào)探針的制備方法，其特征在于，在步驟s4中，在絕緣針上套設(shè)夾持保護(hù)結(jié)構(gòu)，包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種微波電路精調(diào)探針的制備方法，其特征在于，還包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種微波電路精調(diào)探針及其制備方法，該探針包括絕緣針本體以及設(shè)置在所述絕緣針本體端部的調(diào)試金屬層，所述絕緣針本體的端部側(cè)壁為光滑面層，所述光滑面層由側(cè)壁棱線打磨而成。本發(fā)明的探針結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)試金屬層與待調(diào)試結(jié)構(gòu)的接觸位置和接觸量靈活可控，提高調(diào)試準(zhǔn)確性，可用于微波電路的驗證性精細(xì)調(diào)試，實現(xiàn)電路結(jié)構(gòu)優(yōu)化改進(jìn)方向的預(yù)測，且調(diào)試過程中能夠避免損傷微波電路，將多個成熟的工藝步驟結(jié)合在一起，使形成的調(diào)試金屬層均勻性好、附著力強(qiáng)且耐磨損，適用于微波電路的調(diào)試作業(yè)，可靠性高。

技術(shù)研發(fā)人員：呂英飛,脫英英,張健,黃曉俊,葉紅武,鐘貴朝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國電子科技集團(tuán)公司第二十九研究所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6